一种沉积炉的进气组件及沉积炉制造技术

本发明专利技术公开了一种沉积炉的进气组件及沉积炉，进气组件包括具有进气口和出气口的进气管，还包括可活动地设置在进气管内的增能块,增能块的顶端朝向进气口、与顶端相对的底端朝向出气口设置，增能块垂直于其延伸方向的横截面自顶端到底端逐渐变大。进气组件通过在管道内设置增能块能够改变和控制气体在管道内的流动状态，使增能块的横截面沿着进气口到出气口的方向不断变大，能够控制进气管中供气体通过的有效截面积从进气口到出气口不断变小，从而促使气体在向出气口流动的过程中不断受到挤压，大大提高气体从出气口喷出的压力和速度，从而使进气组件喷出气体具有较大的动能，避免气体中的碳原子出现沉积的现象。避免气体中的碳原子出现沉积的现象。避免气体中的碳原子出现沉积的现象。

【技术实现步骤摘要】
一种沉积炉的进气组件及沉积炉


[0001]本专利技术属于碳/碳复合材料坩埚制造
，具体地说，涉及一种沉积炉的进气组件及沉积炉。

技术介绍

[0002]现有技术中，制备坩埚的基本工序是制出坩埚形状的预制体，然后通过气相沉积或者液相沉积的方法，将碳原子渗透到碳纤维制成的预制体上，同时进行高温处理，将碳原子石墨化。利用气相沉积方法使预制体在沉积炉内沉积碳的过程是，在沉积炉内通入甲烷，同时提供高温将甲烷分解为气态的碳和氢气，然后使气态碳接触预制体，最终将碳原子渗透到预制体内，进而提高坩埚的强度、密度等性能。但是，现有沉积炉用于供气的结构容易产生堵塞和分气不均匀的问题。
[0003]申请号为：202210268346.4的中国专利技术专利公开了一种高纯热解炭涂层的化学气相沉积设备，包括化学气相沉积炉和PLC控制柜，所述化学气相沉积炉内设有钢笼和马弗筒，马弗筒位于钢笼内，所述钢笼的内壁上设有保温毡，所述保温毡与马弗筒之间设有加热板，所述马弗筒的上端连接有排气管，所述排气管与尾气处理系统连接，马弗筒的底部密封连接有配气机构，所述配气机构与供气系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种沉积炉的进气组件，包括具有进气口(226)和出气口(227)的进气管(210),其特征在于,还包括可活动地设置在进气管(210)内的增能块(220),增能块(220)的顶端(228)朝向进气口(226)、与顶端(228)相对的底端(229)朝向出气口(227)设置，增能块(220)垂直于其延伸方向的横截面自顶端(228)到底端(229)逐渐变大。2.根据权利要求1所述的一种沉积炉的进气组件，其特征在于，所述进气口(226)处和/或所述出气口(227)处设置有沿径向、朝着所述进气管(210)的中心轴线凸出的限位部，限位部与所述增能块(220)在垂直于所述进气管(210)中心轴线的截面上产生重叠，用于将所述增能块(220)限制在所述进气管(210)内；优选地，限位部为具有中心孔并且中心孔直径小于所述底端(229)直径的上限位环(211)和下限位环(212)；更优选地，上限位环(211)和下限位环(212)分别可拆卸地固定在所述进气管(210)的两端。3.根据权利要求1或2所述的一种沉积炉的进气组件，其特征在于，所述顶端(228)的横截面逐渐缩小至一点形成尖部(222)，所述增能块(220)呈圆锥状。4.根据权利要求3所述的一种沉积炉的进气组件，其特征在于，所述增能块(220)的外周侧面上开设用于引导气体的导气槽(221)，导气槽(221)向所述增能块(220)的中心轴线方向凹陷设置并且从所述顶端(228)延伸至所述底端(229)；优选地，导气槽(221)沿直线延伸并且与圆锥外周侧面的母线平行，呈放射状；更优选地，导气槽(221)的直线延伸方向相对圆锥外周侧面的母线倾斜，呈旋转放射状。5.根据权利要求4所述的一种沉积炉的进气组件，其特征在于，所述导气槽(221)包括贯通所...

【专利技术属性】
技术研发人员：周俭，
申请(专利权)人：内蒙古鼎泰万邦新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：