真空吸料组件及分选机制造技术

本实用新型专利技术公开一种真空吸料组件及分选机，其中，真空吸料组件包括旋转盘和通气轴，通气轴设置于旋转盘的轴向一端，且与旋转盘间隙配合；旋转盘内设置有N条第一通道；通气轴正对旋转盘的一端设置有N个条形槽，通气轴开设有N条第二通道，每一第二通道的进口端延伸至每一条形槽的槽底，每一第二通道的出口端用于与抽真空装置连通。本实用新型专利技术提出的真空吸料组件结构简单，当外部驱动件驱动旋转盘转动时，旋转盘不会与通气轴接触，降低了旋转盘的磨损，提升了其使用寿命。且相比于加装气环而言，该真空吸料组件的装配更加简单。真空吸料组件的装配更加简单。真空吸料组件的装配更加简单。

【技术实现步骤摘要】
真空吸料组件及分选机


[0001]本技术涉及分选机
，特别涉及一种真空吸料组件及分选机。

技术介绍

[0002]现有技术中，为提高晶圆的拾取效率，一般采用在转盘的外周壁上周向向阵列安装多条间隔抽真空吸嘴，用于拾取晶圆。转盘内部开设有与每一抽真空吸嘴连通的真空通道，然后通过气滑环对真空通道抽真空，该方案中，通过气滑环对真空通道抽真空处理时，结构复杂，整体的安装难度大。或者是，为保证抽空针度，转盘的下表面直接与抽真空装置相抵接，如此，电机驱动转盘转动吸料时，转盘与抽真空装置之间的摩擦太大，导致转盘容易损坏，使用寿命低。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提出一种真空吸料组件及分选机，旨在解决现有技术中转盘结构复杂，容易损坏的问题
[0004]为实现上述目的，本技术提出的真空吸料组件，包括：
[0005]旋转盘，
[0006]通气轴，设置于所述旋转盘的轴向一端，且与所述旋转盘间隙配合；
[0007]所述旋转盘内设置有N条第一通道，所述第一通道的出口端设置于延伸至所述旋转盘朝向所述通气轴的一端，所述第一通道的进口端用于与真空吸嘴连通；
[0008]所述通气轴正对所述旋转盘的一端设置有N个条形槽，N个所述条形槽沿所述第一通道的出口端的运动轨迹排布，每一所述条形槽与每一所述第一通道的出口端正对设置；
[0009]所述通气轴开设有N条第二通道，每一所述第二通道的进口端延伸至每一所述条形槽的槽底，每一所述第二通道的出口端用于与抽真空装置连通；
[0010]相邻两条所述条形槽的最小间距小于所述第一通道的内径，N大于等于2。
[0011]可选地，所述通气轴与所述旋转盘之间的间隙定义为第一间隙，所述第一间隙大于0mm，且不大于0.1mm。
[0012]可选地，所述第二通道为直通道。
[0013]可选地，N等于8，8条所述第一通道的出口端为沿所述旋转盘的周向阵列设置。
[0014]可选地，所述条形槽的横截面为椭圆形。
[0015]可选地，多条所述第一通道的进口端设置于所述旋转盘的周侧，每一所述第一通道用于与一个真空吸嘴连通；多个所述第一通道的进口端沿所述旋转盘的周向阵列设置。
[0016]可选地，所述第一通道包括相互连接的第一段和第二段，所述第一段远离所述第二段的一端沿所述旋转盘的径向延伸设置形成有所述第一通道的进口端；
[0017]所述第二段远离所述第一段的一端沿所述旋转盘的轴向延伸设置形成所述第一通道的出口端。
[0018]可选地，所述旋转盘包括第一旋转动盘和第二旋转动盘，所述第一旋转动盘正对
所述通气轴且与所述通气轴间隙配合，所述第一通道设置于所述第一旋转动盘；
[0019]所述第二旋转动盘用于与驱动件连接，所述第一旋转动盘与所述第二旋转动盘连接且可跟随所述第二旋转动盘转动，所述第二旋转动盘设置有与每一所述第一通道的第二段对应连通的多个第三通道。
[0020]可选地，所述第一旋转动盘包括圆柱段和连接段，所述第二旋转动盘包括圆环板，所述圆环板套设于所述圆柱段的外周，所述圆柱段的背离所述通气轴的一端沿周向凸设形成所述连接段，所述连接段搭设于所述圆环板的上表面且通过紧固件与固定安装于所第二旋转动盘。
[0021]本技术还提出了一种分选机，包括以上任一项所述的扩膜机构。
