一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备制造技术

技术编号:40996145 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-18 21:36
本技术提供一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,涉及芯片清洗设备技术领域,包括主箱体,主箱体的顶部设有工作台,工作台的表面横向设有进料滑轨,进料滑轨表面设有进料支架,工作台的表面在进料滑轨的侧面设有清洗刷筒,清洗刷筒的内部中轴位置设有驱动电机,工作台的一侧在进料滑轨的端部设有成品支架,进料滑轨在清洗刷筒的位置竖直设有喷洗支架,且喷洗支架和清洗刷筒分别外接有水管,采用设备采用自动化机械运作和专业清洗刷洗方式,能够高效清洗经过化学蚀刻后的芯片表面。清洗刷筒上的柔性刷毛能够彻底清除表面污物和残留物,确保芯片的清洁度和质量。相比手动清洗,自动化设备可以提高清洗效率,减少人力成本和时间消耗。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片清洗设备,尤其涉及一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备


技术介绍

1、根据中国专利号为cn213887331u的一种通讯设备芯片加工用蚀刻清洗装置,通讯设备芯片加工用蚀刻清洗装置包括:基座、通过立板固定安装的横板和固定安装在所述基座上的洗涤箱,所述横板上安装有烘干组件,所述烘干组件通过传动组件与冲洗组件连接,所述冲洗组件连接有传输组件,所述基座上还安装有擦拭收集组件,所述传输组件将芯片传输至所述洗涤箱内,所述冲洗组件利用所述洗涤箱内的洗涤液对所述传输组件上的芯片进行冲洗,所述传输组件又将芯片传输至所述烘干组件正下方位置,所述烘干组件对芯片进行烘干,烘干后所述传输组件将芯片传输至所述擦拭收集组件,对芯片反面进行擦拭及收集,最终,实现了装置对通讯设备芯片有效的清洗及收集功能。

2、上述专利以及现有技术的基础上,清洗设备是简单的进行喷淋,将蚀刻之后的表面化学液体冲洗干净,但是对于芯片边缘的打磨还是需要后续进行操作。


技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备。

2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,包括主箱体,所述主箱体的顶部设有工作台,所述工作台的表面横向设有进料滑轨,所述进料滑轨表面设有进料支架,所述工作台的表面在进料滑轨的侧面设有清洗刷筒,所述清洗刷筒的内部中轴位置设有驱动电机,所述工作台的一侧在进料滑轨的端部设有成品支架,所述进料滑轨在清洗刷筒的位置竖直设有喷洗支架,且喷洗支架和清洗刷筒分别外接有水管。

3、优选的,所述主箱体的正面一侧设有控制面板,且控制面板为led显示屏幕,且控制面板电性连接互联网。

4、优选的,所述主箱体的侧面螺钉连接有侧面封板,且侧面封板的表面设有外接端口,端口包括pin口和电缆接口。

5、优选的,所述清洗刷筒的内表面设有转速计,且转速计和控制面板之间相互电性连接。

6、优选的,所述进料支架和进料滑轨之间轨道连接,且进料支架为框架结构,中部嵌合有芯片。

7、优选的,所述成品支架为两个板材组成,且成品支架一侧板和工作台之间相互栓接,另一侧板和工作台之间直线滑轨连接。

8、优选的,所述清洗刷筒的表面均匀嵌合有柔性刷毛,且清洗刷筒和喷洗支架的表面均匀嵌合有雾化喷嘴。

9、有益效果

10、本技术中,采用设备采用自动化机械运作和专业清洗刷洗方式,能够高效清洗经过化学蚀刻后的芯片表面,清洗刷筒上的柔性刷毛能够彻底清除表面污物和残留物,确保芯片的清洁度和质量,相比手动清洗,自动化设备可以提高清洗效率,减少人力成本和时间消耗,并且采用的清洗刷筒,可以将芯片边缘进行部分打磨,避免芯片边缘产生毛边,在特定设计的情况下,可以减少后续的工步;

11、本技术中,采用整个清洗过程由全流程顺序完成,清洗阶段不需要人员介入,提高了工作效率和一致性,芯片的进料直接将轨道接入上一步骤的自动化化学刻蚀之后的芯片传送带,之后进行清洗、喷洗保证芯片成品的洁净度。

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【技术保护点】

1.一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,包括主箱体(1),其特征在于:所述主箱体(1)的顶部设有工作台(5),所述工作台(5)的表面横向设有进料滑轨(6),所述进料滑轨(6)表面设有进料支架(3),所述工作台(5)的表面在进料滑轨(6)的侧面设有清洗刷筒(7),所述清洗刷筒(7)的内部中轴位置设有驱动电机(10),所述工作台(5)的一侧在进料滑轨(6)的端部设有成品支架(8),所述进料滑轨(6)在清洗刷筒(7)的位置竖直设有喷洗支架(4),且喷洗支架(4)和清洗刷筒(7)分别外接有水管。

2.根据权利要求1所述的一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,其特征在于:所述主箱体(1)的正面一侧设有控制面板(2),且控制面板(2)为LED显示屏幕,且控制面板(2)电性连接互联网。

3.根据权利要求1所述的一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,其特征在于:所述主箱体(1)的侧面螺钉连接有侧面封板(9),且侧面封板(9)的表面设有外接端口,端口包括PIN口和电缆接口。

4.根据权利要求1所述的一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,其特征在于:所述清洗刷筒(7)的内表面设有转速计(11),且转速计(11)和控制面板(2)之间相互电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,其特征在于:所述进料支架(3)和进料滑轨(6)之间轨道连接,且进料支架(3)为框架结构,中部嵌合有芯片。

6.根据权利要求1所述的一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,其特征在于:所述成品支架(8)为两个板材组成,且成品支架(8)一侧板和工作台(5)之间相互栓接,另一侧板和工作台(5)之间直线滑轨连接。

7.根据权利要求1所述的一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,其特征在于:所述清洗刷筒(7)的表面均匀嵌合有柔性刷毛,且清洗刷筒(7)和喷洗支架(4)的表面均匀嵌合有雾化喷嘴。

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【技术特征摘要】

1.一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,包括主箱体(1),其特征在于:所述主箱体(1)的顶部设有工作台(5),所述工作台(5)的表面横向设有进料滑轨(6),所述进料滑轨(6)表面设有进料支架(3),所述工作台(5)的表面在进料滑轨(6)的侧面设有清洗刷筒(7),所述清洗刷筒(7)的内部中轴位置设有驱动电机(10),所述工作台(5)的一侧在进料滑轨(6)的端部设有成品支架(8),所述进料滑轨(6)在清洗刷筒(7)的位置竖直设有喷洗支架(4),且喷洗支架(4)和清洗刷筒(7)分别外接有水管。

2.根据权利要求1所述的一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,其特征在于:所述主箱体(1)的正面一侧设有控制面板(2),且控制面板(2)为led显示屏幕,且控制面板(2)电性连接互联网。

3.根据权利要求1所述的一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备,其特征在于:所述主箱体(1)的侧面螺钉连接有侧面封板(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵斌
申请(专利权)人:深圳市百禾芯半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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