一种自动刻蚀浸泡机制造技术

本实用新型专利技术提供一种自动刻蚀浸泡机，涉及刻蚀浸泡机技术领域，包括片盒单元，所述片盒单元的顶面分别设置有右侧花篮放置位和左侧花篮放置位，所述片盒单元的一侧设置有机器人，所述机器人的一侧分别设置有一号刻蚀单元和二号刻蚀单元，所述机器人的一侧还设置有浸泡单元，所述机器人相对于浸泡单元的一侧设置有干燥单元，实际使用时，通过设置片盒单元、右侧花篮放置位、左侧花篮放置位、机器人、一号刻蚀单元、二号刻蚀单元、浸泡单元和干燥单元，采用中心是晶圆机器人和四周布置单元的布局，解决了人工和槽式设备处理晶圆一致性不高、化学品对人工的危害、槽式设备占地面积太大的问题，而且单元数量根据工艺时间合理配置。而且单元数量根据工艺时间合理配置。而且单元数量根据工艺时间合理配置。

【技术实现步骤摘要】
一种自动刻蚀浸泡机


[0001]本技术涉及刻蚀浸泡机
，尤其涉及一种自动刻蚀浸泡机。

技术介绍

[0002]目前，市面上的OSP成膜工艺和前道微蚀处理是用人工或者槽式设备分几个槽来实现晶圆的刻蚀、OSP成膜、干燥，而人工处理的方式，晶圆处理完一致性不高，且化学品暴露在人的面前，会对人体产生危害，槽式设备的处理方式，晶圆处理完的一致性比人工稍有改进，但设备长度很长，占地面积很大。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种自动刻蚀浸泡机。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种自动刻蚀浸泡机，包括片盒单元，所述片盒单元的顶面分别设置有右侧花篮放置位和左侧花篮放置位，所述片盒单元的一侧设置有机器人，所述机器人的一侧分别设置有一号刻蚀单元和二号刻蚀单元，所述机器人的一侧还设置有浸泡单元，所述机器人相对于浸泡单元的一侧设置有干燥单元。
[0005]为了实现设备供电，本技术改进有，所述一号刻蚀单元的一侧设置有电控系统。
[0006]为了控制水流流通，本技术改进有，所述浸泡单元的一侧设置有管路系统。
[0007]为了辅助摆放花篮，本技术改进有，所述右侧花篮放置位和左侧花篮放置位对称分布在片盒单元上。
[0008]为了辅助加工，本技术改进有，所述片盒单元的两侧还分别设置有干对中和湿对中。
[0009]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0010]本技术中，实际使用时，通过设置片盒单元、右侧花篮放置位、左侧花篮放置位、机器人、一号刻蚀单元、二号刻蚀单元、浸泡单元和干燥单元，采用中心是晶圆机器人和四周布置单元的布局，解决了人工和槽式设备处理晶圆一致性不高、化学品对人工的危害、槽式设备占地面积太大的问题，而且单元数量根据工艺时间合理配置，大大提高了生产效率。
附图说明
[0011]图1为本技术提出一种自动刻蚀浸泡机的整体结构示意图；
[0012]图2为本技术提出一种自动刻蚀浸泡机的前视图；
[0013]图3为本技术提出一种自动刻蚀浸泡机的左视图；
[0014]图4为本技术提出一种自动刻蚀浸泡机的右视图。
[0015]图例说明：
[0016]1、片盒单元；1
‑
1、右侧花篮放置位；1
‑
2、左侧花篮放置位；1
‑
3、干对中；1
‑
4、湿对中；2、机器人；3、一号刻蚀单元；4、二号刻蚀单元；5、浸泡单元；6、干燥单元；7、电控系统；8、管路系统。
具体实施方式
[0017]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0018]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0019]实施例一，请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种自动刻蚀浸泡机，包括片盒单元1，片盒单元1的顶面分别设置有右侧花篮放置位1
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1和左侧花篮放置位1
‑
2，右侧花篮放置位1
‑
1和左侧花篮放置位1
‑
2对称分布在片盒单元1上，通过设置右侧花篮放置位1
‑
1和左侧花篮放置位1
‑
2，起到了辅助摆放花篮的作用，片盒单元1的两侧还分别设置有干对中1
‑
3和湿对中1
‑
4。
[0020]请参阅图1
‑
3，片盒单元1的一侧设置有机器人2，机器人2的一侧分别设置有一号刻蚀单元3和二号刻蚀单元4，机器人2的一侧还设置有浸泡单元5，浸泡单元5的一侧设置有管路系统8，通过设置管路系统8，起到了控制水流流通的作用，机器人2相对于浸泡单元5的一侧设置有干燥单元6，一号刻蚀单元3的一侧设置有电控系统7，通过设置电控系统7，起到了为设备供电的作用。
[0021]工作原理：通过设置片盒单元1、右侧花篮放置位1
‑
1、左侧花篮放置位1
‑
2、机器人2、一号刻蚀单元3、二号刻蚀单元4、浸泡单元5和干燥单元6，首先，人工在片盒单元1右侧花篮放置位1
‑
1放置一个花篮，传片机器人2驱动手臂从花篮内自动取片、对中，之后送至刻蚀单元去除氧化膜、吹干甩干，最后送回原花篮，待整个花篮内的晶圆环全部完成刻蚀工艺，人工取出检测每一片带晶圆环的晶圆，接着人工将检测之后的整篮晶圆环放在片盒左侧花篮放置位1
‑
2，传片机器人2驱动手臂从花篮内自动取片、对中，之后送至浸泡单元5做成膜工艺，之后送至干燥单元6吹干甩干，最后送回原花篮，两种工艺流程可以分别独立完成，且可以同时进行、互不干涉，具体工艺流程：花篮
→
干对中1
‑3→
刻蚀单元刻蚀
→
花篮
→
全部完成，人工取出花篮检测晶圆后放回
→
浸泡单元5浸泡
→
湿对中1
‑4→
干燥单元6甩干和吹干
→
花篮。
[0022]以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非是对本技术作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的
技术实现思路
加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本技术技术方案的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动刻蚀浸泡机，包括片盒单元(1)，其特征在于：所述片盒单元(1)的顶面分别设置有右侧花篮放置位(1
‑
1)和左侧花篮放置位(1
‑
2)，所述片盒单元(1)的一侧设置有机器人(2)，所述机器人(2)的一侧分别设置有一号刻蚀单元(3)和二号刻蚀单元(4)，所述机器人(2)的一侧还设置有浸泡单元(5)，所述机器人(2)相对于浸泡单元(5)的一侧设置有干燥单元(6)。2.根据权利要求1所述的自动刻蚀浸泡机，其特征在于：所述一号刻蚀单元(3)的一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈海滨，
申请(专利权)人：江苏雷博微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：