【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电性能测试，具体涉及基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法及系统。
技术介绍
1、匀胶显影机是一种用于电子制造工艺中的设备，通过将电子元件覆盖在胶片上进行显影处理，匀胶显影机中的匀胶马达用于控制匀胶速度和均匀涂覆显影胶，如果匀胶马达出现了电流异常，则会导致匀胶马达出现故障，出现匀胶速度无法控制或者匀胶涂覆不均匀的情况，导致生产效率和产品质量下降，所以需要对匀胶显影机的运行状态进行实时监测，通过对匀胶显影机中的电流数据进行实时分析，根据分析结果对匀胶显影机的异常运行状态进行预警。
2、考虑到匀胶显影机的电流数据为时序数据，对应的异常运行状态通常对应误差累积和突变两种类型，使得现有技术基于迭代自组织聚类算法对不同周期的时序电流数据进行迭代聚类分析时，可能导致迭代过程中，出现异常数据点对聚类簇的聚类中心偏离程度影响较大的问题，使得后续对聚类簇中心进行修正后得到的电流波动可接受范围不够准确，从而使得根据得到的电流波动可接受范围对匀胶显影机的运行状态监测效果较差。
技术实现思路p>
1、为了解本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述电流数据显著度的获取方法包括：
3.根据权利要求2所述的基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述电流局部显著性的获取方法包括：
4.根据权利要求1所述的基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述对所有时序电流数据进行迭代自组织聚类的方法包括：
5.根据权利要求4所述的基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述...
【技术特征摘要】
1.基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述电流数据显著度的获取方法包括：
3.根据权利要求2所述的基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述电流局部显著性的获取方法包括：
4.根据权利要求1所述的基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述对所有时序电流数据进行迭代自组织聚类的方法包括：
5.根据权利要求4所述的基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述整体聚类影响程度的获取方法包括：
6.根据权利要求5所述的基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法，其特征在于，所述根据目标时序电流数据在对应的所有参考迭代聚类过程中的欧氏距...
【专利技术属性】
技术研发人员：宣海，魏逸波，陈酉冰，施鹤峰，
申请(专利权)人：江苏雷博微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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