温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括基座，所述基座内部底面的中心位置固定安装有固定轴，所述固定轴底端固定套接有固定块，所述固定轴上位于固定块上端转动套接有第一套块，所述固定轴上位于第一套块上端转动套接有第二套块，所述第一套块下端的侧壁上对...
该专利属于深圳市德澳美科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市德澳美科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。