物料自动化生产的顶升装置及物料自动化生产设备制造方法及图纸

本申请涉及物料自动化生产的顶升装置及物料自动化生产设备，包括顶针调节结构及顶针帽结构；所述顶针调节结构以步进驱使偏心转动方式控制所述顶针帽结构的顶针升降；所述顶针帽结构以负压吸附方式吸取待分离物料盘。上述物料自动化生产的顶升装置，一方面以顶针配合负压吸附方式实现压力顶升，有利于实现待分离物料盘中的物料与料盘胶膜相分离；另一方面以步进驱使偏心转动方式实现顶针升降，有利于准确控制顶针升降的精细位置，且有利于批量化的大规模重复式的无差错应用；再一方面易于配合顶针帽结构实现顶针的更换，有利于适配各种不同规格的待分离物料盘及其物料分离；又一方面由于巧妙的结构设计，有利于应用于微型物料例如微型芯片。如微型芯片。如微型芯片。

【技术实现步骤摘要】
物料自动化生产的顶升装置及物料自动化生产设备


[0001]本申请涉及芯片自动化生产领域，特别是涉及物料自动化生产的顶升装置及物料自动化生产设备。

技术介绍

[0002]一片晶圆可以加工出多个芯片(Chip)，在分离之前，这些芯片设置在一张膜俗称蓝膜或胶膜的上面，在使用芯片之前，通常需将这些芯片逐一分离。
[0003]公开号为CN101752204A的中国专利，公开了一种芯片与胶膜分离方法与芯片取出方法，其中使用了包含有刮板的顶针装置，首先将芯片定位于顶针装置上方的第一位置，沿第一方向以一适当距离水平移动上述之芯片，顶针装置的刮板大致上位于邻近上述之芯片的边缘部份；开启真空以吸附芯片连同胶膜向下；将顶针装置的刮板向上移动顶住芯片背面的胶膜；将芯片连同胶膜沿第二方向水平移动一个芯片长度的距离，其中第二方向相反于第一方向，即可将芯片与胶膜分离。
[0004]但是上述技术在芯片分离时需要采用刮板，会造成损坏芯片的风险，另外需要芯片连同胶膜一同移动，导致分离效率低。
[0005]公开号为CN218447858U的中国专利，公开了一种便于蓝膜与芯片分离的装置，包括中空的蓝膜架、X、Y轴驱动机构和分离机构，分离机构包括底座、Z轴驱动机构、分离管、顶针、顶针固定座和缓冲组件，分离管通过Z轴驱动机构与底座滑动连接，且滑动方向为靠近或远离蓝膜架的上下方向，分离管的底部连通真空负压机，分离管的内壁上对称设有两条滑槽，顶针固定座的两侧均设有连接块，连接块与滑槽滑动连接，顶针与顶针固定座可拆卸连接，缓冲组件安装于滑槽内，且位于连接块靠近分离管的顶部一侧。该技术针对不同规格芯片，可方便更换顶针，另外通过缓冲组件的设置能够限制顶针的滑动速度和顶起高度，避免损坏芯片。
[0006]但是上述技术结构限制较大，不适合分离小型芯片尤其是微型芯片，而且其利用弹簧的弹力对连接块及顶针滑动的速度进行缓冲减速的结构设计，严重影响了其在微型芯片方面的应用。

