光发射显微镜、样品固定装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种光发射显微镜、样品固定装置及其使用方法，应用于光发射显微镜的SIL镜头的失效定位，所述光发射显微镜的承载台上开设有若干用于真空吸附的吸孔，所述样品固定装置包括一固定板，所述固定板放置在所述承载台上并覆盖所述吸孔，一样品固定在所述固定板的下表面且正面朝上，所述固定板上还开设有一供探针下针的通孔，所述通孔与所述样品的待分析区域相对应。通过设置固定板来固定样品，再利用吸孔将所述固定板吸附固定在所述承载台上，使得对样品的固定不受样品尺寸的影响，并且可使样品底部完整裸露出来以便与SIL镜头接触进行失效分析测试，提高了小样品的缺陷定位精度，拓宽了SIL镜头的使用范围。拓宽了SIL镜头的使用范围。拓宽了SIL镜头的使用范围。

【技术实现步骤摘要】
光发射显微镜、样品固定装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及失效分析
，尤其涉及一种光发射显微镜、样品固定装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]光发射显微镜是EFA(电性失效分析)常用的失效定位设备，光发射显微镜通常集成有EMMI(光子辐射显微镜)及OBIRCH(光致阻抗变化显微镜)，EMMI主要通过捕捉器件漏电产生的光子信号进行失效定位，OBIRCH主要通过捕捉激光扫描芯片后产生的电阻变化反馈的电信号进行失效定位。常规EMMI/OBIRCH一般配备有1x、2.5x/5x、20x、50x、100x等倍率的近红外镜头，随着器件尺寸缩小及工作电压降低，芯片后段金属互连层逐步增多，样品失效定位越加复杂，对样品定位精度的要求也越来越高，为了满足对样品失效定位的需要，SIL(Solid Immersion Lens)镜头应运而生。
[0003]与常规镜头相比，SIL镜头最大特点在于顶端直接与样品底面接触，减少了光子在空气中传播带来的损失；同时其放大倍率提升到350X(数值孔径：2.4)，这两个特点大大提高了相机对光子的捕捉能力及图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样品固定装置，应用于光发射显微镜的SIL镜头的失效定位，所述光发射显微镜的承载台上开设有若干用于真空吸附的吸孔，其特征在于，所述样品固定装置包括一固定板，所述固定板放置在所述承载台上并覆盖所述吸孔，一样品固定在所述固定板的下表面且正面朝上，所述固定板上还开设有一供探针下针的通孔，所述通孔与所述样品的待分析区域相对应。2.根据权利要求1所述的样品固定装置，其特征在于，所述固定板采用透明材质制作而成。3.根据权利要求2所述的样品固定装置，其特征在于，所述固定板为透明玻璃。4.根据权利要求1所述的样品固定装置，其特征在于，所述固定板呈方形。5.根据权利要求1所述的样品固定装置，其特征在于，所述样品的四周边缘通过双面胶粘贴固定在所述固定板上。6.根据权利要求1所述的样品固定装置，其特征在于，所述待分析区域位于所述通孔的中心。7.一种光发射显微镜，其特征在于，包括镜头模组、探针模组、吸附模组及根据权利要求1
‑
6中任一项所述的样品固定装置，其中：所述镜头模组，包括SIL镜头，...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁德建，曹茂庆，高金德，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：