[0022]本技术技术方案通过将旋转盘和通气轴间隙配合，使得旋转盘和通气轴之间具有一定的间隙，当外部驱动件驱动旋转盘转动时，旋转盘不会与通气轴接触，它们之间不会产生刚性摩擦，降低了旋转盘的磨损，提升了其使用寿命。且相比于加装气环而言，该结构的装配更加简单。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0024]图1为本技术真空吸料组件一实施例的爆炸图；
[0025]图2为图1中A处的局部放大图；
[0026]图3为本技术真空吸料组件一实施例的结构示意图；
[0027]图4为图3中B处的局部放大图；
[0028]图5为图3的俯视图；
[0029]图6为图3的剖视图。
[0030]附图标号说明：
[0031][0032]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0033]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0034]需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0035]另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一条该特征。另外，各条实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0036]本技术提出一种真空吸料组件100，用于分选机，用于旋转逐步吸取晶圆，提升分选机的工作效率。
[0037]在一实施例中，如图1
‑
至图6所示，所述真空吸料组件100包括旋转盘10和通气轴20，通气轴20设置于所述旋转盘10的轴向一端，且与所述旋转盘10间隙配合；所述旋转盘10内设置有N条第一通道11，所述第一通道的出口端11b设置于延伸至所述旋转盘10朝向所述通气轴20的一端，所述第一通道的进口端11a用于与真空吸嘴连通；所述通气轴20正对所述旋转盘10的一端设置有N条条形槽22，N条所述条形槽22沿所述第一通道的出口端11b的运动轨迹排布，每一所述条形槽22与每一所述第一通道的出口端11b正对设置；所述通气轴20
开设有N条第二通道21，每一所述第二通道的进口端21a延伸至每一所述条形槽22的槽底，每一所述第二通道的出口端21b用于与抽真空装置连通；相邻两条所述条形槽22的最小间距小于所述第一通道11的内径，N大于等于2。
[0038]其中N可以是2、3、4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空吸料组件，用于分选机，其特征在于，包括：旋转盘，通气轴，设置于所述旋转盘的轴向一端，且与所述旋转盘间隙配合；所述旋转盘内设置有N条第一通道，所述第一通道的出口端设置于延伸至所述旋转盘朝向所述通气轴的一端，所述第一通道的进口端用于与真空吸嘴连通；所述通气轴正对所述旋转盘的一端设置有N个条形槽，N个所述条形槽沿所述第一通道的出口端的运动轨迹排布，每一所述条形槽与每一所述第一通道的出口端正对设置；所述通气轴开设有N条第二通道，每一所述第二通道的进口端延伸至每一所述条形槽的槽底，每一所述第二通道的出口端用于与抽真空装置连通；相邻两条所述条形槽的最小间距小于所述第一通道的内径，N大于等于2。2.如权利要求1所述的真空吸料组件，其特征在于，所述通气轴与所述旋转盘之间的间隙定义为第一间隙，所述第一间隙大于0mm，且不大于0.1mm。3.如权利要求1所述的真空吸料组件，其特征在于，所述第二通道为直通道。4.如权利要求3所述的真空吸料组件，其特征在于，N等于8，8条所述第一通道的出口端为沿所述旋转盘的周向阵列设置。5.如权利要求1所述的真空吸料组件，其特征在于，所述条形槽的横截面为椭圆形。6.如权利要求1
‑
5任一项所述的真空吸料组件，其特征在于，多条所述第一通道的进口端设置于...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨建，刘志维，汪迪，张先俊，
申请(专利权)人：深圳市华芯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：