能提高热量利用率的蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种能提高热量利用率的蒸镀装置，包括坩埚、盖体和反射器，坩埚内设置有容纳腔，坩埚上凸设有喷嘴，喷嘴与容纳腔相连通；盖体罩设在坩埚的上方且喷嘴能穿设出盖体，盖体的底面设置有反射层，用于向坩埚反射热量；反射器围设在坩埚的侧壁外，用于向坩埚反射热量。该能提高热量利用率的蒸镀装置结构简单，能充分利用热辐射，提高热量的利用率。提高热量的利用率。提高热量的利用率。

【技术实现步骤摘要】
能提高热量利用率的蒸镀装置


[0001]本技术涉及面板生产
，尤其涉及一种能提高热量利用率的蒸镀装置。

技术介绍

[0002]在显示面板的制造过程中，特别是OLED显示面板的制造过程中，通常会采用蒸镀工艺来形成膜层。蒸镀工艺流程如下，先将蒸镀源放置在蒸镀坩埚内，然后对蒸镀坩埚进行加热，使蒸镀源受热并气化离开蒸镀坩埚，最后蒸镀源镀覆在待蒸镀基材上，从而在待蒸镀基材上形成膜层。然而，现有技术存在以下缺陷：由于喷嘴设置在坩埚的顶面上，故当蒸镀源从喷嘴处喷出时会有大量的热量从坩埚的顶面流失，进而导致热量的利用率低。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于：提供一种能提高热量利用率的蒸镀装置，其结构简单，能充分利用热辐射，提高热量的利用率。
[0004]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供一种能提高热量利用率的蒸镀装置，包括：坩埚，所述坩埚内设置有容纳腔，所述坩埚上凸设有喷嘴，所述喷嘴与所述容纳腔相连通；盖体，所述盖体罩设在所述坩埚的上方且所述喷嘴能穿设出所述盖体，所述盖体的底面设置有反射层，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能提高热量利用率的蒸镀装置，其特征在于，包括：坩埚，所述坩埚内设置有容纳腔，所述坩埚上凸设有喷嘴，所述喷嘴与所述容纳腔相连通；盖体，所述盖体罩设在所述坩埚的上方且所述喷嘴能穿设出所述盖体，所述盖体的底面设置有反射层，所述反射层用于向所述坩埚反射热量；反射器，所述反射器围设在所述坩埚的侧壁外，所述反射器用于向所述坩埚反射热量。2.根据权利要求1所述的能提高热量利用率的蒸镀装置，其特征在于，所述反射器的顶面和所述盖体的底面连接。3.根据权利要求2所述的能提高热量利用率的蒸镀装置，其特征在于，所述盖体和所述反射器为一体成型。4.根据权利要求1所述的能提高热量利用率的蒸镀装置，其特征在于，所述能提高热量利用率的蒸镀装置还包括支撑件，所述支撑件的两端分别与所述盖体和所述坩埚连接。5.根据权利要求4所述的能提高热量利用率的蒸镀装置，其特征在于，所述能提高热量利用率的蒸镀装置还包括反射件，所述反射件设置在所述盖体的底面并在所述坩埚的中轴线方向上向所述坩埚...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹圭满，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：