应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台制造技术

本发明专利技术涉及应用于ＬＥＤ激光切割设备的Ｘ－Ｙ－θ运动平台，包括Ｘ－Ｙ轴和θ轴，Ｘ－Ｙ轴和θ轴均呈中空结构，Ｘ－Ｙ轴包含Ｘ轴传送单元和Ｙ轴传送单元，Ｘ轴传送单元包含Ｘ轴板和控制Ｘ轴板运动的直线马达，Ｙ轴传送单元包含Ｙ轴板和控制Ｙ轴板运动的直线马达，Ｙ轴传送单元安装于Ｘ轴传送单元的Ｘ轴板上，在Ｙ轴传送单元的Ｙ轴板上设置θ轴，θ轴包括转轴和控制转轴旋转的电机，在θ轴的转轴中安装真空吸附模块，真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，Ｘ－Ｙ轴布置在底板上。应用于ＬＥＤ激光切割设备中Ｘ－Ｙ－θ运动平台实现了自身惯量小、启动和停止时间短、微米级定位、切割道秒级角度调整功能，满足晶圆切割量产的要求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
应用于ＬＥＤ激光切割设备的Ｘ－Ｙ－θ运动平台，其特征在于：包括Ｘ－Ｙ轴和θ轴，所述Ｘ－Ｙ轴和θ轴均呈中空结构，Ｘ－Ｙ轴包含Ｘ轴传送单元和Ｙ轴传送单元，Ｘ轴传送单元包含Ｘ轴板和控制Ｘ轴板运动的直线马达，Ｙ轴传送单元包含Ｙ轴板和控制Ｙ轴板运动的直线马达，Ｙ轴传送单元安装于Ｘ轴传送单元的Ｘ轴板上，在Ｙ轴传送单元的Ｙ轴板上设置θ轴，θ轴包括转轴和控制转轴旋转的压电陶瓷电机，在θ轴的转轴中安装真空吸附模块，真空吸附模块的吸附平面高于θ轴转轴的表面，由θ轴转轴驱动真空吸附模块作旋转运动，由Ｘ－Ｙ轴驱动真空吸附模块沿Ｘ、Ｙ方向作两个自由度运动；所述Ｘ－Ｙ轴布置在底板上，在底板的底部安装有下ＣＣＤ影像系统，下ＣＣＤ影像系统透过Ｘ－Ｙ轴和θ轴的中空结构与真空吸附模块相对。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，胡剑，
申请(专利权)人：苏州德龙激光有限公司，江阴德飞激光设备有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]