一种蒸发镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蒸发镀膜装置，包括蒸发舟和过滤件；所述过滤件盖置在所述蒸发舟上；所述蒸发舟内摞置有阻挡件；和/或，所述蒸发舟内摞置有内过滤件。蒸发舟包括蒸发舟

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发镀膜装置


[0001]本技术涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种蒸发镀膜装置。

技术介绍

[0002]蒸发镀膜装置是通过电阻加热的方式对膜料(如：硫化锌ZNS)进行加热，使膜料不经过熔化状态直接升华成气体蒸镀在待镀工件上的镀膜装置。如图1 所示，现有技术的蒸发镀膜装置包括蒸发舟1和过滤件2；所述过滤件2盖置在所述蒸发舟1上。由于固态的膜料在受热过程中会发生微小颗粒的飞溅，飞溅的微小颗粒沉积在产品表面形成麻点，严重影响产品质量。麻点是光学产品非常重要的一个光学指标。麻点多的技术问题是长期以来一直存在的技术问题，无法彻底解决。

技术实现思路

[0003]本技术方案要解决的技术问题是提供一种蒸发镀膜装置，该蒸发镀膜装置可有效地阻挡住和/或过滤掉飞溅的微小颗粒，使气态的物理分子或离子蒸镀在工件上，大大提高了产品质量。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术方案提供了一种蒸发镀膜装置，
[0005]包括蒸发舟和过滤件；
[0006]所述过滤件盖置在所述蒸发舟上；
[0007]所述蒸发舟内摞置有阻挡件；和/或，
[0008]所述蒸发舟内摞置有内过滤件。
[0009]作为本技术方案的各种改进如下所述。
[0010]所述蒸发舟包括蒸发舟
‑
底板；
[0011]所述蒸发舟
‑
底板的形状呈矩形；
[0012]所述蒸发舟
‑
底板的前侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
底板的板面向上延伸形成蒸发舟
‑
前侧板；
[0013]所述蒸发舟
‑
底板的后侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
底板的板面向上延伸形成蒸发舟
‑
后侧板；
[0014]所述蒸发舟
‑
底板的左侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
底板的板面向上延伸形成蒸发舟
‑
左侧板；
[0015]所述蒸发舟
‑
左侧板的顶侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
左侧板的板面向左延伸形成蒸发舟
‑
左翼板；
[0016]所述蒸发舟
‑
底板的右侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
底板的板面向上延伸形成蒸发舟
‑
右侧板；
[0017]所述蒸发舟
‑
右侧板的顶侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
右侧板的板面向右延伸形成蒸发舟
‑
右翼板；
[0018]所述蒸发舟
‑
底板、所述蒸发舟
‑
前侧板、所述蒸发舟
‑
后侧板、所述蒸发舟
‑ꢀ
左侧
板和所述蒸发舟
‑
右侧板围合成上方敞口的箱体；
[0019]所述箱体的形状呈长方体。
[0020]所述过滤件包括过滤件
‑
顶板；
[0021]所述过滤件
‑
顶板的形状呈矩形；
[0022]所述过滤件
‑
顶板的板面中部分布有过滤件
‑
孔；
[0023]所述过滤件
‑
顶板的前侧边缘中部垂直于该过滤件
‑
顶板的板面向下延伸形成过滤件
‑
前侧板；
[0024]所述过滤件
‑
顶板的后侧边缘中部垂直于该过滤件
‑
顶板的板面向下延伸形成过滤件
‑
后侧板；
[0025]从前面看，所述过滤件的形状呈倒置的“凸”字形；
[0026]从左面看，所述过滤件的形状呈倒置的“凹”字形。
[0027]所述阻挡件包括阻挡件
‑
底板；
[0028]所述阻挡件
‑
底板的形状呈矩形；
[0029]所述阻挡件
‑
底板的前、后分别设置有阻挡件
‑
凹口；
[0030]所述阻挡件
‑
底板的左侧边缘垂直于该阻挡件
‑
底板的板面向上延伸形成阻挡件
‑
左侧板；
[0031]所述阻挡件
‑
左侧板的顶侧边缘垂直于该阻挡件
‑
左侧板的板面向左延伸形成阻挡件
‑
左翼板；
[0032]所述阻挡件
‑
底板的右侧边缘垂直于该阻挡件
‑
底板的板面向上延伸形成阻挡件
‑
右侧板；
[0033]所述阻挡件
‑
右侧板的顶侧边缘垂直于该阻挡件
‑
右侧板的板面向右延伸形成阻挡件
‑
右翼板；
[0034]从前面看，所述阻挡件
‑
底板、所述阻挡件
‑
左侧板、所述阻挡件
‑
右侧板、所述阻挡件
‑
左翼板和所述阻挡件
‑
右翼板构成倒置的浅槽“Ω”形。
[0035]所述内过滤件包括内过滤件
‑
底板；
[0036]所述内过滤件
‑
底板的形状呈矩形；
[0037]所述内过滤件
‑
底板的板面中部分布有内过滤件
‑
孔；
[0038]所述内过滤件
‑
底板的左侧边缘垂直于该内过滤件
‑
底板的板面向上延伸形成内过滤件
‑
左侧板；
[0039]所述内过滤件
‑
左侧板的顶侧边缘垂直于该内过滤件
‑
左侧板的板面向左延伸形成内过滤件
‑
左翼板；
[0040]所述内过滤件
‑
底板的右侧边缘垂直于该内过滤件
‑
底板的板面向上延伸形成内过滤件
‑
右侧板；
[0041]所述内过滤件
‑
右侧板的顶侧边缘垂直于该内过滤件
‑
右侧板的板面向右延伸形成内过滤件
‑
右翼板；
