一种涂层及其制备方法,制品、应用技术

技术编号:37782037 阅读:28 留言:0更新日期:2023-06-09 09:12
本申请涉及涂层制备的技术领域,具体公开了一种涂层及其制备方法,制品、应用。所述涂层是采用化学气相沉积制得,化学气相沉积的条件:加热温度为1095

【技术实现步骤摘要】
一种涂层及其制备方法,制品、应用


[0001]本申请涉及涂层制备的
,更具体涉及一种涂层及其制备方法,制品、应用。

技术介绍

[0002]光伏热场部件包括坩埚、导流筒、保温筒,应用场合主要为单晶硅、多晶硅等的制造。光伏热场部件是硅产品制备工艺中的耗材,光伏热场部件的性能直接影响硅产品的品质。光伏热场部件主要服役于1600℃以上的高温环境中,因此,现阶段对光伏热场部件的研究主要聚焦在高温耐受性、高温抗氧化性等,以延长光伏热场部件的使用寿命。
[0003]热屏蔽部件主要包括发动机、涡轮、头锥、隔热衬层、整流罩和调节片等,是飞行器中重要的组成部件。飞行器中的热屏蔽部件主要服役于1000

2000℃的温度下,因此,热屏蔽部件需要承受更高的温度且耐受高温氧化,以延长热屏蔽部件的使用寿命。
[0004]目前,在相关技术中,提高光伏热场部件和热屏蔽部件的耐受高温和耐受高温氧化主要有两种手段,具体为:对基体材料进行改性、在基体材料的表面上形成涂层。但是,现阶段的改性技术只能使改性后的材料适用于1000℃以下的环境,因此本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤,通过化学气相沉积,在基体上形成涂层,所述化学气相沉积的条件为:加热温度为1095

1105℃,压力为1500

2500Pa,复合气体为碳源前驱体和氮气,所述复合气体的滞留时间为7s

12s。2.根据权利要求1所述涂层的制备方法,其特征在于,所述加热温度为1100

1105℃;所述压力为1500

2000Pa,优选地,所述压力为1800

2000Pa;所述复合气体的滞留时间为7s

10s,优选地,所述复合气体的滞留时间为7s

8s。3.根据权利要求1所述涂层的制备方法,其特征在于,所述碳源前驱体和所述氮气的体积比为1 :(1

3);优选地,所述碳源前驱体和所述氮气的体积比为1 :(1

2)。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员:啜艳明陈晓玮刘杰魏世进
申请(专利权)人:江油天力新陶碳碳材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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