下载能提高热量利用率的蒸镀装置的技术资料

文档序号:33460376

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本实用新型公开一种能提高热量利用率的蒸镀装置,包括坩埚、盖体和反射器,坩埚内设置有容纳腔,坩埚上凸设有喷嘴,喷嘴与容纳腔相连通;盖体罩设在坩埚的上方且喷嘴能穿设出盖体,盖体的底面设置有反射层,用于向坩埚反射热量;反射器围设在坩埚的侧壁外,用...
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