【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及感射线性树脂组合物、层间绝缘膜和孩i透镜以及 它们的形成方法。
技术介绍
薄膜晶体管(以下称为"TFT")型液晶显示元件及有机EL显 示元件、磁头元件、集成电路元件、固态图像传感器等电子部件， 通常在层状布置的布线之间为了绝缘而设置层间绝缘膜。由于作 为形成层间绝缘膜的材料，优选为获得必要图案形状所需的工序 少、且具有足够好的平坦性的材料，因而感射线性树脂组合物被 广泛地使用(参见专利文献1和专利文献2)。上述电子部件中，例如TFT型液晶显示元件，由于要经过在上述层间绝缘膜上形成透明电极膜，再在其上形成液晶取向膜的工序制成，因而层间绝缘膜在透明电极膜形成工序要经受高温条件，并且要经受电极图案形成时所使用的保护层的剥离液，因此， 必须对其具有非常好的耐受性。又，近年来，TFT型液晶显示元件正处于大屏幕化、高亮度 化、高精细化、快速响应化、薄型化等的趋势下，作为其中所用 的层间绝缘膜形成用组合物，要求具有高敏感度，所形成的层间 绝缘膜在低介电常数、高透光率等方面与以往的相比也要求有提 高的高性能。作为这种低介电常数、高透光率的层间绝缘膜，已知丙烯酸树脂...
【技术保护点】
一种感射线性树脂组合物，其特征在于包括： ［Ａ］（ａ１）下述式（１）表示的硅烷化合物与（ａ２）下述式（２）表示的硅烷化合物的水解缩合物聚硅氧烷， ［Ｂ］１，２－醌二叠氮化合物， （Ｘ↑［１］－Ｙ↑［１］－）↓［ａ］－ＳｉＲ ↑［１］↓［ｂ］Ｒ↑［２］↓［ｃ］ （１） 式（１）中，Ｘ↑［１］表示乙烯基、烯丙基、（甲基）丙烯酰氧基、苯乙烯基或乙烯基苄氧基，Ｙ↑［１］表示单键、亚甲基或碳原子数为２～６的亚烷基，Ｒ↑［１］表示碳原子数为１～６的烷氧基或碳原子数 为２～６的酰氧基，Ｒ↑［２］表示碳原子数为１～６的烷基或取代或未取代的碳原...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：花村政晓，吉田伸，有留功，木下芳德，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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