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本发明提供了一种光发射显微镜、样品固定装置及其使用方法，应用于光发射显微镜的SIL镜头的失效定位，所述光发射显微镜的承载台上开设有若干用于真空吸附的吸孔，所述样品固定装置包括一固定板，所述固定板放置在所述承载台上并覆盖所述吸孔，一样品固定在...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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