用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器制造技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，调节盘上均布有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的底部与连接轴连接，连接轴压接到深沟球轴承上，深沟球轴承安装在陶瓷垫环内，陶瓷垫环的底部安装有带螺纹连杆，带螺纹连杆上套装有密封单元，密封单元安装在调整杆陶瓷套上。本发明专利技术将调节部分放在腔体外面，隔绝了腔体内部高温影响，提高了调节效率；采用带锁紧千分尺头直连上下运动，提高了整体调节精准度，另外千分尺头本身带有轴心锁，锁紧调节杆位置稳定快捷，进一步提高了效率；调节器和上腔体之间采用了绝缘件隔绝装配，避免了设备开启过程腔体放电，而且陶瓷件的精度稳定性都很好，提高了设备本身的稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器


[0001]本专利技术涉及半导体镀膜
，尤其涉及一种用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器。

技术介绍

[0002]现有的半导体镀膜设备在工艺过程中，因薄膜的特殊性质而要求在薄膜沉积工艺时，喷淋装置与其对应的加热体保证一定的平面性，在这种情况下就需要喷淋装置的本身平面性很高或者设计有调节平面性的装置，传统的调节方式是利用腔体内部的丝杆进行调节，这样的话因为腔体内高温影响导致调整效率不高，另外丝杆受其本身精度影响会导致其精准度不好。

技术实现思路

[0003]本专利技术为解决上述问题，提供一种用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，包括喷头陶瓷套和调节盘，调节盘上均布有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的底部与连接轴连接，连接轴压接到深沟球轴承上，深沟球轴承安装在陶瓷垫环内，陶瓷垫环的底部安装有带螺纹连杆，带螺纹连杆上套装有密封单元，密封单元安装在调整杆陶瓷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，其特征在于，包括喷头陶瓷套(2)和调节盘(3)，调节盘(3)上均布有三个带锁紧千分尺头(9)，带锁紧千分尺头(9)的底部与连接轴(7)连接，连接轴(7)压接到深沟球轴承(17)上，深沟球轴承(17)安装在陶瓷垫环(6)内，陶瓷垫环(6)的底部安装有带螺纹连杆(21)，带螺纹连杆(21)上套装有密封单元，密封单元安装在调整杆陶瓷套(12)上；带螺纹连杆(21)与6/8寸喷淋头(1)螺纹连接，喷头陶瓷套(2)内通过O型密封圈一(15)和密封挡板(5)密封插装有6/8寸喷淋头(1)的进气管。2.根据权利要求1所述的用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，其特征在于，所述带锁紧千分尺头(9)的底部通过夹紧盖(11)与连接轴(7)连接。3.根据权利要求1所述的用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，其特征在于，所述的连接轴(7)通过压盖(8)、内六角沉头螺钉(19)压接到深沟球轴承(17)上。4.根据权利要求1所述的用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，其特征在于，所述的深沟球轴承(17)通过上压盖(10)和螺钉安装在陶瓷垫环(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王正国，包驷璋，徐家庆，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：