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一种超低压保护器件的结构设计制造技术

技术编号:3774890 阅读:160 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
小于5V的低压保护器件通常用铝合金结工艺,或者多晶掺杂工艺形成浅结低压工艺,但所制造的器件由于漏电流大,导致应用中的设备功耗增加。本发明专利技术采用P型或N型单晶抛光片,通过异型掺杂或外延,形成P(N)-N(P)结构,通过隔离及在有源区注入或扩散,再淀积阻挡膜,蒸镀金属,形成高性能的超低压保护器件。这种新结构器件的漏电流小于1μA,电压均匀性良好,是非常理想的低压保护器件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微电子器件领域,是一种独特的结构设计。本专利技术所涉及的"一种超低压保护器件的结构设计"是一种独特的低压器件结构,利用高浓度薄外延层及阻挡层,将二极管的反向击穿电压控制在1.5 5.0v 之间,且漏电流小于luA在电子设备中应用,功耗极小,将广泛应用于手机、MP3、 数码像机、PDA、录音机等通讯产品中,其平面工艺的设计,有利于集成和小 型化。
技术介绍
利用常规的雪崩击穿机理,制定半导体保护器件,通常电压在5.0V以上, 而随着通讯领域的不断发展,保护电压越来越低,从1.5V到5.0V的应用领域, 越来越多。而传统的低压保护二极管采用铝合金工艺(图1),或者多晶硅掺杂 工艺(图2),其反向击穿特性很软,漏电流极大,在1.5V 5.0V范围内漏电流 一般都大于几百个微安,甚至更大。无法应用于功耗要求很小的手持通讯设备 领域。
技术实现思路
上述已知的低压器件,通常除了击穿特性差,漏电流大以外,击穿电压的离散性很大。为了降低成本,方便控制所要求的击穿电压,专利技术了本专利技术之超低压保护 器件结构及工艺。本专利技术是如下技术实现的如(图3)在N型或者P型半导体衬底上形成一层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超低压保护器件的结构设计,及制造方法。在衬底1层,通过注入,扩散或外延形成预定的杂质浓度和厚度的异型掺杂层2,再通过隔离、有源区掺杂,阻挡层生成淀积金属,形成本专利技术结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:淮永进
申请(专利权)人:淮永进
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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