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本发明提供一种感射线性树脂组合物，其具有高的射线敏感 度，并具有在显影工序中即使超出最佳显影时间也能形成良好图 案形状的显影余量，能够容易地形成密合性优良的图案状薄膜， 适用于形成层间绝缘膜或微透镜。该感射线性树脂组合物包含具 有聚合性不饱...
该专利属于JSR株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过JSR株式会社授权不得商用。

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