一种光罩盒定位系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种光罩盒定位系统，属于光罩盒技术领域，该光罩盒定位系统，包括光罩盒、定位装置和处理器，所述光罩盒的外壁上可拆卸地设置有定位装置，所述定位装置和所述处理器信号连接，所述处理器用于接收上述定位装置发出的信号。通过在光罩盒上设置一定位装置，定位装置能够发出信号到处理器，处理器将收到的信号转换为能够被操作人员读取的位置信息，便于人工找寻所需的光罩盒。便于人工找寻所需的光罩盒。便于人工找寻所需的光罩盒。

【技术实现步骤摘要】
一种光罩盒定位系统


[0001]本技术涉及光罩盒
，特别涉及一种光罩盒定位系统。

技术介绍

[0002]光罩业内又称光掩模版、掩膜版，材质包括石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的硅片工艺中，都提供无尘室的环境以避免空气中的颗粒污染，在半导体工艺中还利用抗污染的光罩盒进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净，现有操作流程中，光罩盒一般有自动和人工两种搬运方式，当人工收放存储有光罩的光罩盒时，难以调取系统信息找寻存储对应光罩的光罩盒，导致机台无法正常下货曝光，影响产能。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种光罩盒定位系统，以解决难以找寻光罩盒的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种光罩盒定位系统，包括光罩盒、定位装置和处理器，所述光罩盒的外壁上可拆卸地设置有定位装置，所述定位装置和所述处理器信号连接，所述处理器用于接收所述定位装置发出的信号。
[0005]优选地，所述光罩盒的底部设置有卡扣组件，以将所述定位装置可拆卸地设置在所述光罩盒的底部。
[0006]优选地，所述光罩盒的底部还安装有RFID电子标签，用于存储所述光罩盒的信息。
[0007]优选地，所述RFID电子标签与所述处理器信号连接。
[0008]优选地，所述光罩盒的底部还设置有限位凸起，并与所述卡扣组件、所述光罩盒的底面形成一容置空间，以容置所述定位装置。
[0009]优选地，所述限位凸起设置有两个，以固定所述定位装置两个相对的侧壁。
[0010]优选地，所述卡扣组件包括固定件和活动件，所述固定件固定在所述光罩盒的底部，所述活动件可转动的设置在所述光罩盒底部，所述活动件用于与固定件配合将所述定位装置卡扣固定在所述光罩盒的底部。
[0011]优选地，所述固定件为L形固定件，所述L形固定件的一端与所述光罩盒的底部相连接，所述活动件的一端可转动的设置在所述光罩盒的底部，另一端与所述L形固定件的另一端卡扣连接。
[0012]优选地，所述L形固定件与所述活动件连接的一端开设有凹槽，对应所述活动件的一端配合设置有定位件，用以卡合插入所述凹槽。
[0013]优选地，所述活动件与所述L形固定件连接的一端开设有凹槽，对应所述L形固定件的一端具有配合所述凹槽设置的定位件，用于卡合插入所述凹槽。
[0014]在本技术提供的光罩盒定位系统，通过在光罩盒上设置定位装置，通过定位装置发送位置信息到处理器，经处理器转换为可供操作人员读取的位置信息，从而根据位置信息找到所需的光罩盒或者光罩。
附图说明
[0015]图1是本技术提供的光罩盒的示意图；
[0016]图2是本技术提供的光罩盒的底部示意图；
[0017]图3是本技术提供的光罩盒的底部设置有定位装置的示意图；
[0018]图4是本技术提供的光罩盒设置有定位装置部分的剖面结构示意图；
[0019]图5是本技术提供的光罩盒设置有定位装置部分的局部放大示意图；
[0020]图6是本技术提供的光罩盒定位系统的结构示意图；
[0021]图7是本技术提供的卡扣组件的一种实施例的结构示意图；
[0022]图8是本技术提供的卡扣组件的一种实施例的局部结构示意图。
[0023]图中，
[0024]1、光罩盒；2、RFID电子标签；3、定位装置；4、卡扣组件；41、L形固定件；42、活动件；43、紧固件；44、定位件；5、限位凸起。
