一种适配全自动键合机的专用键合夹具制造技术

技术编号:37832387 阅读:16 留言:0更新日期:2023-06-11 13:21
本实用新型专利技术公开了一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,包括:底垫块、压板、若干压爪;所述压板安装于所述底垫块的上端,所述压板上设有定位槽;若干所述压爪上设有腰孔;若干所述压爪通过螺栓和所述腰孔安装于所述压板,且若干所述压爪的爪部位于所述定位槽内。通过对本实用新型专利技术的应用,提供了一种适配全自动键合机的专用键合夹具,压板上设有不同规格的压爪,能够对不同尺寸和规格的键合品进行压紧,一种夹具能够对应多种键合品,有效的减少了生产成本,然后通过调节压板上腰孔在螺栓上的安装位置,对键合品进行压紧,使用方法简单快捷。方法简单快捷。方法简单快捷。

【技术实现步骤摘要】
一种适配全自动键合机的专用键合夹具


[0001]本技术涉及夹具等相关
,尤其涉及一种适配全自动键合机的专用键合夹具。

技术介绍

[0002]键合是将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直接结合成为一体的一种技术,是物理学领域的一种技术。而键合机顾名思义就是为实现键合技术的一种设备。由于键合过程的两个表面基本都是平整的,故当有一个或两个表面在键合过程中有起伏情况(即抖动)时,会直接影响键合成功与否或影响键合强度。为了确保键合品质,往往要求被键合品稳固不能抖动,因此需要键合夹具。
[0003]但是现有的键合品的尺寸、大小、规格各不相同,因此需要多个不同的夹具,每个夹具夹持不同的键合品,提高了生产成本,且每次夹持不同的键合品还需要更换不同的夹具,使用方法较为麻烦