技术实现思路

[0007]基于此，有必要提供一种物料自动化生产的顶升装置及物料自动化生产设备，可应用于芯片的自动化分离及其他生产工艺中。
[0008]在一个实施例中，一种物料自动化生产的顶升装置，包括顶针调节结构及顶针帽结构；
[0009]所述顶针调节结构以步进驱使偏心转动方式控制所述顶针帽结构的顶针升降；
[0010]所述顶针帽结构以负压吸附方式吸取待分离物料盘，通过所述顶针顶升以分离所述待分离物料盘的物料与料盘胶膜。
[0011]上述物料自动化生产的顶升装置，一方面以顶针配合负压吸附方式实现压力顶
升，有利于实现待分离物料盘中的物料与料盘胶膜相分离；另一方面以步进驱使偏心转动方式实现顶针升降，有利于准确控制顶针升降的精细位置，且有利于批量化的大规模重复式的无差错应用；再一方面易于配合顶针帽结构实现顶针的更换，有利于适配各种不同规格的待分离物料盘及其物料分离；又一方面由于巧妙的结构设计，有利于应用于微型物料例如微型芯片。
[0012]在其中一个实施例中，所述顶针帽结构包括浮动块、气管接头、顶针导向座、顶针结构及顶针帽；
[0013]所述浮动块安装于所述顶针导向座下，所述顶针结构安装于所述顶针导向座上，所述顶针帽盖设于所述顶针导向座上，所述顶针结构的顶针设置于所述浮动块上，且在所述浮动块的作用下具有相对所述顶针帽的透出状态及缩入状态；所述顶针帽配合所述顶针导向座形成负压腔室，所述顶针结构容置于所述负压腔室中，所述气管接头用于连通真空泵及所述负压腔室；
[0014]所述顶针调节结构包括步进电机、感应器、偏心凸轮及连接板；
[0015]所述顶针导向座、所述步进电机及所述感应器均固定于所述连接板上，且所述步进电机与所述感应器电连接，所述偏心凸轮安装于所述步进电机的输出轴上，所述偏心凸轮邻近所述感应器且与所述浮动块相接触，所述偏心凸轮用于在所述输出轴带动下以相异位置抵接所述浮动块以控制所述顶针的位置，使所述顶针处于透出状态或缩入状态；所述偏心凸轮还用于在转动到所述感应器处时，由所述感应器驱动所述步进电机反向步进转动，以使所述偏心凸轮调整转动方向。
[0016]进一步地，在其中一个实施例中，所述连接板开设有轴槽，所述输出轴穿过所述轴槽，所述偏心凸轮与所述步进电机分别位于所述连接板的两侧。
[0017]进一步地，在其中一个实施例中，所述浮动块包括本体、形变凸出结构、固定部及弹性件；
[0018]所述形变凸出结构及所述固定部均设置于所述本体上且分别位于所述本体的两侧，所述固定部安装于所述顶针导向座或其第一导向座下；
[0019]所述浮动块于所述形变凸出结构与所述本体之间开设有让位槽，所述形变凸出结构相对于所述本体在所述让位槽中具有形变状态；
[0020]所述弹性件穿过所述本体安装于所述浮动块上，所述顶针设置于所述弹性件上。
[0021]进一步地，在其中一个实施例中，所述浮动块还包括安装于所述弹性件上的动作承接台，所述顶针设置于所述动作承接台上。
[0022]在其中一个实施例中，所述顶针调节结构还包括气缸安装座、第一滑轨及气缸；
[0023]所述第一滑轨及所述气缸均固定于所述气缸安装座上，所述连接板设置于所述第一滑轨上，所述气缸驱动连接所述连接板以使所述连接板于所述第一滑轨上滑动，用于初步定位所述顶针帽结构以配合所述偏心凸轮实现精准定位。
[0024]进一步地，在其中一个实施例中，所述顶针调节结构还包括气缸连接块、气缸限位块及限位螺丝；
[0025]所述气缸的输出部通过所述气缸连接块连接所述连接板；
[0026]所述气缸限位块固定于所述气缸安装座上且开设有限位槽；
[0027]所述气缸连接块部分容置于所述限位槽中，所述限位螺丝安装于所述气缸限位块
上且至少部分可调节地位于所述限位槽中，所述限位螺丝通过其凸出于所述限位槽中的长度，限制所述气缸连接块于所述限位槽中的最大高度。
[0028]在其中一个实施例中，所述顶针调节结构还包括调节板、第二滑轨、第二调节螺丝及第二调节块；
[0029]所述第二滑轨及所述第二调节块均固定于所述调节板上，所述气缸安装座设置于所述第二滑轨上，所述第二调节螺丝固定于所述气缸安装座上且与所述第二调节块螺接，用于控制所述气缸安装座于所述第二滑轨上滑动；其中，所述第二滑轨与所述第一滑轨具有相互垂直的滑动方向。
