一种光刻机用陶瓷吸盘制造技术

本申请公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括基座，所述基座内部底面的中心位置固定安装有固定轴，所述固定轴底端固定套接有固定块，所述固定轴上位于固定块上端转动套接有第一套块，所述固定轴上位于第一套块上端转动套接有第二套块，所述第一套块下端的侧壁上对称固定连接有两个第一转动杆，所述第二套块上端的侧壁上对称固定连接有两个第二转动杆，两个所述第一转动杆上均滑动套接有第二滑块，两个所述第二转动杆上均滑动套接有第三滑块，每个所述第二滑块和第三滑块顶部水平又相互持平且均固定安装有限位组件。该光刻机用陶瓷吸盘，针对长宽比和大小不同的矩形晶片，可实现高效调节限位组件的位置，提高了工作人员的工作效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机用陶瓷吸盘


[0001]本申请属于光刻机领域，具体涉及一种光刻机用陶瓷吸盘。

技术介绍

[0002]光刻是一种精密的微机电加工技术，在光刻设备中有承版台和承片台这两个关键模块，在承片台模块中，用于放置并固定晶片的装置称为晶片吸盘，吸盘通常是以真空产生负压吸紧晶片的方式将其固定，而使用陶瓷材料能够有效提高吸盘抗静电能力、吸附能力等，因此光刻机多使用陶瓷吸盘。
[0003]在光刻机陶瓷吸盘领域，限位机构通常采用由四个L形的定位条置于基座的四个角落以形成一个矩形，其矩形中心与圆形吸盘圆心重合，解决了矩形晶片的几何中心偏离且不便调节以至于影响图案加工的问题，但是其仍然存在以下不足之处：针对长宽比和大小不同的矩形，由于现有的限位组件在使用时位置固定，对于不可拆卸的限位组件，需要设置不同的限位组件，对于可拆卸的限位组件也需要拆卸下来调节限位组件的位置，而无论哪种都不太方便，还是容易使矩形晶片的几何中心调节不准，以至于影响图案加工，进而影响工作人员的工作效率。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种光刻机用陶瓷吸盘，以解决上述提出的针对长宽比和大小不同的矩形晶片不便于调节合适位置的问题。
[0005]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种光刻机用陶瓷吸盘，包括基座，所述基座内侧侧壁上呈环形阵列开设有四个T形槽，所述基座内部底面的中心位置固定安装有固定轴，所述固定轴底端固定套接有固定块，所述固定轴上位于固定块上端转动套接有第一套块，所述固定轴上位于第一套块上端转动套接有第二套块，所述第一套块下端的侧壁上对称固定连接有两个第一转动杆，所述第二套块上端的侧壁上对称固定连接有两个第二转动杆，每个所述第一转动杆或第二转动杆远离固定轴的一端均固定连接有滑动组件，四个所述滑动组件分别滑动安装四个T形槽槽口位置，两个所述第一转动杆上均滑动套接有第二滑块，两个所述第二转动杆上均滑动套接有第三滑块，每个所述第二滑块和第三滑块顶部水平又相互持平且均固定安装有限位组件，所述固定轴顶部固定连接有放置台，所述放置台低于限位组件。
[0006]通过所述第一转动杆和第二转动杆的转动，带动滑动组件滑动，实现由四个限位组件组成的矩形长宽比的可调节，同时限位组件在第一转动杆和第二转动杆上滑动，实现了由四个限位组件组成的矩形大小的可调节，协同解决了针对长宽比和大小不同的矩形晶片不便于调节合适位置的问题。
[0007]优选的，所述滑动组件位置设置有卡夹组件，所述卡夹组件包括原长小于基座侧壁厚度的弹簧、与基座外侧侧壁接触的第一夹板以及与滑动组件接触的第二夹板。
[0008]通过设置所述卡夹组件限制第一转动杆和第二转动杆的转动。
[0009]优选的，每个所述第一转动杆或第二转动杆均向基座中心位置倾斜。
[0010]通过倾斜设置所述第一转动杆或第二转动杆，利用重力起到一部分夹持晶片的效果，同时也因重力使四个限位组件更接近于组成一个矩形，提高操作便捷度。
[0011]优选的，所述滑动组件包括与T形槽较窄的外半部分适配的第一滑块以及固定连接在所述第一滑块相对两侧的第一挡板和第二挡板，所述第二挡板靠近基座中心位置且靠近基座中心位置的一面向下倾斜。
[0012]通过所述滑动组件在T形槽内部的滑动带动第一转动杆和第二转动杆的转动，以实现由四个限位组件组成的矩形长宽比可调节。
[0013]优选的，所述第一挡板位于T形槽较宽内半部分且不能脱离T形槽，所述第二挡板位于T形槽槽口之外且不能进入T形槽。
[0014]通过设置所述第一挡板和第二挡板，限制滑动组件位置以防止脱离T形槽以至于影响实现由四个限位组件组成的矩形长宽比的可调节。
