升降机构和整平机制造技术

本发明专利技术公开了升降机构和整平机，该升降机构包括移动机构、采集单元和第一控制机构，移动机构包括承载盘和若干驱动件，驱动件呈间隔设置地设于承载盘下方，以共同承托承载盘，每一驱动件同一高度处均设有采集单元，所有驱动件用于带动承载盘沿竖直方向运动，采集单元采集相对应驱动件的高度信息，并将高度信息传输至第一控制机构，第一控制机构自动校正驱动件的位置，并使承载盘同一平面的任一位置均在同一高度。本发明专利技术的驱动件呈间隔分布在承载盘下方，使得承载盘受力均匀，每个驱动件上的采集单元能实时采集相对应的驱动件的高度信息，并实时反馈给第一控制机构，第一控制机构根据高度信息，调整驱动件的位置，位置精度高。位置精度高。位置精度高。

【技术实现步骤摘要】
升降机构和整平机


[0001]本专利技术涉及整平操作的
，尤其涉及升降机构和整平机。

技术介绍

[0002]在集成电路制程中，制作多层板以及外层制程时，绝缘层和阻焊层存在翘曲以及不平整问题，需要对该制程中的表面绝缘层和阻焊层进行整平加工。
[0003]现有技术常采用整平机进行整平，整平机里面设有顶板、升降机构、承载盘、上加热板和下加热板，上加热板设于顶板底部，下加热板设于承载盘上，整平对象设于承载盘和顶板的空腔之间，升降机构带动承载盘上移至上加热板和下加热板均接触整平对象，即可对整平对象进行整平，十分方便，但是整平机的升降机构通常仅靠一个驱动杆带动承载盘，承载盘受力不匀，承载盘各个区域所在的高度不可避免存在位置差，进而导致下加热板对整平对象热压不均匀，整平质量低下。
[0004]因此，需要对现有技术的整平机中的升降机构进行改进，以解决现有技术的整平机的升降机构位置精度低下的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供升降机构和整平机，以解决现有技术的整平机位置调节精度低下及整平质量低下的技术问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]一种升降机构，其包括移动机构、采集单元和第一控制机构，所述移动机构包括承载盘和若干驱动件，所述驱动件呈间隔设置地设于承载盘下方，以共同承托承载盘，每一所述驱动件同一高度处均设有所述采集单元，所有驱动件用于带动所述承载盘沿竖直方向运动，所述采集单元采集相对应驱动件的高度信息，并将所述高度信息传输至第一控制机构，所述第一控制机构自动校正驱动件的位置，并使所述承载盘同一平面的任一位置均在同一高度。
[0008]较佳地，所述驱动件包括丝杠和电机，所述丝杠连接承载盘和电机，所述电机用于带动丝杠和承载盘沿竖直方向移动。
[0009]一种整平机，其包括机架、加热机构和升降机构，所述机架包括顶板，所述加热机构包括上加热板和下加热板，所述上加热板设于所述顶板底部，所述下加热板设于所述承载盘上，所述承载盘和顶板设有一可供整平对象容置的空腔，所述电机启动用于带动承载盘和下加热板沿竖直方向移动，所述上加热板和下加热板均接触整平对象时，所述加热机构对整平对象进行整平。
[0010]较佳地，所述整平机还包括真空机构和第二控制机构，所述真空机构包括上真空腔、下真空腔和真空泵，所述上真空腔设于顶板底部，所述下真空腔设于所述承载盘上方，所述承载盘运动至第一区域时，所述上真空腔和下真空腔形成密闭腔体，所述真空泵连通上真空腔并电连接第二控制机构，所述第二控制机构控制所述真空泵的启停。
[0011]较佳地，所述真空机构还包括真空泄压阀和真空计，所述真空计用于实时监测所述密闭腔体的真空度，所述真空泄压阀设于真空泵上，并电连接第二控制机构，所述第二控制机构控制真空泄压阀的开闭。
[0012]较佳地，所述上加热板设于所述上真空腔内，所述上真空腔的最低处和上加热板的最低处平齐，所述下加热板设于所述下真空腔内，所述承载盘上升至第二区域，所述上加热板和下加热板与整平对象相接触。
[0013]较佳地，所述整平机还包括若干感温探头，所述上加热板和下加热板均划分为若干加热区域，每一所述加热区域均设有呈间隔排布的若干加热棒，所述若干感温探头和若干加热区域一一对应，所述第二控制机构连接所有加热区域的感温探头，所述感温探头采集相应加热区域的温度信息，并将所述温度信息发送给第二控制机构，所述第二控制机构控制加热区域的加热棒的启停，以使所有加热区域的温度均在同一温度。
[0014]较佳地，所述整平机还包括冷却机构，所述冷却机构靠近加热机构和整平对象，以加速所述下加热板和/或上加热板热量的散出。
[0015]较佳地，所述整平机还包括第一隔热件和第二隔热件，所述第一隔热件设于所述上加热板和顶板之间，所述第二隔热件设于所述下加热板和承载盘之间。
[0016]较佳地，所述整平机还包括传输机构，所述传输机构包括输送膜、收膜件和放膜件，所述输送膜设于所述空腔内，所述放膜件和收膜件分设于所述输送膜的两端，所述放膜件用于放出输送膜，所述收膜件用于收回输送膜。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
