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本发明公开了一种用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，调节盘上均布有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的底部与连接轴连接，连接轴压接到深沟球轴承上，深沟球轴承安装在陶瓷垫环内，陶瓷垫环的底部安装有带螺纹连杆，带螺纹连杆上套装有密封单...
该专利属于大连皓宇电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连皓宇电子科技有限公司授权不得商用。

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