[0015]优选的，四个所述限位组件均包括固定连接在所述第二滑块或第三滑块顶部的第一圆盘、转动连接在第一圆盘顶部的第二圆盘、固定连接在第二圆盘顶部的定位条和与定位条适配的限位条，所述定位条整体结构呈L形，四个所述定位条置于基座的四个角落以形成一个矩形且矩形中心与基座中心重合。
[0016]通过设置限位组件限制矩形晶片的位置，防止矩形晶片的几何中心偏离影响晶片加工效果。
[0017]优选的，所述定位条顶面沿自身L形结构开设有L形的槽口，所述限位条底面沿自身L形结构连接有L形的凸起，所述限位条的L形的凸起与定位条的L形的槽口适配。
[0018]通过设置所述定位条L形的槽口和限位条L形的凸起，限制定位条与限位条合并时的相对位置，实现对矩形晶片的夹持效果，进而提高对矩形晶片的限制效果。
[0019]优选的，所述定位条与限位条之间开设有水平的可供晶片嵌入的卡槽。
[0020]通过设置卡槽供矩形晶片嵌入，进而进一步提高对矩形晶片的限制效果。
[0021]本申请的技术效果和优点：相较于现有的光刻机用陶瓷吸盘，通过设置第一转动杆、第二转动杆、滑动组件、T形槽以及限位组件，驱动第一转动杆和第二转动杆的转动，带动滑动组件在T形槽内滑动，实现由四个限位组件组成的矩形长宽比的可调节，同时限位组件在第一转动杆和第二转动杆上滑动，实现了由四个限位组件组成的矩形大小可调节，协同解决了针对长宽比和大小不同的矩形晶片不便于调节合适位置的问题；同时通过设置可拆卸的卡夹组件，通过卡夹组件中弹簧的弹力作用间接限制第一转动杆和第二转动杆的转动，提高限位矩形晶片时第一转动杆和第二转动杆的稳定性。
附图说明
[0022]图1为本申请的结构示意图；
[0023]图2为本申请的侧视剖视图；
[0024]图3为本申请卡夹组件作用时的部分结构剖视图；
[0025]图4为本申请滑动组件的部分结构示意图；
[0026]图5为本申请限位组件的部分结构示意图。
[0027]图中：1、基座；2、T形槽；3、固定轴；4、固定块；5、第一套块；6、第二套块；7、第一转
动杆；8、第二转动杆；9、弹簧；10、第一夹板；11、第二夹板；12、第一滑块；13、第一挡板；14、第二挡板；15、第二滑块；16、第三滑块；17、第一圆盘；18、第二圆盘；19、定位条；20、限位条；21、卡槽；22、放置台。
具体实施方式
[0028]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0029]参照如图1
‑
2所示的一种光刻机用陶瓷吸盘，包括基座1，基座1内侧侧壁上呈环形阵列开设有四个T形槽2，基座1内部底面的中心位置固定安装有固定轴3，固定轴3底端固定套接有固定块4，固定轴3上位于固定块4上端转动套接有第一套块5，固定轴3上位于第一套块5上端转动套接有第二套块6，第一套块5下端的侧壁上对称固定连接有两个第一转动杆7，第二套块6上端的侧壁上对称固定连接有两个第二转动杆8。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机用陶瓷吸盘，包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）内侧侧壁上呈环形阵列开设有四个T形槽（2），所述基座（1）内部底面的中心位置固定安装有固定轴（3），所述固定轴（3）底端固定套接有固定块（4），所述固定轴（3）上位于固定块（4）上端转动套接有第一套块（5），所述固定轴（3）上位于第一套块（5）上端转动套接有第二套块（6），所述第一套块（5）下端的侧壁上对称固定连接有两个第一转动杆（7），所述第二套块（6）上端的侧壁上对称固定连接有两个第二转动杆（8），每个所述第一转动杆（7）或第二转动杆（8）远离固定轴（3）的一端均固定连接有滑动组件，四个所述滑动组件分别滑动安装于四个T形槽（2）槽口位置，两个所述第一转动杆（7）上均滑动套接有第二滑块（15），两个所述第二转动杆（8）上均滑动套接有第三滑块（16），每个所述第二滑块（15）和第三滑块（16）顶部水平又相互持平且均固定安装有限位组件，所述固定轴（3）顶部固定连接有放置台（22），所述放置台（22）低于限位组件。2.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：所述滑动组件位置设置有卡夹组件，所述卡夹组件包括原长小于基座（1）侧壁厚度的弹簧（9）、与基座（1）外侧侧壁接触的第一夹板（10）以及与滑动组件接触的第二夹板（11）。3.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：每个所述第一转动杆（7）或第二转动杆（8）均向基座（1）中心位置倾斜。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：刘国彬，
申请(专利权)人：深圳市德澳美科技有限公司，
类型：新型
国别省市：