[0030]在其中一个实施例中，所述顶针调节结构还包括底座、第三调节块、第三调节螺丝及第三滑轨；
[0031]所述第三调节块及所述第三滑轨均固定于所述底座上，所述调节板设置于所述第三滑轨上，所述第三调节螺丝固定于所述调节板上且与所述第三调节块螺接，用于控制所述调节板于所述第三滑轨上滑动；其中，所述第三滑轨、所述第二滑轨与所述第一滑轨在三维空间具有相互垂直的滑动方向。
[0032]进一步地，在其中一个实施例中，所述顶针调节结构还包括第一螺调连接板及第二螺调连接板；所述第一螺调连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物料自动化生产的顶升装置，其特征在于，包括顶针调节结构(100)及顶针帽结构(200)；所述顶针调节结构(100)以步进驱使偏心转动方式控制所述顶针帽结构(200)的顶针(227)升降；所述顶针帽结构(200)以负压吸附方式吸取待分离物料盘，通过所述顶针(227)顶升以分离所述待分离物料盘的物料与料盘胶膜。2.根据权利要求1所述物料自动化生产的顶升装置，其特征在于，所述顶针帽结构(200)包括浮动块(218)、气管接头(219)、顶针导向座(231)、顶针结构(238)及顶针帽(228)；所述浮动块(218)安装于所述顶针导向座(231)下，所述顶针结构(238)安装于所述顶针导向座(231)上，所述顶针帽(228)盖设于所述顶针导向座(231)上，所述顶针结构(238)的顶针(227)设置于所述浮动块(218)上，且在所述浮动块(218)的作用下具有相对所述顶针帽(228)的透出状态(300)及缩入状态(400)；所述顶针帽(228)配合所述顶针导向座(231)形成负压腔室，所述顶针结构(238)容置于所述负压腔室中，所述气管接头(219)用于连通真空泵及所述负压腔室；所述顶针调节结构(100)包括步进电机(110)、感应器(111)、偏心凸轮(113)及连接板(114)；所述顶针导向座(231)、所述步进电机(110)及所述感应器(111)均固定于所述连接板(114)上，且所述步进电机(110)与所述感应器(111)电连接，所述偏心凸轮(113)安装于所述步进电机(110)的输出轴上，所述偏心凸轮(113)邻近所述感应器(111)且与所述浮动块(218)相接触，所述偏心凸轮(113)用于在所述输出轴带动下以相异位置抵接所述浮动块(218)以控制所述顶针(227)的位置，使所述顶针(227)处于透出状态(300)或缩入状态(400)；所述偏心凸轮(113)还用于在转动到所述感应器(111)处时，由所述感应器(111)驱动所述步进电机(110)反向步进转动，以使所述偏心凸轮(113)调整转动方向。3.根据权利要求2所述物料自动化生产的顶升装置，其特征在于，所述顶针调节结构(100)还包括气缸安装座(107)、第一滑轨(108)及气缸(109)；所述第一滑轨(108)及所述气缸(109)均固定于所述气缸安装座(107)上，所述连接板(114)设置于所述第一滑轨(108)上，所述气缸(109)驱动连接所述连接板(114)以使所述连接板(114)于所述第一滑轨(108)上滑动，用于初步定位所述顶针帽结构(200)以配合所述偏心凸轮(113)实现精准定位。4.根据权利要求3所述物料自动化生产的顶升装置，其特征在于，所述顶针调节结构(100)还包括调节板(105)、第二滑轨(106)、第二调节螺丝(119)及第二调节块(120)；所述第二滑轨(106)及所述第二调节块(120)均固定于所述调节板(105)上，所述气缸安装座(107)设置于所述第二滑轨(106)上，所述第二调节螺丝(119)固定于所述气缸安装座(107)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，刘晓敏，
申请(专利权)人：镭神技术西安有限公司，
类型：发明
国别省市：