温控装置制造方法及图纸

本申请涉及一种温控装置

【技术实现步骤摘要】
温控装置


[0001]本申请涉及自动化
，特别是涉及一种温控装置
。

技术介绍

[0002]晶圆或芯片等工件必须在特定的环境温度下进行测试，通常将工件放置在温控装置上，通过对温控装置的温度进行调节和控制，使得温控装置为工件的测试提供相适应的环境温度
。
但是，对于传统的温控装置，通常存在对温度控制精度偏低的缺陷
。

技术实现思路

[0003]本申请解决的一个技术问题是如何提高温控装置对温度控制的精度
。
[0004]一种温控装置，包括：
[0005]温控机构，包括限位件和热电冷却件，所述热电冷却件的数量为多个并间隔设置所述限位件上；及
[0006]承载机构，包括温度传感器和承载件，所述承载件设置在所述温控机构上并覆盖所述热电冷却件，所述承载件用于承载工件，所述温度传感器的数量为多个并间隔设置在所述承载件上，所述温度传感器用于检测所述承载件与不同所述热电冷却件对应的各区域的温度
。
[0007]在其中一个实施例中，所述限位件具有朝向所述承载件设置的限位面，所述热电冷却件均设置在所述限位面上，多个所述热电冷却件沿所述限位件的周向间隔排列
。
[0008]在其中一个实施例中，所述温控机构还包括能够绝缘的隔离垫，所述隔离垫设置在所述限位面上，且所述隔离垫位于相邻两个所述热电冷却件之间
。
[0009]在其中一个实施例中，所述温控机构还包括绝缘组件，所述绝缘组件覆盖所述热电冷却件和所述限位件，所述承载件叠置在所述绝缘组件上
。
[0010]在其中一个实施例中，所述温控机构还包括均热件，所述绝缘组件包括第一绝缘膜和第二绝缘膜，所述均热件夹置在所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜之间，所述第一绝缘膜覆盖在所述热电冷却件和所述限位件上，所述承载件叠置在所述第二绝缘膜上
。
[0011]在其中一个实施例中，所述温控机构还包吸热件，所述吸热件附着在所述限位件背向所述承载件设置的表面上，所述吸热件上开设有输入口和输出口，冷却液从所述输入口进入至所述吸热件内并从所述输出口输出
。
[0012]在其中一个实施例中，所述吸热件内开设有供冷却液流通的吸热通道，所述吸热通道呈螺旋线状，所述吸热通道的两端形成所述输入口和所述输出口
。
[0013]在其中一个实施例中，所述承载件具有承载面，所述承载面上开设有真空孔，所述真空孔能够产生真空以将工件吸附在所述承载面
。
[0014]在其中一个实施例中，所述温控装置还包括陶瓷底座和保护罩，所述温控机构和所述承载机构位于所述陶瓷底座和所述保护罩之间，所述保护罩上开设有安装孔，工件自所述安装孔承载在所述承载件上
。
[0015]在其中一个实施例中，所述温控装置还包括陶瓷底座和保护罩，所述温控机构和所述承载机构位于所述陶瓷底座和所述保护罩之间，所述保护罩上开设有安装孔，工件自所述安装孔承载在所述承载件上
。
[0016]在其中一个实施例中，还包括如下方案中的至少一项：
[0017]所述温度传感器的数量与所述热电冷却件的数量相等，不同所述温度传感器用于检测所述承载件上不同区域的温度；
[0018]所述限位件上开设有限位槽，所述热电冷却件与所述限位槽配合
。
[0019]本申请的一个实施例的一个技术效果是：鉴于热电冷却件的数量为多个并间隔设置限位件上，不同热电冷却件对承载件的不同区域进行加热或制冷，使得热电冷却件对承载件的不同区域的温度进行控制
。
温度传感器用于检测承载件与不同热电冷却件对应的各区域的温度
。
当温度传感器检测到承载件存在与工件所需的环境温度不一致的区域时，可以通过控制中心对与该区域对应的热电冷却件进行调节，从而使得该区域的温度最终等于工件所需的环境温度，确保承载件上各区域的温度保持一致，提高温控装置对温度控制的精度
。
附图说明
[0020]图1为一实施例提供的温控装置的立体结构示意图
。
[0021]图2为图1所示温控装置的分解结构示意图
。
[0022]图3为图1所示温控装置的立体剖视结构示意图
。
[0023]图4为图1所示温控装置中吸液件的断面结构示意图
。
具体实施方式
[0024]为使本申请的上述目的
、
特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明
。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请
。
但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制
。
[0025]在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制
。
[0026]此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量
。
由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征
。
在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定
。
[0027]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解
。
例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可
以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义
。
[0028]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触
。
而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征
。
第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种温控装置，其特征在于，包括：温控机构，包括限位件和热电冷却件，所述热电冷却件的数量为多个并间隔设置所述限位件上；及承载机构，包括温度传感器和承载件，所述承载件设置在所述温控机构上并覆盖所述热电冷却件，所述承载件用于承载工件，所述温度传感器的数量为多个并间隔设置在所述承载件上，所述温度传感器用于检测所述承载件与不同所述热电冷却件对应的各区域的温度
。2.
根据权利要求1所述的温控装置，其特征在于，所述限位件具有朝向所述承载件设置的限位面，所述热电冷却件均设置在所述限位面上，多个所述热电冷却件沿所述限位件的周向间隔排列
。3.
根据权利要求2所述的温控装置，其特征在于，所述温控机构还包括能够绝缘的隔离垫，所述隔离垫设置在所述限位面上，且所述隔离垫位于相邻两个所述热电冷却件之间
。4.
根据权利要求1所述的温控装置，其特征在于，所述温控机构还包括绝缘组件，所述绝缘组件覆盖所述热电冷却件和所述限位件，所述承载件叠置在所述绝缘组件上
。5.
根据权利要求4所述的温控装置，其特征在于，所述温控机构还包括均热件，所述绝缘组件包括第一绝缘膜和第二绝缘膜，所述均热件夹置在所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜之间，所述第一绝缘膜覆盖在所述热电冷却件和所述限...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡凯，李伟，
申请(专利权)人：镭神技术西安有限公司，
类型：新型
国别省市：