【技术实现步骤摘要】
本技术涉及发光二极管(LED)制造过程的合金工序中应用的石英舟,属于合金石英 舟
技术介绍
合金是LED (发光二极管)制造过程中的一道重要工序,主要用来钝化晶片工艺上的欧 姆接触。合金的过程需要用到合金石英舟作为晶片的载体,晶片放于合金石英舟上,将石英 舟推入炉管恒温区,经高温处理完成合金过程。目前发光二极管合金过程中所使用的立体合金石英舟分为无底盘立体合金舟和有底盘立 体合金舟两种。无底盘立体合金舟只有一个支架,晶片直接放置于该支架上;对于无底盘立 体合金舟,合金升温较快,均匀性较好,但是合金舟和炉管的接触面积小,合金舟使用时平 稳性受到影响,若操作不当可能会损坏合金舟上的晶片。有底盘立体合金舟是将支架设置在 平板状底盘上,晶片放置于支架上,对于此立式合金舟,其平稳性好,但由于底盘过大,在 预热过程中底盘不能充分预热,合金过程主要是靠炉管的热辐射加热,而合金舟的底盘阻挡 了一部分热辐射,当石英舟预热后被推入炉管恒温区后,短时间内底盘不能达到合金所需温 度,这样晶片靠近底盘的部分和远离底盘的部分受热不均,合金的均匀性受到影响。
技术实现思路
针对现有发光二极管合金工序中所用石英舟存在的不足,本技术提供一种使合金具 有较好均匀性和平稳性的发光二极管合金石英舟。本技术的发光二极管合金石英舟采用以下技术方案该发光二极管合金石英舟包括底盘和支架,支架设置在底盘上,底盘上分布有孔洞。孔 洞均匀排列,孔洞的形状可以圆形、方形或长条形等任意形状。上述方案减少了底盘的相对面积,作为立体合金舟的底盘使用,使热辐射可通过这些孔 洞到达晶片的表面,增加了热辐射的均 ...
【技术保护点】
一种发光二极管合金石英舟,包括底盘和支架,支架设置在底盘上,其特征是:底盘上分布有孔洞。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:黄孝宁,赵霞焱,单立英,冯健,杨振葵,
申请(专利权)人:山东华光光电子有限公司,
类型:实用新型
国别省市:88[中国|济南]
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