具体实施方式
[0025]以下结合附图和具体实施例对本技术提出的光罩盒定位系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0026]专利技术人研究发现，在人工操作取放光罩盒时，难以找寻所需的光罩盒。
[0027]基于此，本技术实的核心思想在于，通过在光罩盒上设置一可拆卸的定位装置，定位装置发出的信号到处理器，从而能够解决难以找寻光罩盒的问题。
[0028]具体的，请参考图1
‑
8，其为本技术实施例的示意图。如图1
‑
8所示，一种光罩盒定位系统，包括光罩盒1、定位装置3和处理器，光罩盒1的外壁上可拆卸地设置有定位装置3，定位装置3和处理器信号连接，处理器用于接收定位装置3发出的信号。
[0029]在一种实施方式中，参见图6，定位装置3向处理器发出电磁信号，定位装置3上具有电磁信号发射电路、电磁发射传感器，在处理器中具有接收电路和电磁接收传感器，电磁信号收发传感器均是由三轴相互垂直正交的线圈构成，处理器能够接收对应的光罩盒1上的定位装置3发出的电磁信号并处理转换成操作人员可读取的位置信息，例如位置地图，操作人员根据位置信息找寻对应的光罩盒1。
[0030]或者，定位装置3能够接收GPS定位信号、北斗定位信号、Galileo定位信号以获取对应的位置坐标信息，并将位置坐标信息转发到处理器中。
[0031]在处理器中还存储有光罩盒1及其保存的光罩的对应关系。定位装置3可拆卸安装在光罩盒1上，每一定位装置3具有一对应编号，当定位装置3设置在一光罩盒1上时，在处理
器中设置定位装置3和光罩盒1绑定，如光罩盒1的编号和定位装置3的编号绑定。
[0032]具体的，光罩盒1的底部还安装有RFID电子标签2，用于存储光罩盒1的信息。RFID电子标签2储存光罩盒1信息，例如光罩盒1的编号，用于识别光罩盒1。光罩盒1内存放有光罩，光罩也具有对应的编号，在处理器中可以将光罩的编号与光罩盒1的编号对应以进行绑定与解绑。
[0033]可以理解的，RFID电子标签2与处理器信号连接。因此，通过读取RFID电子标签2能够获取光罩盒1的信息，然后找出处理器中存储的光罩盒1和光罩的绑定关系即可确认光罩盒1内保存的光罩信息。或者，参见图6，根据所需的光罩编号，在处理器中查询对应的光罩盒1编号，即可确认光罩盒1，再根据定位装置3发出的信号确定光罩盒1所处的位置，找寻光罩盒1，从而便于找寻对应光罩。
[0034]光罩盒1的底部还设置有限位凸起5，并与卡扣组件4、光罩盒1的底面形成一容置空间，以容置定位装置3。限位凸起5设置有两个，以固定定位装置3两个相对的侧壁。参见图5，通过设置限位凸起5避免定位装置3在卡扣组件4中窜动脱落。
[0035]具体的，光罩盒1的底部设置有卡扣组件4，以将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩盒定位系统，其特征在于，包括光罩盒、定位装置和处理器，所述光罩盒的外壁上可拆卸地设置有定位装置，所述定位装置和所述处理器信号连接，所述处理器用于接收所述定位装置发出的信号。2.如权利要求1所述的光罩盒定位系统，其特征在于，所述光罩盒的底部设置有卡扣组件，以将所述定位装置可拆卸地设置在所述光罩盒的底部。3.如权利要求1所述的光罩盒定位系统，其特征在于，所述光罩盒的底部还安装有RFID电子标签，用于存储所述光罩盒的信息。4.如权利要求3所述的光罩盒定位系统，其特征在于，所述RFID电子标签与所述处理器信号连接。5.如权利要求2所述的光罩盒定位系统，其特征在于，所述光罩盒的底部还设置有限位凸起，并与所述卡扣组件、所述光罩盒的底面形成一容置空间，以容置所述定位装置。6.如权利要求5所述的光罩盒定位系统，其特征在于，所述限位凸起设置有两个，以固定所述定位装置两个相对的侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：单闯，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：