【技术实现步骤摘要】
一种相干光压力传感系统及压力测量方法
[0001]本专利技术属于光学压力传感器
，尤其涉及一种相干光压力传感系统及测量方法。
技术介绍
[0002]随着科技的发展，越来越多的行业如建筑、医疗、汽车等依赖压力传感器来监测和控制其应用，大量设备需依赖准确和稳定的压力测量才能可靠运行，因此对压力传感器的要求也越来越高。
[0003]压力传感器具有压阻式、电容式、MEMS(微机电系统)和光学等多种类型，其中光学压力传感器对压力的检测主要基于压力和光学信号之间的关系，比如光的强度、光的相位、光的波长等，具有抗辐射、非接触、没有漏电结等优点。
[0004]现有的光学压力传感器主要有两种结构，即法布里
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珀罗干涉仪(FBI)和光纤布拉格光栅(FBG)，但上述两种结构均存在结构复杂以及测量值与待测压力之间不符合线性关系的缺点。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种结构简单并且测量值与待测压力之间符合线性关系的相干光压力传感系统及测量方法。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种相干光压力传感系统，其特征在于，包括：一用于承受待测压力并且固定设置的弹性膜片；一设于所述弹性膜片上方、用于向所述弹性膜片的上表面斜向发射相干光的光源；一传感模块，所述传感模块包括若干阵列形式排列的感应元，所述感应元与所述弹性膜片平行且与所述光源共面设置，所述光源发出的相干光经所述弹性膜片反射后形成的反射光线由所述感应元接收，所述传感模块用于将接收到的光信号转化为电信号输出；以及一与所述传感模块电连接的控制电路，所述控制电路用于对所述传感模块输出的信号进行计算得出待测压力值。2.根据权利要求1所述的一种相干光压力传感系统，其特征在于，所述传感模块还包括若干与所述感应元数量相等的比较器，每所述比较器对应连接每所述感应元，所述比较器用于对比其连接的所述感应元接收到的光能信号与平均值之间的差异并输出至所述控制电路。3.根据权利要求1所述的一种相干光压力传感系统，其特征在于，所述光源为固态激光二极管芯片。4.根据权利要求1所述的一种相干光压力传感系统，其特征在于，所述控制电路为DSP处理电路。5.根据权利要求1
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4任一项所述的一种相干光压力传感系统，其特征在于，还包括与所述弹性膜片和光源沿所述若干感应元中心镜像设置的一对照弹性膜片和一对照光源，所述对照弹性膜片与所述弹性膜片共面，所述对照光源与所述光源共面，所述对照光源用于向所述对照弹性膜片的上表面斜向发射相干光。6.根据权利要求5所述的一种相干光压力传感系统...
【专利技术属性】
技术研发人员：林大伟，张云山，
申请(专利权)人：深圳市百禾芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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