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制备接触部分及薄膜晶体管阵列面板的方法技术
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文档序号:3772496
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本发明公开了制备接触部分及薄膜晶体管阵列面板的方法。本发明提供一种制备接触部分的方法,其包括:在衬底(110)上形成第一信号线;形成绝缘层(140),该绝缘层覆盖第一信号线并具有显露第一信号线的接触孔(182,185);在第一信号线通过该接...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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