一种静电吸附盘的拆装设备制造技术

本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种静电吸附盘的拆装设备，包括施力转盘、设于所述施力转盘上的固定保护盖、以及设于所述固定保护盖上的T形把手，所述施力转盘的内壁上一体连接有若干个沿所述施力转盘均匀排列的坡度滑块，所述固定保护盖沿所述坡度滑块滑动，所述T形把手穿设所述固定保护盖后与静电吸附盘的基座螺纹固定，所述施力转盘背离所述固定保护盖的一侧转接有若干个下转轮，若干个所述下转轮沿所述施力转盘均匀排列。本申请提高了蚀刻氧化机台静电吸附盘拆装的安全性和稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种静电吸附盘的拆装设备


[0001]本申请涉及半导体设备
，具体涉及一种静电吸附盘的拆装设备。

技术介绍

[0002]在半导体制造流程中，用于蚀刻工艺的蚀刻氧化机台保养时会涉及到更换其活动腔体内的静电吸附盘，参考图1，静电吸附盘通过基座固定在机台腔体中，传统的拆卸工序是把固定静电吸附盘的18颗螺丝拆除后，再在静电吸附盘的基座上对称安装两个把手，通过对把手施力将静电吸附盘用蛮力拆出。由于静电吸附盘有一定的重量，且不经常拆装，静电吸附盘会粘在其基座密封圈上很难被拔起，且在向上拔起的过程中，极易因用力过猛使得静电吸附盘砸碰到机台腔体，致使静电吸附盘和蚀刻氧化机台损坏或者造成人员受伤，这种情况需要改变。

