【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种超短脉冲激光微形貌加工装置，其特征在于，包括：自动扫描机械手臂和超短脉冲激光装置；所述的自动扫描机械手臂通过夹持器对所述超短脉冲激光装置进行夹持；所述超短脉冲激光装置包括超短脉冲激光源、中性衰减片、分束片和多个准直透镜组件，沿所述的超短脉冲激光源射出的脉冲激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片和准直透镜组件，所述多个准直透镜组件沿垂直于所述脉冲激光输出光路的方向等间距设置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：豆照良，唐啸鸣，
申请(专利权)人：天津纳微华瑞科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
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