一种用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置，包括带有车轮的车体、以及设于所述车体上的水箱以及水循环装置；所述水箱内由隔板分为多个浸泡室，每个所述隔板上设有透水孔；每个所述浸泡室内设有挂钩。本申请提供的水车装置，使夹具中空悬挂于具有循环水的浸泡室中浸泡，通过水的循环可使附着夹具表面的抛光浆料在水中稀释，保证了夹具表面的洁净度，可以预防夹具表面由于存在抛光浆料而生锈，进一步可预防生锈颗粒附着夹具表面造成芯片划伤，而且减少了现有技术中夹具置于机台上存在容易掉落的风险。另外，本申请通过设置可移动的车体，可方便装置的移动，方便夹具的取放。放。放。

【技术实现步骤摘要】
一种用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置


[0001]本技术属于半导体硅晶片制造
，具体涉及一种用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置。

技术介绍

[0002]硅片制程双面抛光站，在硅片生产中占据重要的制程站点，其中双面抛光会依据所生产的硅片厚度使用不同厚度的硅片夹具替换使用，夹具表面有任何颗粒或锈斑都会造成芯片的良率及产能损失。现有技术中没有放置夹具的专用工具，换下的夹具通常都是挂在机台上，有掉落风险。而且双面抛光所用的夹具材质是不锈钢，夹具在使用后直接裸漏在外面，夹具上面会有抛光浆残留，长时间暴露在空气中夹具表面会容易生锈，导致芯片表面金属超规，表面也会有颗粒，颗粒会造成芯片划伤，故为了改善双面抛光机夹具的储放环境，申请人提供了一种浸泡夹具的水车装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置。
[0004]本技术的目的是以下述技术方案实现的：
[0005]一种用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置，包括带有车轮的车体、以及设于所述车体上的水箱以及水循环装置；
[0006]所述水箱内由隔板分为多个浸泡室，每个所述隔板上设有透水孔；每个所述浸泡室内设有挂钩，所述挂钩用于使硅片抛光夹具中空悬挂浸泡于所述浸泡室内；
[0007]所述水循环装置用于使浸泡水通过所述透水孔在各个所述浸泡室内循环。
[0008]优选的，所述车轮上设有刹车装置。
[0009]优选的，所述车轮为万向减震轮。
[0010]优选的，所述水箱上设有带把手的箱盖。
[0011]优选的，所述隔板和所述挂钩均为PVC材质。
[0012]优选的，所述水循环装置包括设于所述车体上的循环电机以及连接所述循环电机和所述水箱的水循环管道。
[0013]优选的，所述循环电机为自充水式循环电机。
[0014]本申请提供的水车装置，使夹具中空悬挂于具有循环水的浸泡室中浸泡，通过水的循环可使附着夹具表面的抛光浆料在水中稀释，保证了夹具表面的洁净度，可以预防夹具表面由于存在抛光浆料而生锈，进一步可预防生锈颗粒附着夹具表面造成芯片划伤，而且减少了现有技术中夹具置于机台上存在容易掉落的风险。另外，本申请通过设置可移动的车体，可方便装置的移动，方便夹具的取放。
附图说明
[0015]图1是本技术提供的水车装置的结构示意图；
[0016]图2是本技术提供的水车装置的主视结构示意图；
[0017]图3是本技术提供的水车装置的俯视结构示意图；
[0018]其中，1
‑
车体；2
‑
车轮；3
‑
水箱；4
‑
隔板；5
‑
挂钩；6
‑
循环电机；7
‑
水循环管道。
具体实施方式
[0019]本技术提供了一种用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置，如图1所示，包括带有车轮2的车体1、以及设于车体上的水箱3以及水循环装置。
[0020]水箱3内由隔板4分为多个浸泡室，每个隔板上设有透水孔，浸泡水可通过透水孔在各个浸泡室内流动；每个浸泡室内设有挂钩5，挂钩用于使硅片抛光夹具中空悬挂浸泡于浸泡室内，不与浸泡室底部接触，减少污染。优选的，每个浸泡室内仅浸泡一个硅片抛光夹具，防止夹具之间互相接触，增加污染风险。
[0021]水循环装置用于使浸泡水通过透水孔在各个浸泡室内循环，在循环流动过程中，浸泡水可以冲刷夹具，带走附着于夹具表面的抛光浆料，稀释于循环水中。
[0022]因此，本申请提供的水车装置，使夹具中空悬挂于盛有循环水的浸泡室中浸泡，通过水的循环可使附着夹具表面的抛光浆料在水中稀释，保证了夹具表面的洁净度，可以预防夹具表面由于存在抛光浆料而生锈，进一步可预防生锈颗粒附着于夹具表面造成芯片划伤，而且减少了现有技术中夹具置于机台上存在容易掉落的风险。另外，本申请通过设置可移动的车体，可方便装置的移动，方便夹具的取放。
[0023]优选的，车轮2上设有刹车装置，可防止车轮静止时随意移动。
[0024]优选的，车轮2为万向减震轮，减少车体上部件在移动过程中的震动。
[0025]优选的，水箱3上设有带把手的箱盖，在夹具浸泡时，可遮盖浸泡室，避免有异物掉落于浸泡室中污染夹具。
[0026]优选的，隔板和挂钩均为PVC材质，可减少灰尘的附着以及金属污染。
[0027]优选的，水循环装置包括设于车体上的自充水式循环电机6以及连接循环电机和水箱的水循环管道7，循环电机为浸泡水在水箱内的循环提供动力。
[0028]尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置，其特征在于，包括带有车轮的车体、以及设于所述车体上的水箱以及水循环装置；所述水箱内由隔板分为多个浸泡室，每个所述隔板上设有透水孔；每个所述浸泡室内设有挂钩，所述挂钩用于使硅片抛光夹具中空悬挂浸泡于所述浸泡室内；所述水循环装置用于使浸泡水通过所述透水孔在各个所述浸泡室内循环。2.如权利要求1所述的用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置，其特征在于，所述车轮上设有刹车装置。3.如权利要求1所述的用于浸泡硅片抛光夹具的水车装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴泓明，钟佑生，李古圣，李欢欢，
申请(专利权)人：郑州合晶硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：