下载双光路绿光微孔加工装置的技术资料

文档序号:3794163

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本发明提供一种双光路绿光微孔加工装置,包括皮秒脉冲激光器、纳秒脉冲激光器、光路校准系统和光学聚焦系统,皮秒脉冲激光器的输出端布置有第一反射镜,纳秒脉冲激光器的输出端布置有第二反射镜,第一反射镜和第二反射镜均与第三反射镜相衔接,第三反射镜的输...
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