一种光刻机用陶瓷吸盘制造技术

本申请公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括基座，所述基座内部底面的中心位置固定安装有固定轴，所述固定轴底端固定套接有固定块，所述固定轴上位于固定块上端转动套接有第一套块，所述固定轴上位于第一套块上端转动套接有第二套块，所述第一套块下端的侧壁上对称固定连接有两个第一转动杆，所述第二套块上端的侧壁上对称固定连接有两个第二转动杆，两个所述第一转动杆上均滑动套接有第二滑块，两个所述第二转动杆上均滑动套接有第三滑块，每个所述第二滑块和第三滑块顶部水平又相互持平且均固定安装有限位组件。该光刻机用陶瓷吸盘，针对长宽比和大小不同的矩形晶片，可实现高效调节限位组件的位置，提高了工作人员的工作效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机用陶瓷吸盘


[0001]本申请属于光刻机领域，具体涉及一种光刻机用陶瓷吸盘。

技术介绍

[0002]光刻是一种精密的微机电加工技术，在光刻设备中有承版台和承片台这两个关键模块，在承片台模块中，用于放置并固定晶片的装置称为晶片吸盘，吸盘通常是以真空产生负压吸紧晶片的方式将其固定，而使用陶瓷材料能够有效提高吸盘抗静电能力、吸附能力等，因此光刻机多使用陶瓷吸盘。
[0003]在光刻机陶瓷吸盘领域，限位机构通常采用由四个L形的定位条置于基座的四个角落以形成一个矩形，其矩形中心与圆形吸盘圆心重合，解决了矩形晶片的几何中心偏离且不便调节以至于影响图案加工的问题，但是其仍然存在以下不足之处：针对长宽比和大小不同的矩形，由于现有的限位组件在使用时位置固定，对于不可拆卸的限位组件，需要设置不同的限位组件，对于可拆卸的限位组件也需要拆卸下来调节限位组件的位置，而无论哪种都不太方便，还是容易使矩形晶片的几何中心调节不准，以至于影响图案加工，进而影响工作人员的工作效率。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种光刻机用陶瓷吸盘，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机用陶瓷吸盘，包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）内侧侧壁上呈环形阵列开设有四个T形槽（2），所述基座（1）内部底面的中心位置固定安装有固定轴（3），所述固定轴（3）底端固定套接有固定块（4），所述固定轴（3）上位于固定块（4）上端转动套接有第一套块（5），所述固定轴（3）上位于第一套块（5）上端转动套接有第二套块（6），所述第一套块（5）下端的侧壁上对称固定连接有两个第一转动杆（7），所述第二套块（6）上端的侧壁上对称固定连接有两个第二转动杆（8），每个所述第一转动杆（7）或第二转动杆（8）远离固定轴（3）的一端均固定连接有滑动组件，四个所述滑动组件分别滑动安装于四个T形槽（2）槽口位置，两个所述第一转动杆（7）上均滑动套接有第二滑块（15），两个所述第二转动杆（8）上均滑动套接有第三滑块（16），每个所述第二滑块（15）和第三滑块（16）顶部水平又相互持平且均固定安装有限位组件，所述固定轴（3）顶部固定连接有放置台（22），所述放置台（22）低于限位组件。2.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：所述滑动组件位置设置有卡夹组件，所述卡夹组件包括原长小于基座（1）侧壁厚度的弹簧（9）、与基座（1）外侧侧壁接触的第一夹板（10）以及与滑动组件接触的第二夹板（11）。3.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：每个所述第一转动杆（7）或第二转动杆（8）均向基座（1）中心位置倾斜。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：刘国彬，
申请(专利权)人：深圳市德澳美科技有限公司，
类型：新型
国别省市：