衬底保持器、包括衬底保持器的承载件系统、和光刻设备技术方案

本发明专利技术提供一种用于将衬底保持在衬底保持位置中的衬底保持器，包括：框架；多个表面夹紧装置，所述多个表面夹紧装置被布置在所述框架上以在衬底的上表面处夹紧衬底，其中所述多个表面夹紧装置分别具有待布置在所述衬底的所述上表面上的夹紧垫，所述表面夹紧垫能够至少在大体上垂直于由所述表面夹紧垫保持的衬底的所述上表面的第一方向上相对于彼此移动；和一个或更多个致动器，所述一个或更多个致动器用于使所述表面夹紧垫在所述第一方向上相对于彼此移动。对于彼此移动。对于彼此移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】衬底保持器、包括衬底保持器的承载件系统、和光刻设备
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年10月08日递交的欧洲申请20200811.6、于2020年10月23日递交的欧洲申请20203644.8、以及于2021年8月09日递交的欧洲申请21190373.7的优先权，并且这些欧洲申请的全部内容通过引用并入本文中。


[0003]本专利技术涉及一种衬底保持器、一种包括衬底保持器的承载件系统、和一种光刻设备。

技术介绍

[0004]光刻设备是被构造成将期望的图案施加至衬底上的机器。光刻设备可以用于例如集成电路(IC)的制造中。光刻设备可以例如将图案形成装置(例如，掩模)的图案(也常常被称为“设计布局”或“设计”)投影至被设置在衬底(例如，晶片)上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上。
[0005]随着半导体制造过程持续进步，几十年来，电路元件的尺寸己不断地减小，而每个器件的诸如晶体管之类的功能元件的量已稳定地增加，这遵循通常称作“摩尔定律”的趋势。为了跟上摩尔定律，半导体行业正追逐使得能够产生越来越小特征的技术。为了将图案投影于衬底上，光刻设备可以使用电磁辐射。这种辐射的波长确定图案化于衬底上的特征的最小尺寸。当前在使用中的典型波长是365nm(i线)、248nm、193nm和13.5nm。相比于使用例如具有193nm的波长的辐射的光刻设备，使用具有介于4nm至20nm的范围内的波长，例如6.7nm或13.5nm的极紫外(EuV)辐射的光刻设备可以用于在衬底上形成较小的特征。r/>[0006]在光刻设备中，一个或更多个衬底保持器用于输送衬底，例如在光刻过程期间，在支撑衬底的衬底支撑件上装载衬底和从所述衬底支撑件卸载衬底。
[0007]在衬底保持器的已知实施例中，衬底保持器包括夹紧装置，衬底支撑在夹紧装置的顶侧上。非接触式表面夹紧垫(诸如，涡流垫)用于将衬底保持在夹紧装置上的固定位置中。为了将衬底装载于衬底支撑件上，衬底支撑件设置有可以在竖直方向上移出衬底支撑件的支撑表面的装载销。衬底保持器可以由承载件系统支撑，所述承载件系统可以将衬底装载器布置在一位置中以在经延伸的e形销上装载衬底。随后，可以降低所述装载销以将所述衬底放置在衬底支撑件的支撑表面上。衬底支撑件的支撑表面可以包括突节，衬底支撑在所述突节上。
[0008]在衬底保持器的替代实施例中，例如通过表面夹紧垫将衬底保持在衬底保持器的底侧面处。为了将衬底装载于衬底支撑件上，可以由衬底保持器降低衬底，直到衬底支撑在衬底支撑件的支撑表面上或衬底支撑件的装载销上。
[0009]在衬底具有显著变形的情况下，将衬底装载于衬底支撑件上可能是具有挑战性的任务。理想地，衬底充分平坦或略呈碗状。这允许衬底在衬底支撑件上的低应力装载，并且衬底在衬底支撑件的支撑表面上的滑动最小。在实践中，衬底可能示出相当大的变形。衬底
可以例如具有伞状、碗状、鞍状和其它形状。将变形衬底装载于衬底平台上可能引起经装载的衬底中的内部应力和/或在支撑表面上发生显著滑动，例如，在支撑表面的突节上发生显著滑动。衬底中的内部应力可能导致重叠误差，而衬底在支撑表面上的滑动可能导致衬底支撑件的支撑表面受到磨损，尤其是其突节受到磨损。
[0010]归因于突节的粗糙度差异，衬底支撑件的支撑表面的磨损可能导致支撑表面平整度漂移和衬底负载栅格漂移。此外，支撑表面的磨损可能导致重叠问题。

