【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
双光路绿光微孔加工装置，包括皮秒脉冲激光器、纳秒脉冲激光器、光路校准系统和光学聚焦系统，其特征在于：所述皮秒脉冲激光器的输出端布置有第一反射镜，所述纳秒脉冲激光器的输出端布置有第二反射镜，第一反射镜和第二反射镜均与第三反射镜相衔接，第三反射镜的输出端设置光闸，光闸的输出端连接有扩束镜，扩束镜的输出端衔接有第四反射镜，第四反射镜通过光路校准系统与光学聚焦系统相衔接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，郭良，
申请(专利权)人：苏州德龙激光有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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