技术实现思路

[0003]本申请提供一种静电吸附盘的拆装设备，以提高蚀刻氧化机台的静电吸附盘拆装的安全性和稳定性。
[0004]为实现以上技术目的，采用的技术方案为：
[0005]一种静电吸附盘的拆装设备，包括施力转盘、设于所述施力转盘上的固定保护盖、以及设于所述固定保护盖上的T形把手，所述施力转盘的内壁上一体连接有若干个沿所述施力转盘均匀排列的坡度滑块，所述固定保护盖沿所述坡度滑块滑动，所述T形把手穿设所述固定保护盖后与静电吸附盘的基座螺纹固定，所述施力转盘背离所述固定保护盖的一侧转接有若干个下转轮，若干个所述下转轮沿所述施力转盘均匀排列。
[0006]本申请进一步设置为：所述固定保护盖的侧边转接有若干个沿所述固定保护盖均匀排列的上转轮，所述上转轮与所述坡度滑块转接。
[0007]本申请进一步设置为：所述坡度滑块的高坡度的一端一体连接有止挡板，在所述坡度滑块上并靠近所述止挡板处开设有止挡槽，所述上转轮与所述止挡槽相匹配，用于止挡限位。
[0008]本申请进一步设置为：在所述施力转盘上并与所述坡度滑块对应处开设有施力辅助窗。
[0009]本申请进一步设置为：所述T形把手至少为两个且对称穿设在所述固定保护盖上，所述T形把手的外表面设有防滑纹。
[0010]本申请进一步设置为：所述T形把手上一体连接有限位片，所述限位片与所述固定保护盖抵接或保持有一定距离。
[0011]本申请进一步设置为：若干个所述坡度滑块沿所述施力转盘圆周排列或螺旋排列。
[0012]本申请进一步设置为：所述固定保护盖的外径尺寸为324mm，所述施力转盘的内径尺寸为358mm。
[0013]本申请进一步设置为：所述固定保护盖由特氟龙材料制成。
[0014]本申请进一步设置为：所述固定保护盖上对称开设有把手孔，所述T形把手与所述把手孔相匹配。
[0015]综上所述，与现有技术相比，本申请公开了一种静电吸附盘的拆装设备，通过以施力转盘为支撑，由T形把手将固定保护盖固定在静电吸附盘，结合均匀排列的坡度滑块以及固定保护盖沿坡度滑块滑动，即在施力转动转接有若干个下转轮的施力转盘后，固定保护盖被坡度滑块平稳驱升，进而将静电吸附盘平稳安全的拆出，以此提高了蚀刻氧化机台的静电吸附盘拆装的安全性和稳定性。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是现有技术中蚀刻氧化机台的静电吸附盘的安装示意图；
[0018]图2是本实施例静电吸附盘的拆装设备的整体结构示意图；
[0019]图3是本实施例施力转盘的立体结构示意图；
[0020]图4是本实施例施力转盘的仰视结构示意图。
[0021]1、施力转盘；11、下转轮；12、施力辅助窗；2、固定保护盖；21、上转轮；22、把手孔；3、T形把手；31、限位片；4、坡度滑块；41、止挡板；42、止挡槽。
具体实施方式
[0022]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0023]需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素，此外，本申请不同实施例中具有同样命名的部件、特征、要素可能具有相同含义，也可能具有不同含义，其具体含义需以其在该具体实施例中的解释或者进一步结合该具体实施例中上下文进行确定。
[0024]应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0025]在后续的描述中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“部件”或者“单元”的后缀仅为了有利于本申请的说明，其本身没有特定的意义。因此，“模块”、“部件”或者“单元”可以混合地使用。
[0026]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描
述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0027]以下将通过具体实施例对本申请所示的技术方案进行详细说明。需要说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优先顺序的限定。
[0028]一种静电吸附盘的拆装设备，请参考图1
‑
图4，静电吸附盘的拆装设备包括施力转盘1、设于施力转盘1上的固定保护盖2、以及设于固定保护盖2上的T形把手3，施力转盘1的内壁上一体连接有若干个沿施力转盘1均匀排列的坡度滑块4，固定保护盖2沿坡度滑块4滑动，T形把手3穿设固定保护盖2后与静电吸附盘的基座螺纹固定，施力转盘1背离固定保护盖2的一侧转接有若干个下转轮11，若干个下转轮11沿施力转盘1均匀排列。
[0029]在具体实施过程中，若干个坡度滑块4沿施力转盘1圆周排列，即在静电吸附盘的拆装过程中，将施力转盘1置于蚀刻氧化机台的腔体上并使得静电吸附盘被套设其内。具体的，施力转盘1的下转轮11可支撑在中间接地环上，进一步的，通过T形把手3紧密的固定住静电吸附盘与固定保护盖2，进而在强制驱动施力转盘1转动后，固定保护盖2相对于坡度滑块4滑动上升，即静电吸附盘被平稳、安全的拆离其基座，之后通过T形把手3将固定保护盖2与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电吸附盘的拆装设备，其特征在于：包括施力转盘、设于所述施力转盘上的固定保护盖、以及设于所述固定保护盖上的T形把手，所述施力转盘的内壁上一体连接有若干个沿所述施力转盘均匀排列的坡度滑块，所述固定保护盖沿所述坡度滑块滑动，所述T形把手穿设所述固定保护盖后与静电吸附盘的基座螺纹固定，所述施力转盘背离所述固定保护盖的一侧转接有若干个下转轮，若干个所述下转轮沿所述施力转盘均匀排列。2.如权利要求1所述的静电吸附盘的拆装设备，其特征在于，所述固定保护盖的侧边转接有若干个沿所述固定保护盖均匀排列的上转轮，所述上转轮与所述坡度滑块转接。3.如权利要求2所述的静电吸附盘的拆装设备，其特征在于，所述坡度滑块的高坡度的一端一体连接有止挡板，在所述坡度滑块上并靠近所述止挡板处开设有止挡槽，所述上转轮与所述止挡槽相匹配，用于止挡限位。4.如权利要求1所述的静电吸附盘的拆装设备，其特征在于，在所述施力转盘上并与所述坡度滑块对应处开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：王开毅，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：