离子注入工艺中定向器的监测方法、装置及存储介质制造方法及图纸

本申请提供了离子注入工艺中定向器的监测方法、装置及存储介质；所述方法包括：确定一个往返行程内信号发生器发射的光信号的第一光强；确定信号接收器接收的光信号的第二光强和所述信号接收器的位置信息；基于所述一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，和/或基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常；其中，所述信号发生器和所述信号接收器分别位于晶圆圆周的两侧，所述一个往返行程为所述信号接收器在定向器的电机的驱动下，在所述信号接收器可移动范围内的起始点移动至终点后，再回到所述起始点的行程。述起始点的行程。述起始点的行程。

【技术实现步骤摘要】
离子注入工艺中定向器的监测方法、装置及存储介质


[0001]本申请涉及半导体制造技术，尤其涉及离子注入工艺中定向器的检测方法、装置及存储介质。

技术介绍

[0002]定向器(Orientor)是离子注入工艺中的重要组成部件，晶圆(wafer)在定向器上旋转，通过光学器件测量晶圆的凹角(notch角)，定向器以凹角为基准把晶圆旋转到设定角度，并将圆晶传送到底板(plant)上进行离子注入。定向器决定了离子注入的角度，离子注入的角度是离子注入工艺中的重要的参数，对离子注入的深度和离子注入的剂量起着决定性作用。
[0003]定向器是运动部件，并且定向器的负载极大，定向器容易由于过渡劳损而产生形变。定向器产生形变可能会划伤晶圆。因此，需要及时地检测定向器是否发生形变。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种离子注入工艺中定向器的检测方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，能够及时地检测定向器是否发生形变。
[0005]本申请实施例的技术方案是这样实现的：
[0006]第一方面，本申请实施例提供一种离子注入工艺中定向器的检测方法，包括：
[0007]确定一个往返行程内信号发生器发射的光信号的第一光强；
[0008]确定信号接收器接收的光信号的第二光强和所述信号接收器的位置信息；
[0009]基于所述一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，和/或基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常；
[0010]其中，所述信号发生器和所述信号接收器分别位于晶圆圆周的两侧，所述一个往返行程为所述信号接收器在定向器的电机的驱动下，在所述信号接收器可移动范围内的起始点移动至终点后，再回到所述起始点的行程。
[0011]在一些实施例中，所述基于所述一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，包括：
[0012]若在所述一个往返行程内，所述信号接收器两次初始接收到所述光信号的位置相同、所述信号接收器两次接收到全部光信号的位置相同，以及所述信号接收器两次到达所述晶圆的位置相同，则确定所述定向器未发生异常。
[0013]在一些实施例中，所述基于所述一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，包括：
[0014]若所述信号接收器的位置信息不满足下述中的至少一项，则确定所述定向器发生异常：
[0015]在所述一个往返行程内，所述信号接收器两次初始接收到所述光信号的位置相同；
[0016]所述信号接收器两次接收到全部光信号的位置相同；
[0017]所述信号接收器两次到达所述晶圆的位置相同，则检测所述定向器未发生异常。
[0018]在一些实施例中，所述基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常，包括：
[0019]若所述信号接收器在所述电机的驱动下，位于所述晶圆的最上端位置时，所述信号接收器接收的第二光强等于所述第一光强，则确定所述定向器未发生异常。
[0020]在一些实施例中，所述基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常，包括：
[0021]若所述信号接收器在所述电机的驱动下，位于所述晶圆的最上端的第一位置时，所述信号接收器接收的第二光强小于所述第一光强，则基于所述第二光强等于所述第一光强时所述信号接收器的第二位置确定所述晶圆与所述定向器中与所述晶圆距离最近的硬件之间的距离；
[0022]若所述距离小于第一距离阈值，则确定所述定向器发生异常；
[0023]若所述距离大于或等于第一距离阈值，则基于所述信第一位置和所述第二5位置确定所述定向器是否发生异常。
[0024]在一些实施例中，所述基于所述信第一位置和所述第二位置确定所述定向器是否发生异常，包括：
[0025]若所述第二位置与所述第一位置之差小于或等于第二距离阈值，则确定所
[0026]述定向器未发生异常；
[0027]0若所述距离大于第二距离阈值，则确定所述定向器发生异常。
[0028]第二方面，本申请实施例提供一种离子注入工艺中定向器的检测装置，所述装置包括：
[0029]光强确定模块，用于确定一个往返行程内信号发生器发射的光信号的第一
[0030]光强；
[0031]5位置确定模块，用于确定信号接收器接收的光信号的第二光强和所述信号接收器的位置信息；
[0032]处理模块，用于基于所述一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，和/或基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器
