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本技术提供一种自动化化学蚀刻后芯片清洗设备，涉及芯片清洗设备技术领域，包括主箱体，主箱体的顶部设有工作台，工作台的表面横向设有进料滑轨，进料滑轨表面设有进料支架，工作台的表面在进料滑轨的侧面设有清洗刷筒，清洗刷筒的内部中轴位置设有驱动电机，...
该专利属于深圳市百禾芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市百禾芯半导体有限公司授权不得商用。

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