技术实现思路

[0004]有鉴于此,为解决上述问题,本技术的目的在于提供一种适配全自动键合机的专用键合夹具,包括:
[0005]底垫块、压板、若干压爪;
[0006]所述压板安装于所述底垫块的上端,所述压板上设有定位槽;
[0007]若干所述压爪上设有腰孔;
[0008]若干所述压爪通过螺栓和所述腰孔安装于所述压板,且若干所述压爪的爪部位于所述定位槽内。
[0009]上述的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,所述底垫块呈“凸”字形,所述压板安装于所述“凸”字形的上端。
[0010]上述的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,若干所述压爪包括:至少一左偏直压爪、至少一右偏直压爪、至少一左偏长脚压爪、至少一右偏长脚压爪、至少一多连压爪、至少一双脚压爪。
[0011]上述的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,所述左偏直压爪包括:第一安装部、第一连接部、第一压爪部;所述第一安装部、所述第一连接部以及所述第一压爪部依次连接,所述第一安装部安装于所述压板,所述第一连接部与所述定位槽的内壁接触或远离,所述第一压爪部设于所述定位槽内;所述右偏直压爪包括:第二安装部、第二连接部、第二压爪部;所述第二安装部、所述第二连接部以及所述第二压爪部依次连接,所述第二安装部安装于所述压板,所述第二连接部与所述定位槽的内壁接触或远离,所述第二压爪部设于所述定位槽内;所述左偏长脚压爪包括:第三安装部、第三连接部、第三压爪部;所述第三安装部、所述第三连接部以及所述第三压爪部依次连接,所述第三安装部安装于所述压板,所述第三连接部与所述定位槽的内壁接触或远离,所述第三压爪部设于所述
定位槽内;所述右偏长脚压爪包括:第四安装部、第四连接部以及第四压爪部依次连接,所述第四安装部安装于所述压板,所述第四连接部与所述定位槽的内壁接触或远离,所述第四压爪部设于所述定位槽内。
[0012]上述的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,所述多连压爪包括:第五安装部、第五连接部、若干第五压爪部;所述第五安装部、所述第五连接部以及所述第五压爪部依次连接,所述第五安装部安装于所述压板,所述第五连接部与所述定位槽的内壁接触或远离,所述第五压爪部设于所述定位槽内。
[0013]上述的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,所述双脚压爪包括:第六安装部、第六连接部、两第六压爪部;所述第六连接部的一端安装所述第六安装部,所述第六连接部的另一端安装两所述第六压爪部,且两所述第六压爪部远离所述第六连接部的一端形成一定角度,所述第六安装部安装于所述压板,所述第六连接部与所述定位槽的内壁接触或远离,两所述第六压爪部位于所述定位槽内。
[0014]上述的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,所述“凸”字形下端设有若干定位孔。
[0015]上述技术方案与现有技术相比具有的积极效果是:
[0016]通过对本技术的应用,提供了一种适配全自动键合机的专用键合夹具,压板上设有不同规格的压爪,能够对不同尺寸和规格的键合品进行压紧,一种夹具能够对应多种键合品,有效的减少了生产成本,然后通过调节压板上腰孔在螺栓上的安装位置,对键合品进行压紧,使用方法简单快捷。
附图说明
[0017]图1为本技术的一种适配全自动键合机的专用键合夹具的示意图。
[0018]图2为本技术中左偏直压爪的示意图。
[0019]图3为本技术中右偏直压爪的示意图。
[0020]图4为本技术中左偏长脚压爪的示意图。
[0021]图5为本技术中右偏长脚压爪的示意图。
[0022]图6为本技术中多连压爪的示意图。
[0023]图7为本技术中双脚压爪的示意图。
[0024]1、底垫块;2、压板;3、压爪;4、定位槽;5、定位孔;6、左偏直压爪;61、第一安装部;62、第一连接部;63、第一压爪部;7、右偏直压爪;71、第二安装部;72、第二连接部;73、第二压爪部;8、左偏长脚压爪;81、第三安装部;82、第三连接部;83、第三压爪部;9、右偏长脚压爪;91、第四安装部;92、第四连接部;93、第四压爪部;10、多连压爪;101、第五安装部;102、第五连接部;103、第五压爪部;11、双脚压爪;111、第六安装部;112、第六连接部;113、第六压爪部。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和具体实施对本技术作进一步说明,但不作为本技术的限定。
[0026]本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内
容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本专利技术可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时,本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语,亦仅为便于叙述的明了,而非用以限定本技术可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更
技术实现思路
下,当亦视为本技术可实施的范畴。
[0027]如图1至图7所示,示出一种较佳实施例的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,包括:底垫块1、压板2、若干压爪3。
[0028]压板2安装于底垫块1的上端,压板2上设有定位槽4;若干压爪3上设有腰孔;若干压爪3通过螺栓和腰孔安装于压板2,且若干压爪3的爪部位于定位槽4内。
[0029]在实际使用过程中,首先将底垫块1固定安装于全自动键合机上,然后将压板2固定安装于底垫块1上,接着调节全自动键合机轨道,使得键合品被传送至底垫块1上方相对靠近中间的位置,然后根据键合品的尺寸、规格,夹持于不同的压爪3,最后控制全自动键合机进行键合。具体的,压爪3上具有腰孔,然后通过螺栓安装于压板2,因此压爪3相对压板2的位置可以调节,通过选用不同规格的压爪3及调整压爪3在压板2上的锁紧位置,可自由调节夹具与被键合品的夹紧点位。通过对上述夹本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,包括:底垫块、压板、若干压爪;所述压板安装于所述底垫块的上端,所述压板上设有定位槽;若干所述压爪上设有腰孔;若干所述压爪通过螺栓和所述腰孔安装于所述压板,且若干所述压爪的爪部位于所述定位槽内。2.根据权利要求1所述的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,所述底垫块呈“凸”字形,所述压板安装于所述“凸”字形的上端。3.根据权利要求1所述的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,若干所述压爪包括:至少一左偏直压爪、至少一右偏直压爪、至少一左偏长脚压爪、至少一右偏长脚压爪、至少一多连压爪、至少一双脚压爪。4.根据权利要求3所述的一种适配全自动键合机的专用键合夹具,其特征在于,所述左偏直压爪包括:第一安装部、第一连接部、第一压爪部;所述第一安装部、所述第一连接部以及所述第一压爪部依次连接,所述第一安装部安装于所述压板,所述第一连接部与所述定位槽的内壁接触或远离,所述第一压爪部设于所述定位槽内;所述右偏直压爪包括:第二安装部、第二连接部、第二压爪部;所述第二安装部、所述第二连接部以及所述第二压爪部依次连接,所述第二安装部安装于所述压板,所述第二连接部与所述定位槽的内壁接触或远离,所述第二压爪部设于所述定位槽内;所述左偏长脚压爪包括:第三安装部、第三连接部、第三...

【专利技术属性】
技术研发人员:骆鹏山高烨飞
申请(专利权)人:嘉兴斯达微电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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