用于气相沉积反应器的远程固体源反应物输送系统技术方案

本文公开了与使用固体源化学大容量填充容器的远程输送系统相关的系统和方法。该输送系统可以包括气相沉积反应器、远离气相沉积反应器的两个或更多个大容量填充容器、互连管线、管线加热器以及包括一个或多个阀的气体面板。每个大容量填充容器配置为在其中容纳固体源化学反应物。大容量填充容器可各自包括流体出口。互连管线可以将气相沉积反应器与每个大容量填充容器流体连接。管线加热器可以将互连管线的至少一部分加热到至少最小管线温度。气体面板的一个或多个阀可以将通过互连管线的蒸发化学反应物的流动从一个流体出口切换到另一个流体出口。另一个流体出口。另一个流体出口。

【技术实现步骤摘要】
用于气相沉积反应器的远程固体源反应物输送系统


[0001]本申请总体涉及有关半导体处理设备的系统和方法，具体地涉及用于气相沉积反应器的固体源反应物输送系统。

技术介绍

[0002]固体源反应物输送系统将反应物蒸汽输送到气相沉积反应器，其包括气相沉积反应室。该容器可以包括待蒸发的化学反应物。固体源反应物被蒸发并由载气携带，或者单独作为蒸汽被吸入反应室，在那里反应物沉积在衬底上。当反应物蒸发时，它可能被耗尽并需要重新填充或补充。然而，在减少气相沉积反应器的停工时间的同时，固体源反应物可以多快和多有效地被补充，目前存在一定的限制。

技术实现思路

[0003]公开了用于气相沉积反应器的远程固体源反应物输送系统和方法。在一些实施例中，一种固体源反应物输送系统包括远离气相沉积反应器的第一大容量填充容器。第一大容量填充容器可以配置为在其中容纳第一固体源化学反应物。第一大容量填充容器可以包括第一流体出口，其配置为将第一蒸发化学反应物排出第一容器主体。输送系统还可以包括远离气相沉积反应器的第二大容量填充容器，其配置为在其中容纳第二固体源化学反应物本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于气相沉积反应器的远程固体源反应物输送系统，该输送系统包括：第一大容量填充容器，其远离气相沉积反应器并配置为在其中容纳第一固体源化学反应物，其中，第一大容量填充容器包括第一流体出口，其配置为将第一蒸发化学反应物排出第一容器主体；第二大容量填充容器，其远离气相沉积反应器并配置为在其中容纳第二固体源化学反应物，其中，第二大容量填充容器包括第二流体出口，其配置为将第二蒸发化学反应物排出第二容器主体；互连管线，其将气相沉积反应器与第一和第二大容量填充容器中的每个流体连接，其中，气相沉积反应器与第一和第二大容量填充容器都分开至少最小距离；管线加热器，其配置为将互连管线的至少一部分加热到至少最小管线温度；以及包括阀的气体面板，该气体面板设置在互连管线与第一和第二大容量填充容器中的每个之间，该阀配置成选择性地使来自第一流体出口的第一蒸发化学反应物和来自第二流体出口的第二蒸发化学反应物流过互连管线。2.根据权利要求1所述的输送系统，其中，所述阀配置成使所述第一蒸发化学反应物或所述第二蒸发化学反应物中的至少一种通过所述互连管线连续流动和/或脉冲流动至所述气相沉积反应器。3.根据权利要求2所述的输送系统，其中，所述最小管线温度在约140℃和约190℃之间。4.根据权利要求1所述的输送系统，其中，所述管线加热器包括加热套，其配置为至少部分地围绕所述互连管线的所述部分。5.根据权利要求1所述的输送系统，其中，所述第一和第二大容量填充容器中的每个包括相应的容器加热器，其配置为将相应的第一和第二大容量填充容器的内部加热到至少最小容器温度。6.根据权利要求5所述的输送系统，其中，所述最小容器温度在约105℃和约155℃之间。7.根据权利要求1所述的输送系统，其中，所述互连管线将所述气相沉积反应器与所述第一和第二大容量填充容器中的每个流体连接。8.根据权利要求1所述的输送系统，还包括包含所述第一和第二大容量填充容器的壳体。9.根据权利要求1所述的输送系统，其中，所述第一和第二大容量填充容器中的每个配置为分别容纳至少15千克的所述第一和第二固体源化学反应物。10.根据权利要求1所述的输送系统，还包括与所述互连管线流体连通的流动控制器，该流动控制器配置为改变通过互连管线的蒸发化学反应物的流量。11.根据权利要求1所述的输送系统，还包括容器控制器，其配置成：接收指示所述第一大容量填充容器内的固体源化学反应物的体积低于最小阈值量的信号；并且指...

【专利技术属性】
技术研发人员：T邓恩，P马，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：