本发明专利技术涉及一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，其中密封加工箱前端面设有密封箱门，内底面设有定位块a，左侧面和右侧面分别穿设有进气管和抽气管，定位块a的两侧设有电磁铁a；蒸发源机构位于密封加工箱内部的下端，其中储放件内部设有内电热丝，下端通过配重块与电磁铁a接触，上端可拆卸的设有盖罩，坩埚位于储放件上表面的放置槽内，基板限位机构位于蒸发源机构的正上方，其中支撑板上端通过电动伸缩杆与密封加工箱的内顶面连接，下端通过转盘轴承转动设有中间连接板，限位板可拆卸的设于中间连接板下方，导热挡板位于蒸发源机构和基板限位机构之间；控制箱位于密封加工箱的外部，本发明专利技术具有安装以及使用操作便捷且镀膜效果好的优点。的优点。的优点。
【技术实现步骤摘要】
一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置
[0001]本专利技术属于蒸发镀膜
，具体涉及一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置。
技术介绍
[0002]红外窗片是一种常用的红外光源器件，用于隔离探测器内部系统与外界环境，其在加工的过程中，为提高其光学系统的性能，避免反射的光线进入系统而造成杂散光，影响系统信号的对比度和图像的清晰程度，需在其表面进行镀膜操作，其中蒸发镀膜技术凭借应用范围广、污染程度小等优点，被业内的技术人员所青睐，蒸发镀膜技术是通过在真空环境中，将有机材料加热、蒸发，而后镀制到窗片基板的表面；然而，现有的蒸发镀膜装置在使用时，存在镀膜不均匀的问题，同时，现有的蒸发镀膜装置由于密封加工箱内部空间有限，基板在限位机构上安装以及更换拆卸时，操作比较麻烦，并且，基板限位机构大多采用的是刚性固定连接，无法在镀膜的过程中对基板的角度进行转动调节；因此，为解决上述问题，开发一种安装以及使用操作便捷且镀膜效果好红外窗片加工用蒸发镀膜装置很有必要。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种安装以及使用操作便捷且镀膜效果好红外窗片加工用蒸发镀膜装置。
[0004]本专利技术的目的是这样实现的：一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，包括密封加工箱、蒸发源机构、基板限位机构、导热挡板和控制箱，所述密封加工箱为前端面设有开口的槽状结构，其开口端转动设置有密封箱门，内底面设有定位块a，且定位块a的两侧均设有电磁铁a，所述密封加工箱左侧面的中部固定穿设有进气管，右侧面的中部固定穿设有抽气管，进气管外接有控制阀门，抽气管外接有抽风机；
[0005]所述蒸发源机构位于密封加工箱内部的下端，其包括储放件、盖罩和坩埚，所述储放件位于电磁铁a的正上方，其上端设有放置槽，下端固定设有铁制的配重块，内部设有内电热丝，所述盖罩整体呈弧形，位于放置槽正上方，并与储放件可拆卸连接，且盖罩上均匀设有多个蒸发孔a，所述坩埚位于放置槽内部，且坩埚的上表面设置有多个蒸发孔b；
[0006]所述基板限位机构位于蒸发源机构的正上方，其包括支撑板、限位板和卡块，所述支撑板上端通过电动伸缩杆与密封加工箱的内顶面固定连接，下表面通过转盘轴承同心转动设置有中间连接板，中心处竖向转动穿设有转轴，所述转轴的下端与中间连接板同心固定连接，上端连有旋转电机，所述中间连接板下表面的中心处设置有凹槽，且凹槽内固定设有电磁铁b，所述限位板为铁制品，同心设置于中间连接板的正下方，所述卡块有两个，分别呈对称状可拆卸的设置于限位板下表面的两端；
[0007]所述导热挡板位于蒸发源机构和基板限位机构之间，其上表面通过支杆与密封加工箱的内顶面固定连接，下表面的四角处均设有加热电阻，中心处设有多个均布通孔；
[0008]所述控制箱位于密封加工箱左侧外表面的上端。
[0009]所述定位块a纵向固定设置于密封加工箱内底面的中间位置，所述配重块下表面
的中心处纵向设置有定位块b，所述定位块b与所述定位块a的结构相同，均为半圆柱状结构，且定位块b和定位块a呈对称状设置。
[0010]所述支撑板上表面的中心处固定设置有电机支架，所述旋转电机固定设置于电机支架的上方。
[0011]所述电磁铁b的厚度与所述凹槽的深度相同。
[0012]所述盖罩的上表面均匀固定缠绕有外电热丝。
[0013]所述卡块整体呈L型，其一端位于基板的下方，对基板进行限位，另一端螺纹转动穿设有螺纹杆，并通过螺纹杆与限位板限位连接。
[0014]所述盖罩上端的两侧分别呈对称状固定设置倾斜的翼板。
[0015]所述电磁铁a、电磁铁b、电动伸缩杆、旋转电机以及内电热丝均通过导线与控制箱电连接。
[0016]本专利技术的有益效果：本专利技术通过设置电磁铁a和铁制的配重块，利用电磁铁a通电后对铁制配重块的磁吸力作用，可实现蒸发源机构整体在密封加工箱内部的限位放置；通过设置内电热丝，利用内电热丝可对放置于坩埚内部的有机材料进行第一次的加热，使其蒸发形成蒸汽流，通过设置外电热丝，利用外电热丝可对盖罩进行加热，从而对经过蒸发孔a的有机材料进行第二次的加热散发；通过设置导热挡板、支杆、加热电阻和均布通孔，利用加热电阻可对导热挡板进行加热，从而对经过均布通孔的有机材料蒸汽流进行第三次的加热散发，采用此结构，利用三次加热散发的方式，可使有机材料蒸汽流在上升的过程中进行多次重组并集中扩散，从而进一步的提高有机材料在基板表面成膜的均一性；
