制备接触部分及薄膜晶体管阵列面板的方法技术

本发明专利技术公开了制备接触部分及薄膜晶体管阵列面板的方法。本发明专利技术提供一种制备接触部分的方法，其包括：在衬底（１１０）上形成第一信号线；形成绝缘层（１４０），该绝缘层覆盖第一信号线并具有显露第一信号线的接触孔（１８２，１８５）；在第一信号线通过该接触孔显露的表面上形成接触层（７００）；以及，形成经该接触层连接到第一信号线的第二信号线（８２，１９０）。其中，第一信号线是由Ａｌ或Ａｌ合金制备，第二信号线是由氧化铟锌或氧化铟锌制备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及接触部分及其制备方法、薄膜晶体管阵列面板及其制备方法。
技术介绍
薄膜晶体管阵列面板被用作电路衬底来单独地驱动比如液晶显示器或有机电致发光显示器的每个像素。薄膜晶体管阵列面板包括以矩阵布置的多 个像素，以及包括用于驱动像素的多条信号线，这比如用于传输扫描信号的 栅极线和用于传输数据信号的数据线。每个像素包括像素电极和连接到栅极 线和数据线的用于控制数据信号的薄膜晶体管(TFT )。此时，比如栅极线和数据线的信号线包括金属材料，像素电极通常由比 如氧化铟锡(ITO)和氧化铟锌(IZO)的透明导电材料制成。在液晶显示 器中，ITO或IZO可以被用作接触辅助层，从而在将4册极线和数据线连接到 外部驱动电路时增强接触特性。为了防止信号延迟和失真，信号线通常由比如铝或铝合金的低电阻率的 材料制成。但是，由于铝或铝合金的物理和化学性质并不佳，即，铝或铝合 金易于氧化和断裂，所以当在接触部分连接其它导电材料时，半导体器件的 特性被劣化了。而且，比如在液晶显示器中，ITO或IZO作为透明电极用于 增强铝的接触部分。但是，由于铝或铝合金与ITO或IZO之间接触特性较 差，所以在它们之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备接触部分的方法，该方法包括：　在衬底上形成第一信号线；　形成绝缘层，所述绝缘层覆盖所述第一信号线并具有显露所述第一信号线的接触孔；　通过将所述衬底浸泡在包括导电材料的化学转化溶液中，在所述第一信号线通过所述接触孔显 露的表面上形成接触层；　形成经所述接触层连接到所述第一信号线的第二信号线；　其中，所述第一信号线是由Ａｌ或Ａｌ合金制备，所述第二信号线是由氧化铟锡或氧化铟锌制备。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：徐宗铉，洪雯杓，金大玉，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]