[0033]是否异常；
[0034]0其中，所述信号发生器和所述信号接收器分别位于晶圆圆周的两侧，所述
[0035]一个往返行程为所述信号接收器在定向器的电机的驱动下，在所述信号接收器可移动范围内的起始点移动至终点后，再回到所述起始点的行程。
[0036]在一些实施例中，所述处理模块，用于若在所述一个往返行程内，所述信
[0037]号接收器两次初始接收到所述光信号的位置相同、所述信号接收器两次接收到5全部光信号的位置相同，以及所述信号接收器两次到达所述晶圆的位置相同，
[0038]则确定所述定向器未发生异常。
[0039]在一些实施例中，所述处理模块，用于若所述信号接收器的位置信息不满足下述中的至少一项，则确定所述定向器发生异常：
[0040]在所述一个往返行程内，所述信号接收器两次初始接收到所述光信号的位置相
同；
[0041]所述信号接收器两次接收到全部光信号的位置相同；
[0042]所述信号接收器两次到达所述晶圆的位置相同，则检测所述定向器未发生异常。
[0043]在一些实施例中，所述处理模块，用于若所述信号接收器在所述电机的驱动下，位于所述晶圆的最上端位置时，所述信号接收器接收的第二光强等于所述第一光强，则确定所述定向器未发生异常。
[0044]在一些实施例中，所述处理模块，用于若所述信号接收器在所述电机的驱动下，位于所述晶圆的最上端的第一位置时，所述信号接收器接收的第二光强小于所述第一光强，则基于所述第二光强等于所述第一光强时所述信号接收器的第二位置确定所述晶圆与所述定向器中与所述晶圆距离最近的硬件之间的距离；
[0045]若所述距离小于第一距离阈值，则确定所述定向器发生异常；
[0046]若所述距离大于或等于第一距离阈值，则基于所述信第一位置和所述第二位置确定所述定向器是否发生异常。
[0047]在一些实施例中，所述处理模块，用于若所述第二位置与所述第一位置之差小于或等于第二距离阈值，则确定所述定向器未发生异常；
[0048]若所述距离大于第二距离阈值，则确定所述定向器发生异常。
[0049]第三方面，本申请实施例提供一种电子设备，所述电子设备包括：
[0050]处理器、存储器和总线；
[0051]所述存储器存储可执行指令；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子注入工艺中定向器的检测方法，其特征在于，所述方法包括：确定一个往返行程内信号发生器发射的光信号的第一光强；确定信号接收器接收的光信号的第二光强和所述信号接收器的位置信息；基于所述一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，和/或基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常；其中，所述信号发生器和所述信号接收器分别位于晶圆圆周的两侧，所述一个往返行程为所述信号接收器在定向器的电机的驱动下，在所述信号接收器可移动范围内的起始点移动至终点后，再回到所述起始点的行程。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，包括：若在所述一个往返行程内，所述信号接收器两次初始接收到所述光信号的位置相同、所述信号接收器两次接收到全部光信号的位置相同，以及所述信号接收器两次到达所述晶圆的位置相同，则确定所述定向器未发生异常。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述一个移动周期内所述信号接收器的位置信息确定所述定向器是否异常，包括：若所述信号接收器的位置信息不满足下述中的至少一项，则确定所述定向器发生异常：在所述一个往返行程内，所述信号接收器两次初始接收到所述光信号的位置相同；所述信号接收器两次接收到全部光信号的位置相同；所述信号接收器两次到达所述晶圆的位置相同，则检测所述定向器未发生异常。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常，包括：若所述信号接收器在所述电机的驱动下，位于所述晶圆的最上端位置时，所述信号接收器接收的第二光强等于所述第一光强，则确定所述定向器未发生异常。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一光强与所述第二光强确定所述定向器是否异常，包括：若所述信号接收器在所述电机的驱动下，位于所述晶圆的最上端的第一位置时，所述信号接收器接收的第二光强小于所述第一光强，则基于所述第二光强等于所述第一光强时所述信号接收器的第二位置确定所述晶圆与所述定向器中与所述晶圆距离最近的硬件之间的距离；若所述距离小于第一距离阈值，则确定所述定向器发生异常；若所述距离大于或等于第一距离阈值，则基于所述信第一位置和所述第二位置确定所述定向器是否发生异常。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于所述信第一位置和所述第二位置确定所述定向器是否发生异常，包括：若所述第二位置与所述第一位置之差小于或等于第二距离阈值，则确定所述定向器未发生异常；若所述距离大于第二距离阈值，则确定所述定向器发生异常。7.一种离子注入工艺中定向器的检测装置，其特征在于，所述装置包括：
光强确定模块，用...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏文华，李振雨，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：