[0017]本专利技术通过设置电动伸缩杆，利用电动伸缩杆的伸缩性，可通过支撑板对中间连接板、限位板以及限位放置于限位板下方的基板进行高度调节，从而实现其安装位
‑
工作位的切换；通过设置旋转电机和转轴，使用时，利用中间连接板与支撑板之间通过转盘轴承实现的转动连接，可通过开启旋转电机，从而利用旋转电机的转动，通过转轴带动中间连接板以及限位板进行转动，进而通过限位板的转动，带动限位放置于其下方的基板进行旋转，实现对基板的角度调节，利用此结构，可在镀膜的同时对基板的角度调节，从而便于气态的物理分子或离子均匀的蒸镀在基板的表面，通过设置凹槽和电磁铁b，利用电磁铁b通电后对铁制限位板的磁吸力作用，可增加限位板与中间连接板之间拆卸以及安装操作的便捷性；总的，本专利技术具有安装以及使用操作便捷且镀膜效果好的优点。
附图说明
[0018]图1是本专利技术的正视图。
[0019]图2是本专利技术中密封加工箱和蒸发源机构之间连接的正视图的剖视图。
[0020]图3是本专利技术中基板限位机构的正视图的剖视图。
[0021]图4是本专利技术中卡块、限位板、凹槽和电磁铁b之间连接的正视图的剖视图。
[0022]图5是本专利技术中导热挡板的正视图的剖视图。
[0023]图中：1、密封加工箱；11、定位块a；12、电磁铁a；13、进气管；14、抽气管；2、蒸发源机构；21、储放件；211、放置槽；22、盖罩；221、蒸发孔a；23、坩埚；231、蒸发孔b；24、配重块；25、内电热丝；26、定位块b；27、外电热丝；28、翼板；3、基板限位机构；31、支撑板；32、限位板；33、卡块；34、电动伸缩杆；35、中间连接板；351、凹槽；352、电磁铁b；36、转轴；37、旋转电
机；38、电机支架；39、螺纹杆；4、导热挡板；41、支杆；42、加热电阻；43、均布通孔；5、控制箱。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本专利技术做进一步的说明。
[0025]实施例：如图1、图2、图3、图4、图5所示，一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，包括密封加工箱1、蒸发源机构2、基板限位机构3、导热挡板4和控制箱5，所述密封加工箱1为前端面设置有开口的槽状结构，其开口端转动设置有密封箱门，内底面的中间位置处纵向固定设置有定位块a11，所述定位块a11的两侧均设置有电磁铁a12，且电磁铁a12与密封加工箱1的内底面固定连接，所述密封加工箱1左侧面的中部固定穿设有进气管13，右侧面的中部固定穿设有抽气本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种红外窗片加工用蒸发镀膜装置，包括密封加工箱(1)、蒸发源机构(2)、基板限位机构(3)、导热挡板(4)和控制箱(5)，其特征在于：所述密封加工箱(1)为前端面设有开口的槽状结构，其开口端转动设有密封箱门，内底面设有定位块a(11)，且定位块a(11)的两侧均设有电磁铁a(12)，所述密封加工箱(1)左侧面的中部固定穿设有进气管(13)，右侧面的中部固定穿设有抽气管(14)，进气管(13)外接有控制阀门，抽气管(14)外接有抽风机；所述蒸发源机构(2)位于密封加工箱(1)内部的下端，其包括储放件(21)、盖罩(22)和坩埚(23)，所述储放件(21)位于电磁铁a(12)的正上方，其上端设有放置槽(211)，下端固定设有铁制的配重块(24)，内部设有内电热丝(25)，所述盖罩(22)整体呈弧形，位于放置槽(211)正上方，并与储放件(21)可拆卸连接，且盖罩(22)上均匀设有多个蒸发孔a(221)，所述坩埚(23)位于放置槽(211)内部，且坩埚(23)的上表面设有多个蒸发孔b(231)；所述基板限位机构(3)位于蒸发源机构(2)的正上方，其包括支撑板(31)、限位板(32)和卡块(33)，所述支撑板(31)上端通过电动伸缩杆(34)与密封加工箱(1)的内顶面固定连接，下表面通过转盘轴承同心转动设置有中间连接板(35)，中心处竖向转动穿设有转轴(36)，所述转轴(36)的下端与中间连接板(35)同心固定连接，上端连有旋转电机(37)，所述中间连接板(35)下表面的中心处设置有凹槽(351)，且凹槽(351)内固定设有电磁铁b(352)，所述限位板(32)为铁制品，同心设置于中间连接板(35)的正下方，所述卡块(33)有两个，分别呈对称状可拆卸的设置于限位板(32)下表面的两端；所述导热挡板(4)位于蒸发源...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟凡华，李剑，张秀明，闫超，王丽娟，荆学顺，
申请(专利权)人：唐山斯腾光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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