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本发明涉及光刻机预对准技术领域，且公开了用于光刻机预对准系统的硅片放置装置，包括工作架和设置在工作架上的预对准室，预对准室用于对晶圆硅片进行预对准水平检测，预对准室内转动安装有旋转台，旋转台上圆周阵列安装有多个用于放置晶圆硅片的承托柱，承托...
该专利属于江苏雷博微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏雷博微电子设备有限公司授权不得商用。

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