下载用于光刻机预对准系统的硅片放置装置的技术资料

文档序号:40231321

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本发明涉及光刻机预对准技术领域,且公开了用于光刻机预对准系统的硅片放置装置,包括工作架和设置在工作架上的预对准室,预对准室用于对晶圆硅片进行预对准水平检测,预对准室内转动安装有旋转台,旋转台上圆周阵列安装有多个用于放置晶圆硅片的承托柱,承托...
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