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本实用新型公开了一种超短脉冲激光微形貌加工装置，其包括自动扫描机械手臂和超短脉冲激光装置；所述的自动扫描机械手臂通过夹持器对所述超短脉冲激光装置进行夹持；所述超短脉冲激光装置包括超短脉冲激光源、中性衰减片、分束片和多个准直透镜组件，沿所述的...
该专利属于天津纳微华瑞科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津纳微华瑞科技有限公司授权不得商用。

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