技术实现思路

[0011]本专利技术的目标是提供一种可以改善变形的衬底在衬底支撑件的支撑表面上的装载的衬底保持器。
[0012]根据本专利技术的一方面，提供一种用于将衬底保持在衬底保持位置中的衬底保持器，所述衬底保持器包括：
[0013]框架，
[0014]多个表面夹紧装置，所述多个表面夹紧装置被布置在所述框架上以在衬底的上表面处夹紧衬底，其中，所述多个表面夹紧装置分别具有待布置在所述衬底的上表面上的夹紧垫，所述表面夹紧垫能够至少在大致垂直于由所述表面夹紧垫保持的衬底的上表面的第一方向上相对于彼此移动，和
[0015]一个或更多个致动器，所述一个或更多个致动器用于使所述表面夹紧垫在所述第一方向上相对于彼此移动。
[0016]根据本专利技术的一方面，提供一种用于将衬底保持在衬底保持位置中的衬底保持器，所述衬底保持器包括：
[0017]框架，
[0018]三个或更多个边缘夹持器，所述三个或更多个边缘夹持器被安装在框架上以在衬底的圆周边缘处保持衬底，其中，所述三个或更多个边缘夹持器中的至少一个边缘夹持器能够相对于框架在夹持方向上单独地移动，其中，所述夹持方向在相对于衬底保持位置的中心轴线的径向方向上延伸，和
[0019]边缘夹持器致动器，所述边缘夹持器致动器用于在所述夹持方向上移动所述边缘夹持器，和
[0020]一个或更多个边缘检测装置，所述一个或更多个边缘检测装置被配置成检测一个或更多个边缘夹持器是否接触待保持的衬底的圆周边缘，其中，所述衬底保持器被布置成在对衬底进行夹持期间将所述一个或更多个边缘夹持器中的每个边缘夹持器朝向衬底的边缘移动，并且在所述一个或更多个边缘检测装置检测到所述一个或更多个边缘夹持器中的每个边缘夹持器接触衬底的圆周边缘时停止对应的边缘夹持器的移动。
[0021]根据本专利技术的一方面，提供一种用于支撑衬底的承载件系统，所述承载件系统包括用于将衬底保持在衬底保持位置中的衬底保持器，所述衬底保持器包括：
[0022]框架，
[0023]多个表面夹紧装置，所述多个表面夹紧装置被布置在所述框架上以在衬底的上表面处夹紧衬底，其中，所述多个表面夹紧装置分别具有待布置在所述衬底的上表面上的夹紧垫，所述表面夹紧垫能够至少在大致垂直于由所述表面夹紧垫保持的衬底的上表面的第
一方向上相对于彼此移动，和
[0024]一个或更多个致动器，所述一个或更多个致动器用于使所述表面夹紧垫在所述第一方向上相对于彼此移动。
[0025]根据本专利技术的一方面，提供一种承载件系统，所述承载件系统包括用于将衬底保持在衬底保持位置中的衬底保持器，所述衬底保持器包括：
[0026]框架，
[0027]三个或更多个边缘夹持器，所述三个或更多个边缘夹持器被安装在框架上以在衬底的圆周边缘处保持衬底，其中，所述三个或更多个边缘夹持器中的至少一个边缘夹持器能够相对于框架在夹持方向上单独地移动，其中，所述夹持方向在相对于衬底保持位置的中心轴线的径向方向上延伸，和
[0028]边缘夹持器致动器，所述边缘夹持器致动器用于在所述夹持方向上移动所述边缘夹持器，和
[0029]一个或更多个边缘检测装置，所述一个或更多个边缘检测装置被配置成检测一个或更多个边缘夹持器是否接触待保持的衬底的圆周边缘，其中，所述衬底保持器被布置成在对衬底进行夹持期间将所述一个或更多个边缘夹持器中的每个边缘夹持器朝向衬底的边缘移动，并且在所述一个或更多个边缘检测装置检测到所述一个或更多个边缘夹持器中的每个边缘夹持器接触衬底的圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于将衬底保持在衬底保持位置中的衬底保持器，包括：框架，多个表面夹紧装置，所述多个表面夹紧装置被布置在所述框架上以在衬底的上表面处夹紧所述衬底，其中，所述多个表面夹紧装置分别具有待布置在所述衬底的所述上表面上的夹紧垫，所述表面夹紧垫能够至少在大致垂直于由所述表面夹紧垫保持的衬底的所述上表面的第一方向上相对于彼此移动，和一个或更多个致动器，所述一个或更多个致动器用于使所述表面夹紧垫在所述第一方向上相对于彼此移动。