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一种超低压保护器件的结构设计制造技术
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下载一种超低压保护器件的结构设计的技术资料
文档序号:3774890
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小于5V的低压保护器件通常用铝合金结工艺,或者多晶掺杂工艺形成浅结低压工艺,但所制造的器件由于漏电流大,导致应用中的设备功耗增加。本发明采用P型或N型单晶抛光片,通过异型掺杂或外延,形成P(N)-N(P)结构,通过隔离及在有源区注入或扩散,...
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