杭州富芯半导体有限公司专利技术

杭州富芯半导体有限公司共有144项专利

  • 本申请公开了一种识别硅片缺陷的方法和设备、电子设备及存储介质,其中所述方法包括:获得对未清洗的硅片进行缺陷识别而得到的第一识别结果,其中所述第一识别结果包括在未清洗的硅片中存在的至少一个第一缺陷的位置信息;获得对已清洗的硅片进行缺陷识别...
  • 本申请公开了一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件的制造方法包括:在衬底的第一表面上形成外延层;在外延层中形成第一子沟槽和第二子沟槽,第一子沟槽和第二子沟槽从外延层的上表面延伸至其内部,第一子沟槽与第二子沟槽之间存在第一厚度的隔断;在...
  • 本申请为一种可移动法拉第装置,包括本体、法拉第杯组件、隔离器以及驱动模组。本体具有传输空间,以允许离子束行进。法拉第杯组件设置于本体内及具有开口。隔离器设置于本体内。驱动模组设置于本体外并驱动隔离器在传输空间往复移动,以允许离子束入射至...
  • 本申请揭露一种扁平电缆模块及具有扁平电缆模块的光刻机台。所述光刻机台包括机台框架及至少一承载单元。该机台框架具有基台,而该承载单元具有晶圆载台、运动平横模块及扁平电缆模块,且所述扁平电缆模块具有扁平电缆。所述扁平电缆具有保护层、第一抗静...
  • 本公开提供了一种化学气相沉积反应箱体,包括晶圆托盘、托盘支架及热反射圆盘,所述热反射圆盘内凹陷设置形成反应腔室,所述晶圆托盘设置在所述反应腔室内,所述热反射圆盘与所述托盘支架相接,所述热反射圆盘包括支撑骨架及热量反射层,所述热量反射层设...
  • 本公开提供一种真空装置及晶圆处理设备,包括真空腔室、第一真空泵、第一阀、第一管路和压力计,第一真空泵通过第一阀与真空腔室连接,压力计通过第一管路与真空腔室连接,用以检测真空腔室内的压力,真空装置还包括有联动控制机构,联动控制机构连接在第...
  • 本申请实施例公开了一种芯片加热系统,包括加热腔室、加热单元、进气单元、冷泵、阀门闸、水汽监测单元以及手阀其中所述加热单元设置于所述加热腔室内,用于加热所述芯片;所述进气单元连接于所述加热腔室,用以朝向所述加热腔室输送工艺气体;所述冷泵连...
  • 本公开提供了一种晶圆预控温装置,用于在工艺加工前对晶圆进行预升温处理,包括:气闸室,在气闸室内设置有控温机构,控温机构包括升温设备与铺设在气闸室底部的金属管路,升温设备用于对金属管路加热,金属管路用于加热晶圆。本公开的晶圆预控温装置,设...
  • 本公开提供了一种半导体器件的湿法清洗装置,包括:清洗室,用于放置待清洗的半导体器件;喷淋组件,用于向清洗室内喷淋清洗液;排液组件,与清洗室的排液口连接,排液组件包括第一排液管道和第二排液管道,第一排液管道用于将使用后的清洗液排放;第一收...
  • 本申请提供一种半导体器件,包括衬底、有源区、多个栅极结构、绝缘层、金属电极以及多个切换元件。有源区设置于衬底上。多个栅极结构设置于有源区上。绝缘层设置于多个栅极结构上。金属电极设置于绝缘层上并具有不同深度的多个金属连接指,多个金属连接指...
  • 本公开提供一种废气处理装置,包括罐体和冷却管,罐体内具有容置空间,罐体上设置有进气口、排气口、进液口和出液口,进气口与排气口通过容置空间连通,冷却管从进液口延伸至容置空间内并从出液口伸出,容置空间内设置有过滤部件,冷却管包括冷凝容置空间...
  • 本公开提供了一种管道破损处理装置,所述装置包括:行走机构,其能够沿管道行走;套管,包括第一半管和第二半管,所述第一半管和所述第二半管扣合构成所述套管,所述套管与所述行走机构连接;两个密封环,用于分别将所述套管的两端与管道之间密封,每一所...
  • 本公开提供了一种静电吸盘清洁装置,用于对静电吸盘表面进行清洁颗粒污染物,包括:进气机构与排气机构;进气机构产生的气流在经过静电吸盘表面后从排气机构排出。本公开的静电吸盘清洁装置,在静电吸盘的周围设置进气机构与排气机构,可以利用气流的冲击...
  • 本申请涉及晶圆清洗技术领域,尤其涉及一种晶圆盒结构、晶圆装载结构及单片式湿法设备,该晶圆盒结构包括盒体和气体填充组件;盒体包括主体和盖体,主体包括中空内腔和开口,中空内腔设有晶圆放置框,以及主体的侧壁上设有与所述中空内腔连通的进气口和排...
  • 本公开提供了一种晶圆研磨抛光设备,包括:研磨室、研磨盘、研磨液添加机构与研磨液清洗机构;研磨盘设置在所述研磨室内,用于研磨晶圆;研磨液添加机构用于给所述研磨盘添加研磨液;研磨液清洗机构设置在所述研磨室的内壁上,用于清洁甩溅到所述研磨室内...
  • 本公开提供了一种对准机构,用于对晶圆进行位置校准,包括:外支撑件、内卡盘与用于检测晶圆偏心率的校准器,所述外支撑件设置为环形柱体,所述内卡盘设置在所述外支撑件内部,所述内卡盘的顶部设置有用于吸附晶圆的第一真空吸盘,在初始状态下,所述外支...
  • 本公开提供一种晶圆测试治具,包括基座、针卡和检测组件,检测组件包括报警电路、移动件、接触件和报警件,移动件设置在紧固件上,能够随紧固件相对基座在第一位置与第二位置之间移动,接触件相对基座固定设置;其中,接触件和报警件皆设置在报警电路上,...
  • 本公开提供了一种半导体光阻喷涂装置,包括:用于对晶圆喷涂光阻剂的喷嘴;用于不断向所述喷嘴提供光阻溶液的缓冲罐,所述缓冲罐与所述喷嘴相连;用于储存光阻剂并向所述缓冲罐添加光阻剂的光阻瓶;以及用于去除向所述缓冲罐添加光阻剂过程中产生的气泡的...
  • 本公开提供了一种离子发射装置及离子注入设备,离子发射装置包括离子源、放电腔和设于离子源和放电腔之间的绝缘套,绝缘套两端分别设有第一连接盘和第二连接盘,还包括绝缘套冷却系统,绝缘套冷却系统包括:冷却液通道,设于第一连接盘和/或第二连接盘内...
  • 本公开提供了一种晶圆清洗箱,包括:晶圆固定机构、晶圆清洗机构、晶圆检测机构与水雾去除机构,晶圆固定机构用于固定晶圆;晶圆清洗机构用于对被固定的晶圆进行清洗;晶圆检测机构用于检测所述晶圆固定机构有无固定晶圆,包括信号检测光纤,所述信号检测...
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