温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明属于光学压力传感器技术领域,提供了一种结构简单并且测量值与待测压力值之间符合线性关系的相干光压力传感系统及测量方法,包括:一用于承受待测压力并且固定设置的弹性膜片;一设于所述弹性膜片上方、用于向所述弹性膜片的上表面斜向发射相干光的光源...该专利属于深圳市百禾芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市百禾芯半导体有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明属于光学压力传感器技术领域,提供了一种结构简单并且测量值与待测压力值之间符合线性关系的相干光压力传感系统及测量方法,包括:一用于承受待测压力并且固定设置的弹性膜片;一设于所述弹性膜片上方、用于向所述弹性膜片的上表面斜向发射相干光的光源...