【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体设备，更具体地说，是涉及一种贴膜装置。
技术介绍
1、在晶圆生产过程中，在产品研磨前需要对其的正面贴附保护胶膜。在相关技术中，贴膜设备一般包括膜卷放装置、膜卷收装置和膜切割装置。一般而言，贴膜设备中的膜卷放装置和膜卷收装置仅仅是二者之一能够移动，由此导致，在晶圆贴膜完毕后，膜卷收装置在复位时会造成部分膜卷的浪费；同时，对于厚度尺寸不同的晶圆，在贴膜时容易出现厚度误差，导致贴膜效果不好，影响贴膜良率。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种贴膜装置，以解决现有技术中存在的膜卷浪费及难以适配不同厚度尺寸晶圆的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是，提供一种贴膜装置，其包括：
3、工作台，在所述工作台上形成有用于对所述待晶圆贴膜的作业区域，在所述作业区域中设置有用于承载所述待晶圆且能够升降的承载台；
4、在所述工作台上设置有卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于所述卷放单元和所述第一卷收单元之间、且位于所述作业区域上方的压合单元；
5、所述卷放单元、所述第一卷收单元和所述压合单元均能够在所述工作台上水平移动以进入或离开所述作业区域；在所述卷放单元和所述第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块；
6、所述卷放单元用于释放胶膜，所述剥膜模块的剥离端用于将所述胶膜上的粘接层和保护膜剥离，所述第二卷收单元用于卷收所述保护膜，所述压合单元用于将
7、可选地，所述剥膜模块包括剥膜板和若干设置于所述剥膜板远离所述作业区域一侧、且分别位于所述剥膜板上下两侧的辊；其中一所述辊连接有张力监测装置。
8、可选地，所述卷放单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷放支架和固定设置于所述卷放支架的卷放辊模块，所述剥膜模块沿竖向滑动设置于所述卷放支架。
9、可选地，所述第一卷收单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷收支架和转动设置于所述卷收支架上的转动架，在所述转动架上设置有卷收辊模块和与转轴偏心设置的所述收膜模块。
10、可选地，在所述卷收支架与所述转动架之间且位于转轴一侧处连接有抬升机构，所述抬升机构用于推动所述转动架转动以使所述收膜模块靠近或远离所述工作台面。
11、可选地，在所述卷放单元和所述第一卷收单元的任一一者或二者设置有制动机构，所述制动机构包括制动辊和能够抵紧所述制动辊的制动板，所述胶膜和/或所述粘接层穿设于所述制动辊和所述制动板之间。
12、可选地，在所述粘接层卷绕方向上，所述制动机构设置于所述剥膜模块之前，和/或，所述制动机构设置于所述收膜模块之后。
13、可选地，在所述粘接层卷绕方向上，所述制动机构设置于所述剥膜模块之前，和/或，所述制动机构设置于所述收膜模块之后。
14、可选地，在所述工作台的长度方向的两侧设置有直线滑台，所述所述第一卷收单元和所述压合单元均设置于所述直线滑台。
15、可选地，在所述卷放单元和/或第一卷收单元上还设置有除静电装置。
16、本申请实施例提供的贴膜装置，至少具有以下有益效果：
17、卷放单元和第一卷收单元均能够在工作台上水平移动以进入或离开作业区域，如此，在压合单元和外置切割单元对晶圆贴膜完成且切割完毕后，在第一卷收单元能够复位的过程中能够同步将下一贴膜作业周期所需要的粘接层带拉出，从而减少粘接层带的浪费，也能缩小两个贴膜周期之间的准备时间，以提高作业效率；同时，承载台能够根据晶圆的实际厚度调整其相对工作台面的高度，使得无论晶圆的厚度是否发生变化，晶圆的表面都能和作业区域相齐平，从而使得贴膜时压合机构及第一卷收单元能够在不改变作业高度的情况下，晶圆均能够得到较好的贴膜作业。
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1.一种贴膜装置，用于对晶圆粘贴膜层，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于：所述剥膜模块包括剥膜板和若干设置于所述剥膜板远离所述作业区域一侧、且分别位于所述剥膜板上下两侧的辊；其中一所述辊连接有张力监测装置。
3.如权利要求2所述的贴膜装置，其特征在于：所述卷放单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷放支架和固定设置于所述卷放支架的卷放辊模块，所述剥膜模块沿竖向滑动设置于所述卷放支架。
4.如权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于：所述第一卷收单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷收支架和转动设置于所述卷收支架上的转动架，在所述转动架上设置有卷收辊模块和与转轴偏心设置的所述收膜模块。
5.如权利要求4所述的贴膜装置，其特征在于：在所述卷收支架与所述转动架之间且位于转轴一侧处连接有抬升机构，所述抬升机构用于推动所述转动架转动以使所述收膜模块靠近或远离所述工作台面。
6.如权利要求1至5任一所述的贴膜装置，其特征在于：在所述卷放单元和所述第一卷收单元的任一一者或二者设置有制动机构，所述制动机构包括制
7.如权利要求6所述的贴膜装置，其特征在于：在所述粘接层卷绕方向上，所述制动机构设置于所述剥膜模块之前，和/或，所述制动机构设置于所述收膜模块之后。
8.如权利要求1至5任一所述的贴膜装置，其特征在于：所述压合单元包括沿水平滑动设置于所述工作台的压合架和沿竖向活动设置于所述压合架的压辊；所述压辊中设置有加热模块。
9.如权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于：在所述工作台的长度方向的两侧设置有直线滑台，所述所述第一卷收单元和所述压合单元均设置于所述直线滑台。
10.如权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于：在所述卷放单元和/或第一卷收单元上还设置有除静电装置。
...【技术特征摘要】
1.一种贴膜装置，用于对晶圆粘贴膜层，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于：所述剥膜模块包括剥膜板和若干设置于所述剥膜板远离所述作业区域一侧、且分别位于所述剥膜板上下两侧的辊；其中一所述辊连接有张力监测装置。
3.如权利要求2所述的贴膜装置，其特征在于：所述卷放单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷放支架和固定设置于所述卷放支架的卷放辊模块，所述剥膜模块沿竖向滑动设置于所述卷放支架。
4.如权利要求1所述的贴膜装置，其特征在于：所述第一卷收单元还包括沿水平滑动设置于所述工作台的卷收支架和转动设置于所述卷收支架上的转动架，在所述转动架上设置有卷收辊模块和与转轴偏心设置的所述收膜模块。
5.如权利要求4所述的贴膜装置，其特征在于：在所述卷收支架与所述转动架之间且位于转轴一侧处连接有抬升机构，所述抬升机构用于推动所述转动架转动以使所述收膜模块靠近或远离所述工作台面。
【专利技术属性】
技术研发人员：杨善斌，范志平，刘攀，卢少君，
申请(专利权)人：广东思沃先进装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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