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本发明涉及电性能测试技术领域，具体涉及基于电参数分析的匀胶显影机运行状态监测方法及系统，本发明首先根据时序电流数据在对应采样周期中的显著程度和对应的采样周期在整体时序电流数据中的显著程度进行分析，得到每个时序电流数据的电流数据显著度；根据每...
该专利属于江苏雷博微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏雷博微电子设备有限公司授权不得商用。

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