[0042]从前面看，所述内过滤件
‑
底板、所述内过滤件
‑
左侧板、所述内过滤件
‑
右侧板、所述内过滤件
‑
左翼板和所述内过滤件
‑
右翼板构成倒置的深槽“Ω”形。
[0043]所述蒸发舟、所述过滤件、所述阻挡件和所述内过滤件采用钼片加工而成；
[0044]所述钼片的纯度为99.96％；
[0045]所述钼片的厚度为0.12mm。
[0046]所述蒸发舟的总长度、所述过滤件的总长度、所述阻挡件的总长度和所述内过滤件的总长度相适应；
[0047]所述蒸发舟
‑
底板的长度、所述过滤件
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发镀膜装置，包括蒸发舟(1)和过滤件(2)；所述过滤件(2)盖置在所述蒸发舟(1)上；其特征在于：所述蒸发舟(1)内摞置有阻挡件(3)；和/或，所述蒸发舟(1)内摞置有内过滤件(4)。2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：所述蒸发舟(1)包括蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)；所述蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)的形状呈矩形；所述蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)的前侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)的板面向上延伸形成蒸发舟
‑
前侧板(1
‑
2)；所述蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)的后侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)的板面向上延伸形成蒸发舟
‑
后侧板(1
‑
3)；所述蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)的左侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)的板面向上延伸形成蒸发舟
‑
左侧板(1
‑
4)；所述蒸发舟
‑
左侧板(1
‑
4)的顶侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
左侧板(1
‑
4)的板面向左延伸形成蒸发舟
‑
左翼板(1
‑
6)；所述蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)的右侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)的板面向上延伸形成蒸发舟
‑
右侧板(1
‑
5)；所述蒸发舟
‑
右侧板(1
‑
5)的顶侧边缘垂直于该蒸发舟
‑
右侧板(1
‑
5)的板面向右延伸形成蒸发舟
‑
右翼板(1
‑
7)；所述蒸发舟
‑
底板(1
‑
1)、所述蒸发舟
‑
前侧板(1
‑
2)、所述蒸发舟
‑
后侧板(1
‑
3)、所述蒸发舟
‑
左侧板(1
‑
4)和所述蒸发舟
‑
右侧板(1
‑
5)围合成上方敞口的箱体；所述箱体的形状呈长方体。3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：所述过滤件(2)包括过滤件
‑
顶板(2
‑
1)；所述过滤件
‑
顶板(2
‑
1)的形状呈矩形；所述过滤件
‑
顶板(2
‑
1)的板面中部分布有过滤件
‑
孔(2
‑
2)；所述过滤件
‑
顶板(2
‑
1)的前侧边缘中部垂直于该过滤件
‑
顶板(2
‑
1)的板面向下延伸形成过滤件
‑
前侧板(2
‑
3)；所述过滤件
‑
顶板(2
‑
1)的后侧边缘中部垂直于该过滤件
‑
顶板(2
‑
1)的板面向下延伸形成过滤件
‑
后侧板(2
‑
4)；从前面看，所述过滤件(2)的形状呈倒置的“凸”字形；从左面看，所述过滤件(2)的形状呈倒置的“凹”字形。4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜装置，其特征在于：所述阻挡件(3)包括阻挡件
‑
底板(3
‑
1)；
所述阻挡件
‑
底板(3
‑
1)的形状呈矩形；所述阻挡件
‑
底板(3
‑
1)的前、后分别设置有阻挡件
‑
凹口(3
‑
2)；所述阻挡件
‑
底板(3
‑
1)的左侧边缘垂直于该阻挡件
‑
底板(3
‑
1)的板面向上延伸形成阻挡件
‑
左侧板(3
‑
3)；所述阻挡件
‑
左侧板(3
‑
3)的顶侧边缘垂直于该阻挡件
‑
左侧板(3
‑
3)的板面向左延伸形成阻挡件
‑
左翼板(3
‑
5)；所述阻挡件
‑
底板(3
‑
1)的右侧边缘垂直于该阻挡件
‑
底板(3
‑
1)的板面向上延伸形成阻挡件
‑
右侧板(3
‑
4)；所述阻挡件
‑
右侧板(3
‑
4)的顶侧边缘垂直于该阻挡件
‑
右侧板(3
‑
4)的板面向右延伸形成阻挡件
‑
右翼板(3
‑
6)；从前面看，所述阻挡件
‑
底板(3
‑
1)、所述阻挡件
‑
左侧板(3
‑
3)、所述阻挡件
‑
右侧板(3
‑
4)、所述阻挡件
‑
左翼板(3
‑
5)和所述阻挡件
‑
右翼板(3
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：张秀明，张贻海，李剑，王丽娟，孟凡华，
申请(专利权)人：唐山斯腾光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：