利用超短脉冲激光从两面切割加工对象物的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及利用超短脉冲激光从两面切割加工对象物的方法和装置，其中该方法包括：提供第一激光束和第二激光束；将第一激光束聚焦于加工对象物的第一侧的表面上，由此对第一侧的表面进行切割；将第二激光束聚焦于加工对象物的与所述第一侧相反的第二侧的表面上，由此对第二侧的表面进行切割；使第一激光束和第二激光束的焦点同时向加工对象物的内部移动，由此在加工对象物的内部形成相应的切割区；当第一激光束和第二激光束在加工对象物的内部形成的切割区交汇时使加工对象物被分割开。本发明专利技术还涉及利用上述方法切割加工对象物的装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用激光对加工对象物进行的加工和/或切割，特别涉及利用激光对盖板玻璃以及触摸屏
所使用的玻璃等透明材料进行的微加工。更具体来说，本专利技术提出了ー种利用超短脉冲的双光路激光在Gorilla、Sodalime及Dragontrail钢化玻璃的两面进行异形切割的方法和装置。
技术介绍
Gorilla、Sodalime及Dragontrail钢化玻璃由于其具有的高透性及高强度而被广泛应用于制造显示屏器件。在制造显示屏器件时，需要对玻璃进行切割。传统的玻璃切割エ艺主要是利用刀轮切割、磨棒研磨及ニ氧化碳激光进行切割。利用刀轮切割只能对未钢化的玻璃进行外形的直线切割和半径较大的曲线切割，切割之后还需要进行裂片才能得到完整的外形。而对于钢化后的Gorilla、Sodalime及Dragontrail玻璃,刀轮则很难切害I]。对于玻璃内部封闭区域的切割，则只能先用钻头钻个小孔，再换不同的磨棒研磨至要求的尺寸。这种情况下，磨棒的损耗很大，其效率还很低。ニ氧化碳激光切割エ艺也只适用于对普通玻璃和钢化程度较低的玻璃进行切割，切割后同样需要裂片エ序，对于内部封闭区域也无法加工。因此,对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用激光切割加工对象物的方法，包括：提供第一激光束和第二激光束；将第一激光束聚焦于加工对象物的第一侧的表面上，由此对第一侧的表面进行切割；将第二激光束聚焦于加工对象物的与所述第一侧相反的第二侧的表面上，由此对第二侧的表面进行切割；使第一激光束和第二激光束的焦点同时向加工对象物的内部移动，由此在加工对象物的内部形成相应的切割区；当第一激光束和第二激光束在加工对象物的内部形成的切割区交汇时使加工对象物被分割开。

【技术特征摘要】
1.一种利用激光切割加工对象物的方法，包括 提供第一激光束和第二激光束； 将第一激光束聚焦于加工对象物的第一侧的表面上，由此对第一侧的表面进行切割； 将第二激光束聚焦于加工对象物的与所述第一侧相反的第二侧的表面上，由此对第二侧的表面进行切割； 使第一激光束和第二激光束的焦点同时向加工对象物的内部移动，由此在加工对象物的内部形成相应的切割区； 当第一激光束和第二激光束在加工对象物的内部形成的切割区交汇时使加工对象物被分割开。2.如权利要求1所述的方法，其中所述第一激光束和所述第二激光束是由一激光源将其发出的激光束经光学系统调制成两路激光而产生的。3.如权利要求2所述的方法，其中所述激光源为超短脉冲激光器。4.如权利要求3所述的方法，其中所述超短脉冲激光器是波长范围为266-1064nm的纳秒、皮秒或飞秒激光器。5.如权利要求1所述的方法，其中所述加工对象物为透明材料。6.如权利要求5所述的方法,其中所述透明材料为GoriI la、Sodalime或Dragontrail玻璃。7.如权利要求1所述的方法，其中所述第一激光束与所述第二激光束相对于所述加工对象物大体同轴布置。8.如权利要求1所述的方法，其中所述第一激光束与所述第二激光束以规定间隔由加工对象物的外侧向其内部逐层地对加工对象物进行切割。9...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，狄建科，益凯劼，张子国，闫华，
申请(专利权)人：苏州德龙激光有限公司，
类型：发明
国别省市：