用于光刻机预对准系统的硅片放置装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光刻机预对准技术领域，且公开了用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，包括工作架和设置在工作架上的预对准室，预对准室用于对晶圆硅片进行预对准水平检测，预对准室内转动安装有旋转台，旋转台上圆周阵列安装有多个用于放置晶圆硅片的承托柱，承托柱位于晶圆硅片底部的边缘处，工作架上安装有升降台，升降台的伸缩端安装有升降圆盘，升降圆盘的中心安装有摆动机构和摆动电机，摆动机构的摆动端安装有往复机构，往复机构的往复端连接有用于转移晶圆硅片的放置杆，放置杆形成一套运行轨迹，拿取晶圆硅片然后转移到承托柱上，形成完整的自动化拿取放置系统，便于晶圆硅片更加高效接受预对准系统水平光滑度的检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻机预对准，具体为用于光刻机预对准系统的硅片放置装置。

技术介绍

1、光刻机是半导体工业中的关键设备，主要用于制造芯片中的微小结构。它通过将掩模上的图形投影到硅片上，并使用紫外线照射硅片表面，使其形成微小的结构。光刻机是光刻工艺的核心设备，也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备，包含上万个零部件。硅片是一块很小的硅，内含集成电路，它是计算机或者其他电子设备的一部分。硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。简单来说，未切割的单晶硅材料是一种薄型圆片叫晶圆片，是半导体行业的原材料，割后叫硅片。所以，晶圆和硅片其实是同一种物质在不同加工阶段的称呼。

2、硅片在晶圆阶段，需要检查其表面的水平程度。在光刻过程中，晶圆表面的水平度对于图案的精度和稳定性至关重要。如果晶圆表面不平坦，光刻胶涂布和图案曝光就可能出现偏差。因此，为了确保光刻过程的准本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，包括工作架(110)和设置在所述工作架(110)上的预对准室(120)，所述预对准室(120)用于对晶圆硅片进行预对准水平检测，其特征在于：所述预对准室(120)内转动安装有旋转台(130)，所述旋转台(130)上圆周阵列安装有多个用于放置晶圆硅片的承托柱(140)，所述承托柱(140)位于晶圆硅片底部的边缘处；

2.根据权利要求1所述的用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，其特征在于：所述承托柱(140)位于所述摆动机构(250)摆动轨迹的一端，所述摆动机构(250)包括转动安装在所述升降圆盘(220)中心的转动管芯(252)，所述转动...

【技术特征摘要】

1.用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，包括工作架(110)和设置在所述工作架(110)上的预对准室(120)，所述预对准室(120)用于对晶圆硅片进行预对准水平检测，其特征在于：所述预对准室(120)内转动安装有旋转台(130)，所述旋转台(130)上圆周阵列安装有多个用于放置晶圆硅片的承托柱(140)，所述承托柱(140)位于晶圆硅片底部的边缘处；

2.根据权利要求1所述的用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，其特征在于：所述承托柱(140)位于所述摆动机构(250)摆动轨迹的一端，所述摆动机构(250)包括转动安装在所述升降圆盘(220)中心的转动管芯(252)，所述转动管芯(252)的底部一体化连接有传动齿环(254)，所述传动齿环(254)与所述摆动电机(240)传动连接，所述转动管芯(252)外侧转动套设有转动管套(251)，所述转动管芯(252)侧部开设有波浪滑槽(255)，所述转动管套(251)侧部开设有弧形滑槽(256)，所述弧形滑槽(256)与所述波浪滑槽(255)保持交错，并且所述弧形滑槽(256)与所述波浪滑槽(255)的交错点插接有卡销(253)，所述往复机构(300)安装在所述转动管芯(252)的顶端。

3.根据权利要求2所述的用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，其特征在于：所述波浪滑槽(255)由多个水平直线滑槽和倾斜的曲线滑槽组成，水平直线滑槽和倾斜的曲线滑槽交替设置并且围合成一体，所述卡销(253)沿着所述波浪滑槽(255)移动，并且所述卡销(253)在所述弧形滑槽(256)中来回滑动，所述卡销(253)从所述弧形滑槽(256)的一端滑行至另一端时，所述转动管芯(252)带动所述往复机构(300)以及所述放置杆(460)转动。

4.根据权利要求1所述的用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，其特征在于：所述往复机构(300)包括与所述摆动机构(250)连接的延伸平板(310)、一体化垂直在所述延伸平板(310)前端的限位板(330)，所述延伸平板(310)底部固定安装有往复电机(370)，所述延伸平板(310)的顶部转动安装有凸轮(320)，所述往复电机(370)带动所述凸轮(320)转动，所述限位板(330)中部滑动插接有往复杆(340)，所述往复杆(340)呈水平设置，所述往复杆(340)的一端连接有连动杆(350)，所述连动杆(350)端部与所述凸轮(320)侧壁接触，所述往复杆(340)的中部套设有往复弹簧(360)，所述往复弹簧(360)位于所述限位板(330)和所述连动杆(350)之间。

5.根据权利要求4所述的用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，其特征在于：所述往复杆(340)的端部一体化连接有放置连接座(410)，所述放置连接座(410)设置为u型座，所述放置连接座(410)的中部安装有固定杆(420)，所述固定杆(420)外侧滑动套设有两个移动块(430)，所述移动块(430)的侧壁与所述放置连接座(410)的侧壁滑动贴合，所述放置杆(460)设置有两个，两个所述放置杆(460)分别连接在两个所述移动块(430)的端部。

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【专利技术属性】
技术研发人员：刘正伟，朱凯彬，魏益波，
申请(专利权)人：江苏雷博微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：