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本文公开了与使用固体源化学大容量填充容器的远程输送系统相关的系统和方法。该输送系统可以包括气相沉积反应器、远离气相沉积反应器的两个或更多个大容量填充容器、互连管线、管线加热器以及包括一个或多个阀的气体面板。每个大容量填充容器配置为在其中容纳...
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