一种可分段提升旋转的立柱机构及立式成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可分段提升旋转的立柱机构及立式成膜装置，涉及半导体制备技术领域，反应室提升立柱包括第一驱动结构和中心轴结构，第一驱动结构驱动中心轴结构沿中心轴结构的轴向运动，进气室提升立柱包括第二驱动结构、转轴和转轴外筒，转轴与进气室主体连接，第二驱动结构驱动转轴沿转轴的轴向运动，转轴的下端由中心轴结构的上端伸入至中心轴结构中，转轴与中心轴结构能够沿中心轴结构的轴向相对运动，转轴外筒套设在转轴外侧并与转轴转动连接，转轴外筒与反应室主体连接。本发明专利技术能够实现进气室主体的单独提升以及进气室主体和反应室主体的共同提升，便于设备组件安装和连续成膜后腔室内部清理，缩短清理维修时长，提高生产效率。高生产效率。高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种可分段提升旋转的立柱机构及立式成膜装置


[0001]本专利技术涉及半导体制备
，特别是涉及一种可分段提升旋转的立柱机构及立式成膜装置。

技术介绍

[0002]立式成膜装置反应室为满足半导体晶片制备，腔室内需要安装的组件数量较多，并且成膜过程中反应气体于装置内部反应形成沉积，附着于内壁阻碍后续成膜工艺正常进行，需要定期对反应室内部进行维护清理沉积。
[0003]现有的立式成膜装置未设置提升结构，在安装内部组件和清理时，耗时费力。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种可分段提升旋转的立柱机构及立式成膜装置，能够实现进气室主体的单独提升以及进气室主体和反应室主体的共同提升，便于设备组件安装和连续成膜后腔室内部清理，缩短清理维修所需的时长，提高生产效率。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
[0006]本专利技术提供了一种可分段提升旋转的立柱机构，可分段提升旋转的立柱机构，包括进气室提升立柱和反应室提升立柱，所述进气室提升立柱用于提升进气室主体，所述反应室提升立柱用于提升进气室主体和反应室主体，所述反应室提升立柱包括第一驱动结构和中心轴结构，所述第一驱动结构驱动所述中心轴结构沿所述中心轴结构的轴向运动，所述进气室提升立柱包括第二驱动结构、转轴和转轴外筒，所述转轴与进气室主体连接，所述第二驱动结构驱动所述转轴沿所述转轴的轴向运动，所述转轴的下端由所述中心轴结构的上端伸入至所述中心轴结构中，所述转轴与所述中心轴结构能够沿所述中心轴结构的轴向相对运动，所述转轴外筒套设在所述转轴外侧并与所述转轴转动连接，所述转轴外筒与反应室主体连接。
[0007]优选地，所述第一驱动结构包括第一丝杠驱动器、第一丝杠和第一螺母，所述第一丝杠驱动器的动力输出端与所述第一丝杠的下端连接，所述第一螺母套设在所述第一丝杠的外侧并与所述第一丝杠螺纹连接，所述第一螺母与所述中心轴结构的下端连接。
[0008]优选地，所述中心轴结构的外侧设置有中心轴外筒，所述中心轴结构与所述中心轴外筒能够沿所述中心轴外筒的轴向相对运动，所述中心轴外筒与反应室主体下方的基板连接，所述中心轴外筒的侧壁沿所述中心轴外筒的轴向开设有镂空区域，所述中心轴外筒上设置有两个下部检测开关，各所述下部检测开关均与监控反馈单元电连接，其中一个所述下部检测开关位于另一个所述下部检测开关的下方，两个所述下部检测开关用于检测反应室主体的升降高度。
[0009]优选地，所述转轴外筒与反应室主体通过至少一个第一连接结构连接，所述中心轴结构上设置有两个第一旋转检测开关，各所述第一旋转检测开关均与监控反馈单元电连接，两个所述第一旋转检测开关用于检测反应室主体的旋转角度，当反应室主体未旋转时，
其中一个所述第一旋转检测开关与所述第一连接结构位置对应。
[0010]优选地，所述第二驱动结构包括第二丝杠驱动器、第二丝杠和第二螺母，所述第二丝杠驱动器的动力输出端与所述第二丝杠的一端连接，所述第二螺母套设在所述第二丝杠的外侧并与所述第二丝杠螺纹连接，所述第二螺母用于与所述转轴连接。
[0011]优选地，所述转轴与进气室主体通过第二连接结构连接，所述第二连接结构包括顶部连接块、连接板、导向轴和限位块，所述顶部连接块与所述转轴连接，所述顶部连接块套设在所述导向轴的外侧并与所述导向轴滑动连接，所述连接板分别与所述导向轴和进气室主体连接，所述限位块分别与所述导向轴和所述连接板连接，所述顶部连接块位于所述连接板和所述限位块之间，进气室主体未提升时，所述顶部连接块与所述连接板之间存在间隙。
[0012]优选地，还包括顶板，所述第二驱动结构与所述顶板连接，所述转轴的外侧套设有轴套，所述顶板与所述轴套连接，所述轴套与所述转轴外筒通过第一轴承转动连接，所述转轴外筒上设置有用于遮挡所述第一轴承的盖板，所述中心轴结构与所述转轴外筒通过第二轴承转动连接，所述轴套与所述中心轴结构通过压环连接。
[0013]优选地，所述顶板上设置有两个上部检测开关，各所述上部检测开关均与监控反馈单元电连接，其中一个所述上部检测开关位于另一个所述上部检测开关的下方，两个所述上部检测开关用于检测进气室主体的升降高度。
[0014]优选地，所述转轴外筒上设置有两个第二旋转检测开关，各所述第二旋转检测开关均与监控反馈单元电连接，两个所述第二旋转检测开关用于检测进气室主体的旋转角度，当进气室主体未旋转时，其中一个所述第二旋转检测开关与所述第二连接结构位置对应。