2.根据权利要求1所述的衬底保持器，其中，所述一个或更多个致动器包括位于所述框架与所述夹紧垫中的一个夹紧垫之间以相对于所述框架移动所述夹紧垫中的对应的一个夹紧垫的致动器。3.根据权利要求2所述的衬底保持器，其中，所述一个或更多个致动器包括位于所述夹紧垫中的每个夹紧垫与所述框架之间以相对于所述框架单独地移动每个对应的夹紧垫的致动器。4.根据权利要求1所述的衬底保持器，其中，所述框架是能够变形的，其中，所述一个或更多个致动器被布置成使所述框架变形以使所述表面夹紧垫相对于彼此移动。5.根据前述权利要求中任一项所述的衬底保持器，其中，所述表面夹紧垫是非接触式涡流垫。6.根据前述权利要求中任一项所述的衬底保持器，其中，所述第一方向为竖直方向。7.根据前述权利要求中任一项所述的衬底保持器，其中，所述表面夹紧垫被配置成在一倾斜范围内自由地倾斜。8.根据前述权利要求中任一项所述的衬底保持器，其中，所述表面夹紧垫能够至少在竖直方向上相对于彼此移动，并且其中，所述表面夹紧垫被配置成绕一个或更多个水平轴线自由地倾斜。9.根据前述权利要求中任一项所述的衬底保持器，其中，所述衬底保持器包括控制器，所述控制器被布置成控制所述表面夹紧装置相对于彼此的位置。10.根据权利要求9所述的衬底保持器，其中，所述控制器被布置成控制所述表面夹紧装置的所述位置，以适应由所述表面夹紧装置保持的所述衬底的形状。11.根据权利要求9或10所述的衬底保持器，其中，所述控制器被配置成控制所述表面夹紧装置的所述位置以校正所述衬底的翘曲形状。12.根据权利要求9至11中任一项所述的衬底保持器，其中，由所述衬底保持器保持或待由所述衬底保持器保持的所述衬底的被测量到的形状被用作所述控制器的输入，以控制所述表面夹紧装置的所述位置，从而适应由所述表面夹紧装置保持的所述衬底的形状。13.根据权利要求9至12中任一项所述的衬底保持器，其中，所述控制器被配置成单独地启动所述表面夹紧装置以夹紧所述衬底的所述上表面。14.根据前述权利要求中任一项所述的衬底保持器，其中，所述一个或更多个致动器为压电致动器。15.根据前述权利要求中任一项所述的衬底保持器，其中，所述表面夹紧垫被布置成两个或更多个同心环。
16.根据权利要求15所述的衬底保持器，其中，每个环的表面夹紧垫的数目是相同的。17.根据权利要求16所述的衬底保持器，其中，不同环的表面夹紧垫被布置成相对于所述环的中心轴线具有相同角度的多行，并且其中，所述多行绕所述环的圆周均匀地分布。18.根据前述权利要求中任一项所述的衬底保持器，其中，所述衬底保持器还包括一个或更多个牵引致动器垫，所述一个或更多个牵引致动器垫被配置成提供在大致平行于由所述表面夹紧垫保持的衬底的所述上表面的平面中的移动。19.根据权利要求18所述的衬底保持器，还包括一个或更多个检测器，所述一个或更多个检测器被配置成检测所述衬底在所述衬底保持器上的位置。20.根据前述权利要求中任一项所述的衬底保持器，其中，所述衬底保持器还包括用于在衬底的圆周边缘处保持所述衬底的三个或更多个边缘夹持器。21.根据权利要求20所述的衬底保持器，其中，所述三个或更多个边缘夹持器中的至少一个边缘夹持器能够在夹持方向上单独地移动，其中，所述夹持方向在相对于所述衬底保持位置的中心轴线的径向方向上延伸，并且其中，所述衬底保持器包括用于在所述夹持方向上移动所述三个或更多个边缘夹持器中的所述至少一个边缘夹持器的边缘夹持器致...

【专利技术属性】
技术研发人员：K，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：