[0018]本专利技术设计了升降机构和整平机，升降机构包括移动机构、采集单元和第一控制机构，移动机构包括承载盘和若干驱动件，驱动件呈间隔设置地设于承载盘下方，以共同承托承载盘，每一驱动件同一高度处均设有采集单元，所有驱动件启动时，承载盘沿竖直方向运动，采集单元采集相对应驱动件的高度信息，并将高度信息传输至第一控制机构，第一控制机构控制电机以自动校正驱动件的位置，并使承载盘同一平面的任一位置均在同一高度。本专利技术的驱动件呈间隔分布在承载盘下方，使得承载盘受力均匀，每个驱动件上的采集单元能实时采集相对应的驱动件的高度信息，并实时反馈给第一控制机构，第一控制机构根据高度信息，调整驱动件的位置，本专利技术的承载盘的位置精度可以达到0.5微米，位置精度高。
附图说明
[0019]图1是本专利技术的整平机的结构示意图；
[0020]图2是本专利技术的又一整平机的结构示意图；
[0021]图3是图2中A部的局部放大图。
[0022]图示说明：顶板1、底板2、导柱3、驱动件4、承载盘5、上真空腔6、下真空腔7、真空泄压阀8、真空计9、空腔10、输送膜11、电机12、水冷装置13、风冷装置14、第一隔热件15、感温探头16、上加热板17、下加热板18。
具体实施方式
[0023]为使得本专利技术的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本专利技术实施
例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而非全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0024]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。
[0025]本专利技术设计了一种升降机构，该升降机构包括移动机构、采集单元和第一控制机构，移动机构包括承载盘5和若干驱动件4，驱动件4呈间隔设置地设于承载盘5下方，以共同承托承载盘5，每一驱动件4同一高度处均设有采集单元，所有驱动件4启动时，承载盘5沿竖直方向运动，采集单元采集相对应驱动件4的高度信息，并将高度信息传输至第一控制机构，第一控制机构控制电机12以自动校正驱动件4的位置，并使承载盘5同一平面的任一位置均在同一高度。
[0026]更具体的，驱动件4包括丝杠和电机12，丝杠连接承载盘5和电机12，电机12驱动时，电机12带动丝杠和承载盘5沿竖直方向移动。
[0027]需要说明的是，本专利技术的驱动件4包括4个，4个驱动件4呈间隔分布地设置在承载盘5下方，承载盘5的受力均匀，第一控制机构收到采集单元的高度信息后，就能计算出位置差，并根据位置差调整驱动件4的电机12，使承载盘5同一平面的任一位置均在同一高度，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种升降机构，其特征在于：包括移动机构、采集单元和第一控制机构，所述移动机构包括承载盘和若干驱动件，所述驱动件呈间隔设置地设于承载盘下方，以共同承托承载盘，每一所述驱动件同一高度处均设有所述采集单元，所有驱动件用于带动所述承载盘沿竖直方向运动，所述采集单元采集相对应驱动件的高度信息，并将所述高度信息传输至第一控制机构，所述第一控制机构自动校正驱动件的位置，并使所述承载盘同一平面的任一位置均在同一高度。2.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于：所述驱动件包括丝杠和电机，所述丝杠连接承载盘和电机，所述电机用于带动丝杠和承载盘沿竖直方向移动。3.一种整平机，其特征在于：包括机架、加热机构和如权利要求1
‑
2任一项所述的升降机构，所述机架包括顶板，所述加热机构包括上加热板和下加热板，所述上加热板设于所述顶板底部，所述下加热板设于所述承载盘上，所述承载盘和顶板设有一可供整平对象容置的空腔，所述电机启动用于带动承载盘和下加热板沿竖直方向移动，所述上加热板和下加热板均接触整平对象时，所述加热机构对整平对象进行整平。4.根据权利要求3所述的整平机，其特征在于：还包括真空机构和第二控制机构，所述真空机构包括上真空腔、下真空腔和真空泵，所述上真空腔设于顶板底部，所述下真空腔设于所述承载盘上方，所述承载盘运动至第一区域时，所述上真空腔和下真空腔形成密闭腔体，所述真空泵连通上真空腔并电连接第二控制机构，所述第二控制机构控制所述真空泵的启停。5.根据权利要求4所述的整平机，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建勋，范志平，杨善斌，张杰灵，
申请(专利权)人：广东思沃先进装备有限公司，
类型：发明
国别省市：