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本发明涉及利用超短脉冲激光从两面切割加工对象物的方法和装置，其中该方法包括：提供第一激光束和第二激光束；将第一激光束聚焦于加工对象物的第一侧的表面上，由此对第一侧的表面进行切割；将第二激光束聚焦于加工对象物的与所述第一侧相反的第二侧的表面上...
该专利属于苏州德龙激光有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州德龙激光有限公司授权不得商用。

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