[0015]本专利技术还提供了一种立式成膜装置，包括立式成膜反应结构和所述可分段提升旋转的立柱机构，所述立式成膜反应结构包括进气室主体和反应室主体，所述进气室主体包括进气室壳体，所述反应室主体包括自上而下设置的上部壳体、中部壳体、下部壳体和底板，所述进气室壳体、所述上部壳体、所述中部壳体、所述下部壳体和所述底板自上而下依次能够拆卸地连接，所述进气室壳体的上端设置有上盖板，所述上盖板上开设有进气口，所述进气室壳体的内部形成进气室，所述上部壳体的内部形成上部腔体，所述中部壳体的内部形成中部腔体，所述下部壳体的内部形成下部腔体，所述上部腔体、所述中部腔体和所述下部腔体依次连通并形成反应室，所述下部腔体中设置有基座，所述底板上设置有排气口，所述进气口、所述进气室、所述反应室和所述排气口依次连通。
[0016]本专利技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0017]本专利技术能够实现进气室主体的单独提升以及进气室主体和反应室主体的共同提升，便于设备组件安装和连续成膜后腔室内部清理，缩短清理维修所需的时长，提高生产效率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获
得其他的附图。
[0019]图1为本专利技术的立式成膜装置常态下的结构示意图；
[0020]图2为本专利技术的可分段提升旋转的立柱机构提升进气室主体和反应室主体时的结构示意图；
[0021]图3为本专利技术的可分段提升旋转的立柱机构提升进气室主体时的结构示意图；
[0022]图4为本专利技术的可分段提升旋转的立柱机构内部剖视图；
[0023]图5图4的A处局部放大图；
[0024]图6图4的B处局部放大图；
[0025]图7为本专利技术的可分段提升旋转的立柱机构外部示意图；
[0026]其中：1
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进气室，2
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反应室，3
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上法兰盖，4
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上部腔体，5
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中部腔体，6
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基座，7
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下部腔体，8
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底板法兰，9
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基板，10
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支撑框架，11
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连接板，12
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可分段提升旋转的立柱机构，其特征在于：包括进气室提升立柱和反应室提升立柱，所述进气室提升立柱用于提升进气室主体，所述反应室提升立柱用于提升进气室主体和反应室主体，所述反应室提升立柱包括第一驱动结构和中心轴结构，所述第一驱动结构驱动所述中心轴结构沿所述中心轴结构的轴向运动，所述进气室提升立柱包括第二驱动结构、转轴和转轴外筒，所述转轴与进气室主体连接，所述第二驱动结构驱动所述转轴沿所述转轴的轴向运动，所述转轴的下端由所述中心轴结构的上端伸入至所述中心轴结构中，所述转轴与所述中心轴结构能够沿所述中心轴结构的轴向相对运动，所述转轴外筒套设在所述转轴外侧并与所述转轴转动连接，所述转轴外筒与反应室主体连接。2.根据权利要求1所述的可分段提升旋转的立柱机构，其特征在于：所述第一驱动结构包括第一丝杠驱动器、第一丝杠和第一螺母，所述第一丝杠驱动器的动力输出端与所述第一丝杠的下端连接，所述第一螺母套设在所述第一丝杠的外侧并与所述第一丝杠螺纹连接，所述第一螺母与所述中心轴结构的下端连接。3.根据权利要求1所述的可分段提升旋转的立柱机构，其特征在于：所述中心轴结构的外侧设置有中心轴外筒，所述中心轴结构与所述中心轴外筒能够沿所述中心轴外筒的轴向相对运动，所述中心轴外筒与反应室主体下方的基板连接，所述中心轴外筒的侧壁沿所述中心轴外筒的轴向开设有镂空区域，所述中心轴外筒上设置有两个下部检测开关，各所述下部检测开关均与监控反馈单元电连接，其中一个所述下部检测开关位于另一个所述下部检测开关的下方，两个所述下部检测开关用于检测反应室主体的升降高度。4.根据权利要求3所述的可分段提升旋转的立柱机构，其特征在于：所述转轴外筒与反应室主体通过至少一个第一连接结构连接，所述中心轴结构上设置有两个第一旋转检测开关，各所述第一旋转检测开关均与监控反馈单元电连接，两个所述第一旋转检测开关用于检测反应室主体的旋转角度，当反应室主体未旋转时，其中一个所述第一旋转检测开关与所述第一连接结构位置对应。5.根据权利要求1所述的可分段提升旋转的立柱机构，其特征在于：所述第二驱动结构包括第二丝杠驱动器、第二丝杠和第二螺母，所述第二丝杠驱动器的动力输出端与所述第二丝杠的一端连接，所述第二螺母套设在所述第二丝杠的外侧并与所述第二丝杠螺纹连接，所述第二螺母用于与所述转轴连接。6.根据权利要求1所述的可分段提升旋转的立柱机构，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，徐文立，唐凯凯，沈磊，
申请(专利权)人：宁波恒普真空科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：